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Micro-Tec MTC-5 Mehrfach-Kalibrierstandards
kombinieren Kalibrierung und Beurteilung der Bildqualität in einem Standard



Einleitung
                 31-T33600   Micro-Tec MTC-5 Mehrfach-Kalibrierstandards
                 31-T33600 Micro-Tec MTC-5 Mehrfach-Kalibrierstandard bestehend
aus 4 Mustern, dunkler Grund, helle Markierungen
                 Bestellinformation

Die neuen und innovativen MTC-5 Mehrfach-Kalibrierstandards sind hergestellt aus ultraflachem Siliziumträger mit korrosionsbeständigen Chromlinien. Die präzisen Linien werden unter Verwendung modernster Halbleiter-Herstellungstechniken gefertigt. Die MTC-5 Mehrfach-Kalibrierstandards liefern einen glänzenden, ergiebigen Kontrast für einfache Kalibrierung. Sie sind gedacht für Auflichtmikroskope, Systeme zur Qualitätskontrolle und REM mit niedriger Vergrößerung zur:

  • Kalibrierung der Vergrößerung
  • Messung kritischer Maße
  • Verzerrungskorrektur
  • Bewertung der Bildqualität
  • Messung der Qualität

Die vier Muster des MTC-5 Kalibrierstandards sind:

  • Kreismuster mit 10 µm bis 5 mm Durchmesser
  • Quadratische Muster von 10x10 µm bis 5x5 mm
  • Sechseckige Muster von 10 µm bis 5 mm
  • Kreuzskalenmuster von 5x5 mm mit 0,01 mm Einteilungen

Die aufgedampften Chromlinien liegen in der gleichen Fokussierebene wie das Substrat. Sie sind schärfer begrenzt und liefern ein besseres Signal als geätzte Muster. Sie sind zudem weniger anfällig gegenüber Staubpartikeln im Muster.

Jedem Kalibrierstandard wurde eine individuelle Seriennummer eingeätzt. Die MTC-5 Mehrfach-Kalibrierstandards sind NIST nachverfolgbar und werden mit Wafer-Level Zertifikat zur Nachverfolgung geliefert. Die MTC-5 sind in zwei Versionen erhältlich:

  • MTC-5 mit Cr Linien auf Silizium für Hellfeldbetrachtung
  • MTCD-5 mit invertierten Mustern (Felder zwischen den Linien sind mit Cr beschichtet) für Dunkelfeldbetrachtung

Spezifikationen der Micro-Tec MTC-5 Mehrfach-Kalibrierstandards:

Trägerplatte 525 µm dicker, mit Bor dotierter ultraflacher Wafer mit <100> Orientation
Leitfähigkeit Sehr gut; 5-10 Ohm Widerstand
Muster Kreise, Quadrate, Sechsecke, Kreuzskale
Mustergröße 5 x 5 mm (4x)
Linien 75 nm dick, klare, helle Chromlinien
5 µm breite Linien, 10, 25, 50, 75, 100, 125 und 150 µm abstand
10µm breite Linien, 200, 250, 300, 350, 400, 500, 600, 700, 800 und 900 µm abstand
20µm breite Linien 1.0, 1.5, 2, 2.5, 3, 3.5, 4, 4.5 und 5 mm abstand
Muster Kreuzskale 5 mm breite Linien, 5 x 5 mm und 0,01 mm Einteilungen
Gesamtgröße 12 x 12mm
Applikationen Auflichtmikroskopie, Rasterelektronenmikroskopie, optische Bildgewinnungssysteme
Identifikation Artikelnummer und Seriennummer eingeätzt
Befestigung Nicht montiert, optional auch montiert erhältlich
Auslieferung Auslieferung in Gel-Pak Box



Bestellinformationen für Micro-Tec MTC-5 Mehrfach-Kalibrierstandards

*Nettopreise zuzüglich gesetzlicher Umsatzsteuer. Wir verkaufen nicht an Privatpersonen.


# 31-T33600   Micro-Tec MTC-5 Mehrfach-Kalibrierstandard bestehend aus 4 Mustern, dunkler Grund, helle Markierungen

Micro-Tec MTC-5 Mehrfach-Kalibrierstandard bestehend aus 4 Mustern, dunkler Grund, helle Markierungen Der Micro-Tec MTC-5 Hellfeld Mehrfach-Kalibrierstandard verfügt über exakt aufgedampfte, helle Chromlinien auf einem leitfähigen, ultraflachen Siliziumträger. Der MTC-5 ist gedacht für Auflichtmikroskope, Stereomikroskope, Systeme zur optischen Qualitätskontrolle und REM mit niedriger Vergrößerung. Der Micro-Tec MTC-5 beinhaltet vier scharf begrenzte Muster:
Kreismuster mit 10 µm bis 5 mm Durchmesser
Quadratische Muster von 10x10 µm bis 5x5 mm
Sechseckige Muster von 10 µm bis 5 mm
Kreuzskalenmuster von 5x5 mm mit 0,01 mm Einteilungen

Die vier aufgedampften Chrommuster liegen in der gleichen Fokussierebene wie das Substrat. Sie sind schärfer begrenzt und liefern ein besseres Signal als geätzte Muster. Die MTC-5 Mehrfach-Kalibrierstandards sind NIST nachverfolgbar. Beispiel für ein Wafer-Level Zertifikat zur Nachverfolgung.
(weitere Bilder)
Vollständige Liste der MTC-5 Standards mit und ohne Träger-Stub (Probenteller)

Micro-Tec MTC-5 Mehrfach-Kalibrierstandard bestehend aus 4 Mustern, dunkler Grund, helle Markierungen
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
31-T33600-U Micro-Tec MTC-5 Mehrfach-Kalibrierstandard bestehend aus 4 Mustern, dunkler Grund, helle Markierungen, nicht montiert
Anz:

Stück €186,50
31-T33600-3 Micro-Tec MTC-5 Mehrfach-Kalibrierstandard bestehend aus 4 Mustern, auf Ø 25,4 mm Standard Stub
Anz:

Stück €196,50
31-T33600-7 Micro-Tec MTC-5 Mehrfach-Kalibrierstandard bestehend aus 4 Mustern, dunkler Grund, helle Markierungen, auf Ø 25 mm JEOL Stub
Anz:

Stück €196,50
31-T33600-9 Micro-Tec MTC-5 Mehrfach-Kalibrierstandard bestehend aus 4 Mustern, dunkler Grund, helle Markierungen, auf Ø 25 mm Hitachi Stub
Anz:

Stück €196,50
31-T33600-11 Micro-Tec MTC-5 Mehrfach-Kalibrierstandard bestehend aus 4 Mustern, dunkler Grund, helle Markierungen, auf schwarzem Objektträger
Anz:

Stück €196,50
31-T33600-10 Micro-Tec MTC-5 Mehrfach-Kalibrierstandard bestehend aus 4 Mustern, dunkler Grund, helle Markierungen, auf angepassten Stub-Halter
Anz:

Stück €286,50


# 31-T33700   Micro-Tec MTCD-5 Mehrfach-Kalibrierstandard bestehend aus 4 Mustern, heller Grund, dunkle Markierungen

Micro-Tec MTCD-5 Mehrfach-Kalibrierstandard bestehend aus 4 Mustern, heller Grund, dunkle Markierungen Der Micro-Tec MTCD-5 Dunkelfeld Mehrfach-Kalibrierstandard verfügt über invertierte Muster. Die Felder zwischen den Linien sind mit Cr beschichtet, die freien Stellen zeigen den Siliziumträger. Der MTCD-5 ist gedacht für Dunkelfeld-Applikationen in Auflichtmikroskopen, Systemen zur optischen Qualitätskontrolle und REM mit niedriger Vergrößerung. Die Muster sind: Invertierte Kreismuster mit 10 µm bis 5 mm Durchmesser, invertierte quadratische Muster von 10x10 µm bis 5x5 mm, invertierte sechseckige Muster von 10 µm bis 5 mm, invertiertes Kreuzskalenmuster von 5x5 mm mit 0,01 mm Einteilungen. Die vier aufgedampften Chrommuster liegen in der gleichen Fokussierebene wie das Substrat. Sie sind schärfer begrenzt und liefern ein besseres Signal als geätzte Muster. Die MTC-5 Mehrfach-Kalibrierstandards sind NIST nachverfolgbar. Beispiel für ein Wafer-Level Zertifikat zur Nachverfolgung.
(weitere Bilder)
Vollständige Liste der MTC-5 Standards mit und ohne Träger-Stub (Probenteller)

Micro-Tec MTCD-5 Mehrfach-Kalibrierstandard bestehend aus 4 Mustern, heller Grund, dunkle Markierungen
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
31-T33700-U Micro-Tec MTCD-5 Mehrfach-Kalibrierstandard bestehend aus 4 Mustern, heller Grund, dunkle Markierungen, nicht montiert
Anz:

Stück €186,50
31-T33700-3 Micro-Tec MTCD-5 Mehrfach-Kalibrierstandard bestehend aus 4 Mustern, heller Grund, dunkle Markierungen, auf Ø 25,4 mm Standard Stub
Anz:

Stück €196,50
31-T33700-7 Micro-Tec MTCD-5 Mehrfach-Kalibrierstandard bestehend aus 4 Mustern, heller Grund, dunkle Markierungen, auf Ø 25 mm JEOL Stub
Anz:

Stück €196,50
31-T33700-9 Micro-Tec MTCD-5 Mehrfach-Kalibrierstandard bestehend aus 4 Mustern, heller Grund, dunkle Markierungen, auf Ø 25 mm Hitachi Stub
Anz:

Stück €196,50
31-T33700-11 Micro-Tec MTCD-5 Mehrfach-Kalibrierstandard bestehend aus 4 Mustern, heller Grund, dunkle Markierungen, auf schwarzem Objektträger
Anz:

Stück €196,50
31-T33700-10 Micro-Tec MTCD-5 Mehrfach-Kalibrierstandard bestehend aus 4 Mustern, heller Grund, dunkle Markierungen, auf angepassten Stub-Halter
Anz:

Stück €286,50

 

 




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