Cressington MTM-10 und MTM-20 Schichtdickenmessgeräte
hochauflösende Systeme für Coater der Cressington 108 Serie


Einleitung
                  Cressington MTM-20 thickness controller system, standard, 230V / 50Hz

Akkurate Schichtdickenmessung und Schichtdickenkontrolle bei der Beschichtung von REM Proben ist wichtig, um reproduzierbare, optimale Beschichtungen zu erhalten. Schätzungen mit einer Platte und einem Tropfen Öl oder gleiche Parameter der Beschichtungsanlage sind nicht genau genug, um reproduzierbare Ergebnisse zu erhalten. Viel besser ist der Einsatz eines Schichtdickenmonitors oder einer Schichtdickenkontrolleinheit, bei denen die Schichtdicke direkt in der Kammer über die Ablagerung auf einem Messkopf gemessen wird. Die preiswerten Cressington MTM Systeme bieten eine sehr gute Auflösung von 0,1 nm bei Kohlebeschichtung (Dichte 2g/cm3). Die Cressington MTM-10 Schichtdickenmonitore können an jeden Sputter Coater oder Carbon Coater der 108er Serie angeschlossen werden. Die Cressington MTM-20 Schichtdickenkontrolleinheit ist voll kompatibel mit den Cressington 108auto und Cressington 108auto/SE Sputter Coatern. Beide werden mit vollständigem Installationskit inkl. Messkopfhalter, CS 108 Vakuumdurchführung, Oszillatorbox und Kabeln geliefert.

Spezifikationen der Cressington MTM-10 und MTM-20 Schichtdickenmessgeräte

Instrument

MTM-10

MTM-20

Artikelnr.

19-010810 / 19-010812

19-010820 / 19-010822

Art

Monitor

Monitor/Kontrolleinheit 

Auflösung

0,1 nm for C (2 g/cm3)

Anzeigebereich

0,0 - 999,9 nm (pos/neg)

Tooling Factor

0,25 – 8,0

Frequenz/Update

6 Mhz / 5/Sekunde

Frequency Sortiment

5,5 Mhz

Speicher

4x Dichte & 4x Tooling

Kompatibilität

All2 108 Coater

108auto & 108auto/SE

Terminator

-

108auto & 108auto/SE

Termination-Bereich

-

0 – 999,9 nm

Vakuumdurchführung

CS-108 (Ø10 x 9 mm)

Messkopf

Ø19 x 20 mm mit Ø 6 mm Kristallbereich

Messkopfkabel

Mini SMB, 18 cm / 30 cm lang

Kristalle

6Mhz / Ø14 mm / goldbeschichtet

Maße

210 x 160 x 77 mm

Stromanschluss

230v / 50 Hz / 50 W

230v / 50 Hz / 50 W


 

Cressington MTM-10 hochauflösender Schichtdickenmonitor

                         Cressington MTM-10 high resolution thickness monitor

Der Cressington MTM-10 Schichtdickenmonitor misst akkurat die Dicke in Cressington Sputter Coatern (Metallzerstäubung) und Carbon Coatern (Kohlebedampfung) mit einer Auflösung von 0,1 nm bei Kohle (2g/cm3). Reproduzierbare Schichtdicken, unabhängig von Coater Parametern wie Gasdruck, Abstand zwischen Probe und Kopf, Stromstärke. Die optimale Schichtdicke kann schnell bestimmt und leicht reproduziert werden. Mit Hilfe der Korrektur durch den Tooling-Faktor zeigt der Monitor die richtige Schichtdicke an. Der Cressington MTM-10 Schichtdickenmonitor hat vier Speicherplätze für das verwendete Beschichtungsmaterial und Speicherplätze für den Tooling-Faktor. Geliefert als komplettes Kit zur Installation in 108er Sputter Coatern oder Carbon Coatern.

  • Kompatibel mit allen Cressington 108 Coatern
  • Einfach zu handhaben, Echtzeitanzeige
  • Hochauflösende Schichtdickenmessung
Angebotsinformationen zum Cressington MTM-10 Schichtdickenmonitor
Artikel # Einheit Beschreibung Anfrage
19-010810 Stück Cressington MTM-10 S Schichtdickenmonitorsystem inkl. Zubehör für 108er, 230V / 50Hz

Artikel # Einheit Beschreibung Anfrage
19-010812 Stück Cressington MTM-10 SR Schichtdickenmonitorsystem für RT und RPT inkl. Zubehör (SE Modelle), 230V / 50Hz



Cressington MTM-20 hochauflösende Schichtdickenkontrolleinheit

                  Cressington MTM-20 thickness controller system, standard, 230V / 50Hz

Die Cressington MTM-20 Schichtdickenkontrolleinheit hat die gleich hohen Spezifikationen wie das MTM-10. Zusätzlich hat sie aber noch einer Terminator-Funktion für Cressington 108auto und 108auto/SE Sputter Coater. Ist die vorprogrammierte Schichtdicke erreicht, schaltet sich die Stromversorgung des Sputterkopfes ab. Diese Funktion ist ideal für Serien von reproduzierbaren Schichten. Die MTM-20 Terminator-Funktion kann voll in den automatischen Zyklus eingebunden werden, wodurch der Anwender sich nach dem Starten des Systems anderen Aufgaben widmen kann.

  • Kompatibel mit allen Cressington 108auto und 108auto/SE Sputter Coatern
  • Einfach zu handhaben, Echtzeitanzeige
  • Hochauflösende Schichtdickenmessung
Angebotsinformationen zur Cressington MTM-20 Schichtdickenkontrolleinheit
Artikel # Einheit Beschreibung Anfrage
19-010820 Stück Cressington MTM-20 S Schichtdickenkontrollsystem inkl. Zubehör (108auto und 108auto/SE), 230V / 50Hz

Artikel # Einheit Beschreibung Anfrage
19-010822 Stück Cressington MTM-20 SR Schichtdickenkontrollsystem für RT/RPT inkl. Zubehör (SE Modelle), 230V / 50Hz



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TEM Zubehör

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  Produktübersicht mit Bilder
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