EM-Tec Schachbrett-Kalibrierungsstandard für die SEM-Bildgebung
schnelle und einfache Kalibrierung der Vollbildvergrößerung

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• EM-Tec Schachbrett-Kalibrierungsstandard für die SEM-Bildgebung   
  • EM-Tec Schachbrett-Kalibrierstandard

Der EM-Tec Schachbrett-Kalibrierstandard wurde für die schnelle und einfache Vergrößerungs- und Bildkalibrierung von REMs und Kompakt-REMs entwickelt. Er besteht aus über 1,6 Millionen Quadraten, die 4 Stufen von Schachbrettmustern bilden. Das kleinste Schachbrett ist 10 x 10 um groß. Diese kleinsten Schachbrettmuster bilden dann ein Muster von 100 x 100 um und diese wiederum bilden Schachbrettmuster von 1 x 1 mm. Die 1 x 1 mm großen Schachbretter bilden dann ein 5 x 5 mm großes Muster.
Die kleinsten 1 x 1 um Quadrate werden mit 60 nm dickem Chrom auf einem ultraflachen, leitfähigen, mit Bor dotierten <100> Siliziumsubstrat hergestellt. Diese Materialien gelten unter normalen Arbeitsbedingungen als inert. Der Abbildungskontrast ist sowohl bei SE- als auch bei BSE-Abbildungen gut. Der EM-Tec Schachbrett-Kalibrierstandard eignet sich für die Kalibrierung von REM-Vergrößerungen im Bereich von 20x bis 50.000x mit einer Abstandgenauigkeit von ± 0,1% in X- und Y-Richtung. Auch nützlich für die Überprüfung von Bildverzerrungen und der Genauigkeit von (motorisierten) REM-Tischen.
Der EM-Tec Schachbrett-Kalibrierstandard ist NIST-rückführbar. Beispiel für ein Rückführbarkeitszertifikat auf Wafer-Ebene, das mit jedem EM-Tec Schachbrett-Kalibrierstandard geliefert wird.

Merkmale des EM-Tec Schachbrett-Kalibrierstandards

• Schnelle und einfache Vergrößerungskalibrierung und Bildkontrolle
• Merkmalgrößen: 1 mm, 100 um, 10 um und 1 um
• Teilungsgenauigkeit ± 0,1% in X- und Y-Richtung
• Ideal für SEM und Kompakt-SEM
• NIST-rückführbar
• Großes 5 x 5 mm Schachbrettmuster
• Die Größe beträgt 6 x 6 mm mit einer Dicke von 675 um
• Substrat B-dotiertes <100> Silizium mit 5-10 Ohm-cm Widerstand
• Muster aus 60nm dickem Chrom
• Langlebige Konstruktion mit praktisch inerten Materialien

Der EM-Tec EDX-Schachbrett-Kalibrierstandard ist sowohl unmontiert als auch montiert auf den gängigen SEM-Stümpfen erhältlich.

Helle Cr-Quadrate des -1um-Schachbrettmusters im SE-Bild Linienprofil der SE-Signalintensität, das die scharfen Kanten der 1-Um-Quadrate deutlich zeigt

EM-Tec Schachbrett-Kalibrierstandard Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage 31-T37000-U EM-Tec Schachbrett-Kalibrierstandard, nicht montiert Qty: Stück €585,00 31-T37000-1 EM-Tec Schachbrett-Kalibrierstandard, auf Ø12,7 mm Standard Stiftprobenteller Qty: Stück €595,00 31-T37000-2 EM-Tec Schachbrett-Kalibrierstandard, auf Ø12,7 mm Zeiss Stiftprobenteller Qty: Stück €595,00 31-T37000-6 EM-Tec Schachbrett-Kalibrierstandard, auf Ø12,2 mm JEOL Probenteller Qty: Stück €612,50 31-T37000-8 EM-Tec Schachbrett-Kalibrierstandard, auf Ø15 mm Hitachi M4 Probenteller Qty: Stück €595,00