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AFM XYZ Kalibrierstandards
Preiswerte, schnelle und einfache Kalibrierung von AFM-Systemen


    CS-20NG AFM / SPM XYZ Kalibrierstandards

AFM / SPM XYZ Kalibrierstandards

Atomic Force Mikroskope (AFM) sind zu einem wertvollen Werkzeug geworden wenn es darum geht, im Mikrometer- und Nanometerbereich Bilder zu erzeugen und Messungen durchzuführen. Um die Verlässlichkeit der Messungen zu gewährleisten, muss das AFM-System korrekt kalibriert werden. Auf dieser Seite finden Sie eine Auswahl preiswerter und genauer AFM Kalibrierstandards zur Kalibrierung der X-, Y- und Z-Achse.

  • Die HS Kalibrierstandards mit 20, 100 und 500 nm Z-Höhe ermöglicht auch die Kalibrierung der X- und Y-Achse bei größeren Scangrößen im 40-100 µm Bereich.
  • Der CS Kalibrierstandard mit 20 nm Z-Höhe ermöglicht auch die Kalibrierung der X- und Y-Achse bei kleiner Scangröße im µm-Bereich.
  • Die Strukturen der AFM Kalibrierstandards der CS und HS Serie sind alle auf deinem Si-Chip hergestellt, der mit leitendem Epoxidharz auf einer 12 mm AFM Edelstahlscheibe montiert ist.

Spezifikationen der AFM / SPM XYZ Kalibrierstandards

Kalibrierstandard

HS-20MG

HS-100MG

HS-500MG

CS-20NG

Artikelnr.

34-030020

34-030100

34-030500

34-032020

Höhe (Z)

20 nm

100 nm

500 nm

20 nm

Höhe (Z) Toleranz

2%

3%

3%

2%

X-Abstand

10 µm, 5 µm

10 µm, 5 µm

10 µm, 5 µm

10 µm, 5 µm, 500 nm

Y-Abstand

10 µm, 5 µm

10 µm, 5 µm

10 µm, 5 µm

10 µm, 5 µm, 500 nm

Toleranz X/Y Abstand

0.1 µm, 0.1 µm

0.1 µm, 0.1 µm

0.1 µm, 0.1 µm

0.1 µm, 0.1 µm, 10 nm

10 µm Teilungsstruktur

Quadratische Löcher / Säulen

Quadratische Löcher / Säulen

Quadratische Löcher / Säulen

Quadratische Löcher / Säulen

5 µm Teilungsstruktur

Runde Löcher, Säulen und Linien

Runde Löcher, Säulen und Linien

Runde Löcher, Säulen und Linien

Runde Löcher, Säulen und Linien

500 nm Teilungsstruktur

-

-

-

Runde Löcher

10 µm Teilungsbereich
5 µm Teilungsbereich
500 nm Teilungsbereich

1x1 mm
500x500 µm
-

1x1 mm
500x500 µm
-

1x1 mm
500x500 µm
-

1x1 mm
500x500 µm
100x100 µm

Größe

5x5 mm

5x5 mm

5x5 mm

5x5 mm

Konstruktion

SiO2 auf Si

SiO2 auf Si

SiO2 auf Si

SiO2 auf Si

Mounted

12 mm AFM Scheibe

12 mm AFM Scheibe

12 mm AFM Scheibe

12 mm AFM Scheibe



TG Serie AFM / SPM Kalibrier- und Testgitter

Die TGX and TGF11 Testgitter sind besonders geeignet für die laterale Kalbrierung und um die Abweichungen des Abtasters sowohl in laterale als auch in vertikale Richtung festzustellen. Weitere zu ermittelnde Parametern sind: Hysterese, Kriechverhalten und Zurückkopplungseffekten. Geätzt in Silicium entlang der kristallographischen (111) Ebene. Der typische Radius der Ecken beträgt weniger als 5 nm

 

Spezifikationen der TG Serie AFM / SPM Kalibrier- und Testgitter

TGX AFM / SPM Kalibriergitter, 3 µm Abstand, unterschnittene Ecken
Test Grating

TGX

TGF11

Artikelnr.

34-033010-U / 34-033010

34-033030-U / 34-033030

Kalibrierter Abstand

3 µm

10 µm

Abstandsgenauigkeit

0.1 µm

0.1 µm

Eckenradien

5nm

5nm

Winkel

54.74°

54.74°

Stufenhöhe, cax.

1 µm

1.75 µm

Aktiver Bereich

1 x 1 mm

3 x 3 mm

Konstruktion

Geätztes Silicium

Geätztes Silicium

Chip-Maße

5 x 5 x 0.3mm

5 x 5 x 0.3mm

Montageoptionen

Auf 12 mm AFM Scheibe

Auf 12 mm AFM Scheibe



Bestellinfromationen zu AFM XYZ Kalibrierstandards


*Prices are without tax. Tax might be added in cart.


    # 34-030020   HS-20MG AFM XYZ Kalibrierstandard, 20 nm Z

HS-20MG AFM XYZ Kalibrierstandard, 20 nm ZDer HS-20MG ist in erster Linie ein Höhenkalibrierstandard mit 20 nm Kalibrierhöhe. Er besteht aus Siliciumdioxidstrukturen auf einem 5x5 mm Silicium-Chip. Der Herstellungsprozess garantiert hervorragende Gleichförmigkeit der Strukturen auf dem gesamten Chip. Der Kalibrierbereich befindet sich in der Mitte des Silicium-Chips und besteht aus einem 1x1 mm großen Quadrat mit quadratischen Säulen und Löchern in einem Abstand von 10 µm. In der Mitte dieses Quadrates sitzt ein kleineres Quadrat mit 500x500 µm. Das kleinere Quadrat hat runde Säulen und Löcher in einem 5 µm Abstand. Dieser Aufbau erlaubt bei größeren Scannern auch die Kalibrierung der X- und Y-Achse im 10-40 µm Bereich. Die symmetrische Struktur des HS-20MG ermöglicht die Kalibrierung der X- und Y-Achse des AFM-Systems in einem Schritt, ohne die Scheibe zu drehen. Der HS-100MG Kalibrierstandard wird wahlweise montiert mit einem elektrisch leitenden Epoxidharz auf eine AFM Scheibe aus Metall geklebt oder nicht montiert geliefert. Die exakte Höhe ist auf dem Etikett des HS-20MG Standards vermerkt.

HS-20MG AFM XYZ Kalibrierstandard, 20 nm Z
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
34-030020 HS-20MG AFM XYZ Kalibrierstandard, 20 nm Z, montiert auf 12 mm AFM Schreibe
Anz:

Stück €190,00
34-030021 HS-20MG AFM XYZ Kalibrierstandard, 20 nm Z, nicht montiert
Anz:

Stück €190,00


    # 34-030100   HS-100MG AFM XYZ Kalibrierstandard, 100 nm Z

HS-100MG AFM XYZ Kalibrierstandard, 100 nm ZDer HS-100MG ist in erster Linie ein Höhenkalibrierstandard mit 100 nm Kalibrierhöhe. Er besteht aus Siliciumdioxidstrukturen auf einem 5x5 mm Silicium-Chip. Der Herstellungsprozess garantiert hervorragende Gleichförmigkeit der Strukturen auf dem gesamten Chip. Der Kalibrierbereich befindet sich in der Mitte des Silicium-Chips und besteht aus einem 1x1 mm großen Quadrat mit quadratischen Säulen und Löchern in einem Abstand von 10 µm. In der Mitte dieses Quadrates sitzt ein kleineres Quadrat mit 500x500 µm. Das kleinere Quadrat hat runde Säulen und Löcher in einem 5 µm Abstand. Dieser Aufbau erlaubt bei größeren Scannern auch die Kalibrierung der X- und Y-Achse. Die symmetrische Struktur des HS-100MG ermöglicht die Kalibrierung der X- und Y-Achse des AFM-Systems in einem Schritt, ohne die Scheibe zu drehen. Der HS-100MG Kalibrierstandard wird entweder montiert mit einem elektrisch leitenden Epoxidharz auf eine AFM Scheibe aus Metall geklebt oder nicht montiert geliefert. Die exakte Höhe ist auf dem Etikett des HS-100MG Standards vermerkt.

HS-100MG AFM XYZ Kalibrierstandard, 100 nm Z
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
34-030100 HS-100MG AFM XYZ Kalibrierstandard, 100 nm Z, montiert auf 12 mm AFM Schreibe
Anz:

Stück €190,00
34-030101 HS-100MG AFM XYZ Kalibrierstandard, 100 nm Z, nicht montiert
Anz:

Stück €190,00


    # 34-030500   HS-500MG AFM XYZ Kalibrierstandard, 500 nm Z

HS-500MG AFM XYZ Kalibrierstandard, 500 nm ZDer HS-500MG ist in erster Linie ein Höhenkalibrierstandard mit 500 nm Kalibrierhöhe. Er besteht aus Siliciumdioxidstrukturen auf einem 5x5 mm Silicium-Chip. Der Herstellungsprozess garantiert hervorragende Gleichförmigkeit der Strukturen auf dem gesamten Chip. Der Kalibrierbereich befindet sich in der Mitte des Silicium-Chips und besteht aus einem 1x1 mm großen Quadrat mit quadratischen Säulen und Löchern in einem Abstand von 10 µm. In der Mitte dieses Quadrates sitzt ein kleineres Quadrat mit 500x500 µm. Das kleinere Quadrat hat runde Säulen und Löcher in einem 5 µm Abstand. Dieser Aufbau erlaubt bei größeren Scannern auch die Kalibrierung der X- und Y-Achse im 10-40 µm Bereich. Die symmetrische Struktur des HS-500MG ermöglicht die Kalibrierung der X- und Y-Achse des AFM-Systems in einem Schritt, ohne die Scheibe zu drehen. Der HS-100MG Kalibrierstandard wird entweder montiert mit einem elektrisch leitenden Epoxidharz auf eine AFM Scheibe aus Metall geklebt oder nicht montiert geliefert. Die exakte Höhe ist auf dem Etikett des HS-500MG Standards vermerkt.

HS-500MG AFM XYZ Kalibrierstandard, 500 nm Z
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
34-030500 HS-500MG AFM XYZ Kalibrierstandard, 500 nm Z, montiert auf 12 mm AFM Schreibe
Anz:

Stück €190,00
34-030501 HS-500MG AFM XYZ Kalibrierstandard, 500nm Z, nicht montiert
Anz:

Stück €190,00


    # 34-032020   CS-20NG AFM XYZ Kalibrierstandard, 20 nm Z

CS-20NG AFM XYZ Kalibrierstandard, 20 nm ZDer CS-20NG ist ein XYZ Kalibrierstandard mit 20 nm Kalibrierhöhe. Er besteht aus Siliciumdioxidstrukturen auf einem 5x5 mm Silicium-Chip. Der Herstellungsprozess garantiert hervorragende Gleichförmigkeit der Strukturen auf dem gesamten Chip. Der Kalibrierbereich befindet sich in der Mitte des Silicium-Chips und besteht aus einem 1x1 mm großen Quadrat mit quadratischen Säulen und Löchern in einem Abstand von 10 µm. In der Mitte dieses Quadrates sitzt ein mittelgroßes Quadrat mit 500x500 µm. Das mittlere Quadrat hat runde Säulen und Löcher in einem 5 µm Abstand. Darauf sitzt ein kleines Quadrat mit 100x100 µm mit runden Löchern in 500 nm Abstand. Das Design des Nano-Grid erlaubt sowohl laterale, als auch vertikale Scannerkalibrierung. Die symmetrische Struktur des CS-20NG ermöglicht die Kalibrierung der X- und Y-Achse des AFM-Systems in einem Schritt, ohne die Scheibe zu drehen. Der CS-20NG Kalibrierstandard wird entweder montiert mit einem elektrisch leitenden Epoxidharz auf eine AFM Scheibe aus Metall geklebt oder nicht montiert geliefert. Die exakte Höhe ist auf dem Etikett des CS-20NG Standards vermerkt.

CS-20NG AFM XYZ Kalibrierstandard, 20 nm Z
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
34-032020 CS-20NG AFM XYZ Kalibrierstandard, 20 nm Z, montiert auf 12 mm AFM Scheibe
Anz:

Stück €550,00
34-032021 CS-20NG AFM XYZ Kalibrierstandard, 20 nm Z, nicht montiert
Anz:

Stück €550,00


Bestellinfromationen zu AFM / SPM Kalibrier- und Testgitter

*Prices are without tax. Tax might be added in cart.

    # 34-033010   TGX AFM / SPM Kalibriergitter, 3 µm Abstand, unterschnittene Kante

TGX AFM / SPM Kalibriergitter, 3 µm Abstand, unterschnittene KanteDas TGX Kalibriergitter hat eine unterschnittene Ecke. Es wurde durch zweidimensionales Ätzen entlang der (111) kristallographischen Ebene des Siliciums hergestellt. Typischer Radius der Ecken ist 5 nm. Das TGX Kalibriergitter dient zur lateralen Kalibrierung von SPM Scannern, ist aber auch nützlich zur Aufspürung von Linearitätsabweichungen, Hysteresis, Mikroschlupf, Kreuzkopplungseffekten und Bestimmung der Spitzenverhältnisse. Der kalibrierte Abstand beträgt 3 µm bei einer nicht kalibrierten Stufenhöhe von 1 µm. Die Größe des Chips beträgt 5x5x0,3 mm bei einer 1x1 mm Nutzfläche. Sowohl nicht montiert, als auch montiert auf einer 12 mm AFM Scheibe erhältlich.

TGX AFM / SPM Kalibriergitter, 3 µm Abstand, unterschnittene Kante
Artikelnr. Unit Price* Add to Quote / Cart
34-033010-U TGX AFM / SPM Kalibriergitter, 3 µm Abstand, unterschnittene Kante, nicht montiert
Anz:

Stück €200,00
34-033010 TGX AFM / SPM Kalibriergitter, 3 µm Abstand, unterschnittene Kante, auf 12 mm AFM Scheibe
Anz:

Stück €200,00

    # 34-033030   TGF11 AFM / SPM Kalibriergitter, 10 µm Abstand, trapezförmige Struktur

TGF11 AFM / SPM Kalibriergitter, 10 µm Abstand, trapezförmige StrukturDas TGF11 Kalibriergitter verfügt über eine eindimensionale Anordnung trapezförmiger Stufen. Die Stufen sind in ein monokristallines Siliconsubstrat entlang der (111) Ebene geätzt. Ergebnis ist eine ebene Struktur mit glatten Seitenwänden auf dem Trapezoid mit 54,74°. Das TGF11 Kalibriergitter ist nützlich bei der Einschätzung von Linearitätsabweichungen des Scanners in vertikaler Richtung. Die Kalibrierung der lateralen Kraft kann durch Analyse des Kontaktansprechverhaltens auf den flachen und abgeschrägten Ebenen erzielt werden. Der kalibrierte Abstand beträgt 10 µm bei einer nicht kalibrierten Stufenhöhe von 1,75 µm. Die Größe des Chips beträgt 5x5x0,3 mm bei einer 3x3 mm Nutzfläche. Sowohl nicht montiert, als auch montiert auf einer 12 mm AFM Scheibe erhältlich.

TGF11 AFM / SPM Kalibriergitter, 10 µm Abstand, trapezförmige Struktur
Artikelnr. Unit Price* Add to Quote / Cart
34-033030-U TGF11 AFM / SPM Kalibriergitter, 10 µm Abstand, trapezförmige Struktur, nicht montiert
Anz:

Stück €200,00
34-033030 TGF11 AFM / SPM Kalibriergitter, 10 µm Abstand, trapezförmige Struktur, auf 12 mm AFM Scheibe
Anz:

Stück €200,00

 




REM Zubehör

TEM Zubehör

Kalibrierung

Probe Vorbereitung

AFM / SPM

  REM Probenteller
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  Adapter für Probenteller
  Adapter für Probentische
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  Hitachi TM Zubehör
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Instrumente


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  HI-Res IR-Kamera
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  Siliziumnitrid Trägerfilme
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  TEM Grid Aufbewahrung
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  AFM / SPM
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  D801W Vakuummessung
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  Kohlenstoffstäbe & Fäden
  Quarz Kristalle
  Auflagen & Substrate
  REM Präparationshalter
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  Schneidwerkzeuge / Scheren
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  Leitfähige Kleberbänder & Tabs
  Nicht-leitfähige Kleber
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  AFM/SPM Scheiben Aufnahme
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  AFM/SPM Pinzetten
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LM


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  Quarz Objektträger
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  Objektträger Aufbewahrung
  Kalibrierung
  Polymerpipetten
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  Petrischalen