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EM-Tec Silizium REM Gittersubstrat (Finder Grid)
144 individuelle, indizierte Felder für viel Proben und korrelative Mikroskopie


EM-Tec silicon SEM finder grid substrate mit 144 individual, indexed fields for multiple samples and correlative microscopy

Einleitung

Das neuartige EM-Tec FG1 Silizium REM Finder-Grid-Substrat besteht aus einem 12x12 mm Raster aus feinen Chromablagerungen mit 1 mm Rastermaß auf einem leitenden, ultraflachen Siliziumsubstrat. Das Substrat ist in 144 indizierte 1x1 mm Felder aufgeteilt, wobei jedes der Felder eine eindeutige, alphanumerische Beschriftung in der unteren rechten Ecke trägt. Die alphanumerische Beschriftung ist einfach mit einer Lupe, einem Stereomikroskop oder REM zu sehen. Das entstandene Raster ist vergleichbar mit 25 Mesh und ist gut geeignet für größere Partikel oder kleine Proben, die in separaten Feldern untergebracht werden sollen. Das EM-Tec FG1 Silizium REM Gittersubstrat eignet sich ideal für die korrelative Mikroskopie, da die Position der Probe durch den Index leicht wiedergefunden werden kann. Das 12x12 mm Raster des EM-Tec FG1 ist auf einem 12,5 x 12,5 mm Substrat aufgebracht. In erster Linie ist dieses Grid für REM-Anwendungen konzipiert. Es ist aber ebenso für Auflichtmikroskopie, AFM und Auger/SIMS geeignet. Dieses einzigartige Produkt hat eine Reihe von Vorteilen gegenüber gravierten REM Stubs und anderen, gebräuchlichen REM Finder-Grid Rastern aus Kupfer:

  • Es ist ultraflach - es gibt keine Höhenunterschiede wie auf einem Kupfer-Gitter
  • Raster ist mit bloßem Auge leicht sichtbar, wie auch im REM und unter dem Lichtmikroskop
  • Jedes Feld ist individuell mit Buchstabe und Nummer indiziert
  • Niedriges Hintergrundsignal für REM-Abbildungen – vergleichbar zu Si Chips
  • Feines, helles Raster im gesamten Bereich – feiner als gravierte Stubs
  • Probengröße kann durch das 1x1 mm Raster im Hintergrund leicht bestimmt werden
  • Kompatibel mit Ø 12,7 mm Pin Stubs, Ø 12,2 mm JEOL Stubs und Ø 15 mm Hitachi Stubs
  • Einfache Befestigung auf REM und AFM Stubs
  • Kompatibel mit REM, FIB, AFM, LM, XPS/ESCA, SIMS und Auger
  • Wiederverwendbar – Lösungsmittelresistent und kompatibel mit Plasma-Cleaning

Das EM-Tec FG1 Silizium REM Rastersubstrat wird in einem Reinraum verpackt und in einer Gel-Box geliefert.

Das EM-Tec FG1 Silizium Rastersubstrat ist ideal für:

  • korrelative, nachweisende, kollaborative oder sich wiederholende Mikroskopieanwendungen
  • die Untersuchung vieler, kleiner Partikel
  • Demonstrationsproben mit Schnellfinder-Gitter
  • schnelle Einschätzung der Größe durch das 1 mm Raster

Spezifikationen des Rasters und ultraflachen Silizium-Wafers des EM-Tec FG1 Silizium Finder Grids: :
Rastergröße   12 x12 mm divided into 144 individual 1x1mm fields
Kennzeichnung Jedes Feld mit Buchstabe und Zahl unten rechts eindeutig
gekennzeichnet Muster / Linien 75nm dick abgeschieden Cr-Schicht mit 20 µm Linienbreite, 80 µm Linienhöhe
Substratgröße 12.5x12.5 mm
Orientierung <100>
Art P (Boron)
elektrischer Wiederstand  1-10 Ohm/cm
Grad Prime / CZ Virgin
Beschichtung None, native oxide only
Dicke 675µm (+/- 20µm)
TTV-Rauheit ≤1.5µm
Oberflächenkrümmung ≤30µm


Technische Informationen: EM-Tec FG1 silicon SEM finder grid substrate

Bestellinformationen

*Nettopreise zuzüglich gesetzlicher Umsatzsteuer. Wir verkaufen nicht an Privatpersonen.    

EM-Tec FG-1 Silizium Rastersubstrat mit 144 Felder, jedes 1x1 mm EM-Tec FG-1 Silizium Rastersubstrat mit 144 Felder, jedes 1x1 mm

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