Cressington 208HRD Hochauflösende Turbo Sputter Coater
Hochauflösende, Hochvakuum, Sputter Coater mit Turbopumpe für FE-REM-, Mikrosonden- und EDX/WDX- Anwendungen


Cressington 208HRD Hochauflösende Turbo Sputter Coater
                     Cressington-208HRD hochauflösungs Turbo Sputter Coater mit R-P-T Probentisch,Target-Drehblende, Turbopumpe und MTM-20 Schichtdicken-Kontrollsystem
               Cressington-208HRD hochauflösungs Turbo Sputter Coater mit R-P-T Probentisch,,
              Target-Drehblende, Turbopumpe und MTM-20 Schichtdicken-Kontrollsystem

 

Der aktualisierte hochauflösende Turbo-Sputter-Coater Cressington 208HRD wurde speziell für die Beschichtung von Proben für die hochauflösende FE-REM-Abbildung und Analyse entwickelt. Dieses kompakte, vielseitige, modulare Turbo-Sputter-Beschichtungssystem lässt sich leicht konfigurieren und bietet echte Lösungen für die optimale Beschichtung schwieriger Proben. FE-REM-Proben benötigen sehr dünne, feinkörnige, gleichmäßige und konforme leitfähige Beschichtungen, um Aufladungseffekte zu eliminieren und den Kontrast für scharfe Bilder zu verbessern. Um die Auswirkungen der Körnung zu minimieren, bietet das Cressington 208HRD eine vollständige Palette von Beschichtungsmaterialien und ermöglicht eine beispiellose Kontrolle der Dicke und der Beschichtungsbedingungen.

Um Aufladungseffekte zu minimieren, ermöglichen der motorisierte Rotations-Planeten-Kipptisch (R-P-T) und die große Auswahl an Argongasdrücken eine präzise Steuerung der Gleichmäßigkeit und Konformität der Beschichtung. Der hochauflösende MTM-20-Dickenregler mit Terminierungseinrichtung ermöglicht eine präzise Kontrolle der Schichtdicke. Beschichtungsmaterialien wie Ir, Cr, Pt/Pd und W ermöglichen dünne Beschichtungen mit einer Korngröße unter 1 nm. Das Cressington 208HRD wird komplett mit einer Blende für die Konditionierung von nicht edelmetallhaltigen Feinkorntargets wie Cr und W geliefert.


       19-012080 Motorisierter Planetengetriebenen-Dreh-Kipptisch (R-P-T)
        19-012080 Motorisierter
Planetengetriebenen-Dreh-Kipptisch (R-P-T)

Cressington 208HRD-150 Vakuumrezipienten mit dem R-P-T Probentisch

Die Cressington 208HRD Vakuumkammer mit dem R-P-T-Tisch kann in verschiedenen Höhen konfiguriert werden. Die Gesamthöhe beträgt 165 mm und besteht aus einer kurzen (Ø150 x 65 mm) Glaskammer, einem 70 mm hohen R-P-T-Tisch in einem Aluminiumkragen und zwei Metall-Abstandsringen von 15 mm. Die teleskopische Auflage der oberen Platte ermöglicht unterschiedliche Höhen. Durch Vergrößerung des Abstands zur Probe kann die Sputterrate verringert werden; dies kann bei sehr dünnen Schichten und/oder rauen Proben wünschenswert sein

Der motorisierte R-P-T-Tisch umfasst 4 Probenhalter, die aus der unten stehenden Liste von Optionen ausgewählt werden können. Die Standard-Probenhalter für den R-P-T-Tisch sind Probenhalter für 6 x Ø12,7 mm Stiftprobenteller. Der Kristallkopf für den MTM-20 Dickenmesser ist am R-P-T-Tisch befestigt.


2. Kammer-Ausstattung
Optional ist eine zweite Kammerausstattung erhältlich, die die Glaskammer Ø150 x 150 mm, einen Metall-Abstandsring und einen statischen Tisch umfasst.

         208HRD mit Ø 28mm Target und Target-Drehblende
        2208HRD Sputter-Kopf mit
Ø 28mm Target und Target-Drehblende


Die Merkmale und Vorteile des hochauflösenden Sputter-Coaters 208HRD sind:

  • Komplette, einfach zu bedienende und schnelle Sputterbeschichtungslösung
  • Einzigartiger hochauflösender Sputterkopf mit konstanter Stromregelung
  • Das Hochvakuumsystem ermöglicht eine große Auswahl an Targetmaterialien
  • Inklusive Drehblende für die Targetkonditionierung
  • Kompatibel mit Cr, W, Ir, Pt/Pd und vielen anderen Targets
  • Gleichmäßige, konsistente, präzise und reproduzierbare Probenbeschichtung
  • Präzise Schichtdickenkontrolle mit dem mitgelieferten Schichtdickenregler MTM-20
  • Motorisierter Planeten-Dreh-Kipp-(R-P-T) Tisch für gleichmäßige und konforme Beschichtung
  • Ø150 mm praktische Kammer ermöglicht optimale Konfigurationen
  • Ölfreies Pumpsystem mit Turbo-/Membranpumpenkombination


Die Merkmale und Vorteile des hochauflösenden Sputter-Coaters 208HRD sind:

Hochauflösende Turbo Sputter Coater

208 HRD

Artikel Nr.

19-012200

Hochauflösende Sputterkopf

Cooles Planar-Magnetron, Rundum-Dunkelraumabschirmung
Blende für Target, schneller Targetwechsel

Target Abmessungen

Ø28 x 0,2 bis 3,2 mm Dicke

Target Materialien

Cr, Pt/Pd, Ir, W, Pt, Au, Au/Pd, Pd und mehr – siehe vollständige Liste

Rezipienten Grösse

Ø165 x 150mm mit teleskopischer Höhenverstellung,
65mm kurze Glaskammer, 2 x 15mm H Distanzringe
70 mm H motorisierter R-P-T-Tisch für variable Höhen

Sputter Versorgung

Mikroprozessorgesteuert, Sicherheitsverriegelung, vakuumunabhängige
Konstantstromregelung (20, 40, 60 und 80mA)

Kontrollparameter

Automatische Zyklusfunktion, manuelle Steuerung
Digitaler Timer, Schichtdickenkontrolle mit Terminierung
Beschichtungszeit 1-600 sek, automatische Belüftung

Analog-Anzeige

Vakuum: Atm – 0,001mBar
Sputterstrom: 0-100mA
Plasma-Spannung: 0-500V

Schichtdicken-Kontrollsystem

MTM-20 inklusive + Crystalkopf auf R-P-T Probentisch
Auflösung 0,1nm

Probentisch

Motorized R-P-T stage with manual tilt -90 to + 90 degrees
Variable speed rotation, planetary motion, incl. 4 sample holders

Hochvakuum Turbopumpe

ISO63 / 67 l/s HiPace 80

Vorvakuumpumpe

MVP020 Oilfreie Membranpumpe

Pumpzeit

4 x 10-5 mbar in 10 Minuten

Endvakuum

8 x 10-6 mbar

Vakuummessgerät

Pirani

Abmessungen

60 x 60 x 36 cm

Gewicht inkl. Pumpen

40 kg

Leistung

230v / 50 Hz / 550W


Angebots-Informationen zu Cressington 208HRD hochauflösenden Turbo Sputter Coater
Cressington 208HRD Hochvakuum, Hochauflösungs Sputter Coater für FE-REM, 230V/50Hz208HRD Cressington 208HRD Hochvakuum, Hochauflösungs Sputter Coater für FE-REM, 230V/50Hz208HRD
Artikel # Beschreibung Anfrage
19-012200 Cressington 208HRD Hochvakuum, Hochauflösungs Sputter Coater für FE-REM, 230V/50Hz
Inkl. Cool Magnetron-Sputterkopf mit Shutter,
Ø150mm Kammer mit Höhenverstellung,
R-P-T-Tisch mit 4 planetarisch beweglichen Probentischen,
MTM-20 Schichtdickenüberwachungssystem,
Plasmaspannungsmonitor, Präzisionsgasleck, Compound-Turbopumpe mit Lüfter,
Trocken-membran-Vorvakuumpumpe und Pt/Pd-Target Ø28 x 0,4mm Dicke


Bestellinformationen für 2e Glass-Rezipienten und Probenhalter des R-P-T Probentisches für Cresisngton 208HRD
*Preisen ohne Umsatzsteuer, aber innerhalb der EU, müssen wir Ihr Ust.-Nummer überprufen.
Zweite Kammerausstattung für 208HRD-150
Zweite Kammerausstattung für 208HRD-150 Zweite Kammerausstattung für 208HRD-150
Inkl. Glaskammer Ø150 x 150mm,
Metall-Distanzring Ø150 x 15mm,
Statischem Probentisch mit Höhenverstellung zum Einbau in die Grundplatte
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
#19-012220 Stück €496,00
Qty:



R-P-T Probenhalter für 6 x Ø 12,7 mm Standard Probenteller
R-P-T Probenhalter für 6 x Ø 12,7 mm Standard Probenteller R-P-T Probenhalter für 6 x Ø 12,7 mm Standard Probenteller
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
#19-012081 Stück €105,00
Qty:



R-P-T Probenhalter für 3 x Ø 12,7 mm Standard Stiftprobenteller oder 3 x Ø15 mm Hitachi M4 Probenteller
R-P-T Probenhalter für 3 x Ø 12,7 mm Standard Stiftprobenteller oder 3 x Ø15 mm Hitachi M4 Probenteller R-P-T Probenhalter für 3 x Ø 12,7 mm Standard Stiftprobenteller oder 3 x Ø15 mm Hitachi M4 Probenteller
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
#19-012088 Stück €115,00
Qty:



R-P-T Probenhalter für 1 x Ø 25 mm / 1 Zoll Probenteller oder Einbettungen
R-P-T Probenhalter für 1 x Ø 25 mm / 1 Zoll  Probenteller oder Einbettungen R-P-T Probenhalter für 1 x Ø 25 mm / 1 Zoll Probenteller oder Einbettungen
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
#19-012082 Stück €105,00
Qty:



R-P-T Probenhalter für 1 x Ø 32 mm / 1-1/4 Zoll Probenteller oder Einbettungen
R-P-T Probenhalter für 1 x Ø 32 mm / 1-1/4 Zoll  Probenteller oder Einbettungen
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
#19-012083 Stück €105,00
Qty:



R-P-T Probenhalter für 4 x Ø 12,5 mm JEOL Stubs
R-P-T Probenhalter für 4 x Ø 12,5 mm JEOL Stubs
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
#19-012084 Stück €185,00
Qty:



RPT Probenhalter für Ø 40 mm (1-1/2 Zoll) Proben
RPT Probenhalter für Ø 40 mm (1-1/2 Zoll)  Proben RPT Probenhalter für Ø 40 mm (1-1/2 Zoll) Proben
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
#19-012086 Stück €125,00
Qty:



Kristallkopf-Halterung für Cressington R-P-T Probentisch
Kristallkopf-Halterung für Cressington R-P-T Probentisch R-P-T Probenhalter für 6 x Ø 12,7 mm Standard Probenteller
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
#19-012091 Stück €115,00
Qty:





Bestellinformationen zu Verbrauchsmaterial für den Cressington 208HRD Turbo Sputter Coater
*Preisen ohne Umsatzsteuer, aber innerhalb der EU, müssen wir Ihr Ust.-Nummer überprufen.
O-Ring Set für Glasrezipient Ø 150 mm O-Ring Set für Glasrezipient Ø 150 mm
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
64-012450 Pack/2 €22,00
Qty:

 

Glasrezipient Ø 150 x 150 mm (108auto/SE, 108carbon/A/SE, 208HR, 208carbon)) Glasrezipient Ø 150 x 150 mm (108auto/SE, 108carbon/A/SE, 208HR, 208carbon))
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
64-012452 Stück €289,00
Qty:

 

Glasrezipient Ø 150 x 65 mm für Coater mit RT oder RPT (108auto/SE, 108carbon/A/SE, 208HR, 208carbon) Glasrezipient Ø 150 x 65 mm für Coater mit RT oder RPT (108auto/SE, 108carbon/A/SE, 208HR, 208carbon)
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
64-012453 Stück €175,00
Qty:

 

Aluminium Adapterring Ø 150 x 15 mm für Coater mit RT oder RPT Aluminium Adapterring Ø 150 x 15 mm für Coater mit RT oder RPT
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
64-012455 Stück €195,00
Qty:

 

Statischer Tisch mit M6-Höhenverstellung für die Cressington Systeme 108 und 208 Statischer Tisch mit M6-Höhenverstellung für die Cressington Systeme 108 und 208
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
64-012456 Stück €157,50
Qty:

 

Schwingquarzkristalle für MTM-10 und MTM-20 Schichtdickenmessgeräte, 6 MHz, Ø 14 mm Schwingquarzkristalle für MTM-10 und MTM-20 Schichtdickenmessgeräte, 6 MHz, Ø 14 mm
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
64-010835 Box/10 €123,50
Qty:

 



Bestellinformationen zu Ø28mm Target für den Cressington 208HRD Turbo Sputter Coater
*Preisen ohne Umsatzsteuer, aber innerhalb der EU, müssen wir Ihr Ust.-Nummer überprufen.
Ø28 mm hochreine scheibenförmige EM-Tec Sputter Targets für Cressington 208 HRD Sputter Coater Ø28 mm hochreine scheibenförmige EM-Tec Sputter Targets für Cressington 208 HRD Sputter Coater
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
70-AG2810 Silber Sputter Target, Ø 28 x 0,25 mm, Scheibenform, 99,99% Ag
Qty:

Stück €120,00
70-AP2808 Gold/Palladium Sputter Target, Ø 28 x 0,2 mm, Scheibenform, 60/40 Au/Pd, 99,99% Au/Pd
Qty:

Stück €595,00
70-AP2809 Gold/Palladium Sputter Target, Ø 28 x 0,2 mm, Scheibenform, 80/20 Au/Pd, 99,99% Au/Pd
Qty:

Stück €595,00
70-AP2816 Gold/Palladium Sputter Target, Ø 28 x 0,4 mm, Scheibenform, 60/40 Au/Pd, 99,99% Au/Pd
Qty:

Stück €995,00
70-AP2817 Gold/Palladium Sputter Target, Ø 28 x 0,4 mm, Scheibenform, 80/20 Au/Pd, 99,99% Au/Pd
Qty:

Stück €995,00
70-AU2808 Gold Sputter Target, Ø 28 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Au
Qty:

Stück €595,00
70-AU2816 Gold Sputter Target, Ø 28 x 0,4 mm, Scheibenform, 99,99% Au
Qty:

Stück €990,00
70-CR2820 Chrom Sputter Target, Ø 28 x 0,5 mm, Scheibenform, 99,95% Cr
Qty:

Stück €395,00
70-CU2810 Kupfer Sputter Target, Ø 28 x 0,25 mm, Scheibenform, 99,99% Cu
Qty:

Stück €95,00
70-FE2804 Eisen Sputter Target, Ø 28 x 0,1 mm, Scheibenform, 99,5% Fe
Qty:

Stück €95,00
70-IN2820 Indium Sputter Target, Ø 28 x 0,5 mm, Scheibenform, 99,99% In
Qty:

Stück €130,00
70-IR2812 Iridium Sputter Target, Ø 28 x 0,3 mm, Scheibenform, 99,99% Ir
Qty:

Stück €2975,00
70-IT2899 ITO (Indium Tin Oxide) Sputter Target, Ø 28 x 3,2 mm, Scheibenform, inkl. 1,2 mm Kupferscheibe, 90/10 Wt% In2O3/SnO2, 99,99%
Qty:

Stück €990,00
70-MG2808 Magnesium Sputter Target, Ø 28 x 0,20 mm, Scheibenform, 99,99% Mg
Qty:

Stück €75,00
70-MO2820 Molybdän Sputter Target, Ø 28 x 0,5 mm, Scheibenform, 99,95% Mo
Qty:

Stück €245,00
70-NB2820 Niobium Sputter Target, Ø 28 x 0,5 mm, Scheibenform, 99,98% Nb
Qty:

Stück €245,00
70-NI2803 Nickel Sputter Target, Ø 28 x 0,075 mm, Scheibenform, 99,98% Ni
Qty:

Stück €95,00
70-PD2808 Palladium Sputter Target, Ø 28 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Pd
Qty:

Stück €525,00
70-PD2816 Palladium Sputter Target, Ø 28 x 0,4 mm, Scheibenform, 99,99% Pd
Qty:

Stück €890,00
70-PP2808 Platin/Palladium Sputter Target, 80/20 wt% Pt/Pd, Ø 28 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Pt/Pd
Qty:

Stück €595,00
70-PP2816 Platin/Palladium Sputter Target, 80/20 wt% Pt/Pd, Ø 28 x 0,4 mm, Scheibenform, 99,99% Pt/Pd
Qty:

Stück €995,00
70-PT2808 Platin Sputter Target, Ø 28 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Pt
Qty:

Stück €515,00
70-PT2816 Platin Sputter Target, Ø 28 x 0,4 mm, Scheibenform, 99,99% Pt
Qty:

Stück €890,00
70-SN2808 Sinn Sputter Target, Ø 28 x 0,20 mm, Scheibenform, 99,99% Sn
Qty:

Stück €80,00
70-TA2820 Tantalum Sputter Target, Ø 28 x 0,5 mm, Scheibenform, 99,99% Ta
Qty:

Stück €295,00
70-TI2810 Titan Sputter Target, Ø 28 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,6+% Ti
Qty:

Stück €95,00
70-WO2820 Wolfram Sputter Target, Ø 28 x 0,5 mm, Scheibenform, 99,95% W
Qty:

Stück €245,00
70-ZN2820 Zink Sputter Target, Ø 28 x 0,5 mm, Scheibenform, 99,5% Zn
Qty:

Stück €55,00

 





REM Zubehör

TEM Zubehör

Kalibrierung

Probenvorbereitung

AFM / SPM

  Produktübersicht mit Bilder
  REM Probenteller
  Kohlenstoffklebepads
  Adapter für Probenteller
  Adapter für Probentische
  REM Probenhalter
  REM Präparationshalter
  EM Kathoden
  Silizium-Such-Substrate
  Gatan 3View Probenteller
  FEI Volumescope Probenteller
  Boxen für Probenteller
  Phenom Zubehör
  JEOL NeoScope Zub.
  Hitachi TM Zubehör
  Probenhalterkits
  FlowView Flüssigproben-Halter

Instrumente

  Schallschutzboxen
  Cressington REM Beschichtung
  TEM Sample Prep
  Membranvakuumpumpe
  Rotationsvakuumpumpe
  Präzisions-Diamantsäge
  TEM Netzchen
  Trägerfilme
  Siliziumnitrid Trägerfilme
  K-kit Nasszelle
  Graphen Filme
  TEM Grid Boxen
  Kryo Grid Boxes
  TEM Probenkontrastierung
  TEM 3mm Einbettungsrörchen
  Kathoden
  Kunstwimper-Manipulartorset

Kryo Zubehör

  Kryo Grid Box
  Weiteres Kryo Zubehör

FIB Zubehör

  FIB Lift-out Grids
  FIB flache Probenteller
  FIB Grid Probenhalter
  FIB vorgekippte Probenhalter
  FIB vorgekippte Probenteller
  FIB Grid Aufbewahrung
  REM / FIB Vergrößerung
  REM Auflösungstandards
  EDS / WDS Standars
  TEM Kalibrierung
  AFM / SPM Kalibrierung
  LM Kalibrierung

Vakuum Zubehör

  Vakuummessung
  KF/NW Vakuumbauteile
  KF/NW Vakuumschläuche
  ISO Vakuumflansch Teile
  Vakuumöle und Fette
  Vakuum-Versiegelung
  Membranvakuumpumpe
  Rotationsvakuumpumpe
  Vakuumprobenaufbewahrung
  Vakuumpinzetten

Probebeschichtung

  Sputter Targets
  Kohlenstoffstäbe & Fäden
  Quarz Kristalle
  REM Beschichtungsflüssigkeit

Bedampfung Zubehör

  Therm. Verdampfungsquellen
  Bedampfungsmaterialien
  Auflagen & Substrate
  REM Präparationshalter
  Pinzetten
  Nadeln & Sonden
  Holzspatel & Tupfer
  Polymer Transferpipetten
  Schneidwerkzeuge / Scheren
  Leitfähige Kleber
  Leitfähige Kleberbänder/Tabs
  Nicht-leitfähige Kleber
  Probenaufbewahrung
  Werkzeuge
  Sortier-Gewebe
  Probenpräparation
  Reinigung / Handschuhe
  Leitfähige Metallpulver
  Metallographie
  AFM/SPM Metallscheiben
  AFM/SPM Scheiben Aufnahme
  AFM/SPM Halter
  AFM/SPM Aufbewahrung
  Cantilever Pinzetten
  AFM/SPM Pinzetten
  Nano-Tec Mica Scheiben
  HOPG Substrate

Lichtmikroskop Zubehör

  Korrelative Deckgläschen
  Glas-Objektträger
  Deckgläschen
  Quarz Objektträger
  Quarz-Deckgläschen
  Schwarze Metallobjektträger
  Objektträger Aufbewahrung
  Kalibrierung
  Polymerpipetten
  Reinigungspapier für Linsen
  Petrischalen
  Digitalmikroskop
  PTFE Becher