EBSD-3D-Probenhalter für FEI / Thermo DualBeam REM-FIB-Systeme
EBSD-3D-Probenhalter für FEI / Thermo DualBeam REM-FIB-Systeme
| Analyse von Cross-Sections | |||
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| Analyse von Probenoberflächen | |||
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Einleitung
Der EBSD-3D-Probenhalter für FEI / Thermo DualBeam REM-FIB-Systeme ermöglicht FIB-Probenbearbeitung mit direkter EBSD-Datengewinnung der gleichen Stelle. Mehrmaliges Drehen der Probe um 180 Grad zwischen Milling- und EBSD-Mapping-Position ermöglicht die Gewinnung von Daten zur Erstellung eines 3D-EDSD-Mappings. Zum Einsatz dieses Probenhalters werden FEI EBS3-Software und FEI / Thermo DualBeam REM-FIB-Systeme benötigt.
Der EBSD-3D-Probenhalter kann zur Analyse der Oberfläche oder Cross-Secstion einer Probe eingesetzt werden. Die Winkel auf dem EBSD-3D-Halter sind 54° (kürze Seite) und 36° (lange Seite). Der Probenhalter hat ein M6 Feingewinde, das in der Mitte des Probentisches eingeschraubt wird. Der Probentisch soll auf 16° Kippung eingestellt werden.
- Für die Analyse von Cross-Sections werden die Proben auf der kurzen Seite angebracht. Mit 16° Vorkippung ist die Probe auf 52° (36° + 16°) gekippt. Die Cross-Section ist jetzt senkrecht zur FIB-Säule. Wird der EBSD-3D-Halter um 180° gedreht, befindet sich die gerade bearbeitete Cross-Section in 70° Kippung (54° + 16°) für die EDSD-Datengewinnung.
- Bei der Analyse von Probenoberflächen, werden die Proben auf der langen Seite angebracht. Mit 16° Vorkippung ist die Probe auf 52° (36° + 16°) gekippt. Die Probenoberfläche befindet sich jetzt senkrecht zur FIB-Säule. Wird der EBSD-3D-Halter um 180° gedreht, befindet sich die gerade bearbeitete Cross-Section in 70° Kippung (54° + 16°) für die EDSD-Datengewinnung.
Gefertigt aus vakuumfestem Aluminium. Hergestellt im Zusammenarbeit mit FEI /Thermo EBS3-Anwendern.
Bestellinformationen zu EBSD-3D Probenhalter für FEI / Thermo DualBeam Systeme
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