Micro-Tec individuelle Koordinatenkalibrierstandards
Ideal bei niedrigen Vergrößerungen, großen Flächen, Mikroskopbühnen und digitalen Bildgewinnungssystemen


Einleitung
    31-T33200 CCS-5, 5 mm Kreuzskale, 0,01 mm Teil., Si/Cr, opak
CCS-5, 5 mm Kreuzskale, 0,01 mm Teil., Si/Cr, opak

Die neuen und innovativen Micro-Tec Koordinatenkalibrierstandards bestehen aus einm ultraflachen, leitenden Siliciumsubstrat mit korrosionsbeständigen Linien aus Chrom. Sie wurden unter Verwendung neuester Halbleiterproduktionsverfahren hergestellt. Für einfache Kalibrierung weisen die Micro-Tec Koordinatenkalibrierstandards einen hohen Bildkontrast auf. Jeder Kalibrierstandard verfügt über eine im Standard eingeätzte Produkt-ID mit individueller Seriennummer. Micro-Tec Koordinatenkalibrierstandards ist voll NIST rückverfolgbar und wird mit einem Rückverfolgungszertifikat geliefert. Micro-Tec Koordinatenkalibrierstandards sind bestens geeignet für:

  • Auflichtmikroskopie
  • Stereo-Mikroskope
  • Optische Lupen
  • REM bei niedriger Vergrößerung
  • Digitale Bildgewinnungssysteme
  • Messungen in der Qualitätskontrolle

Die Familie der Micro-Tec Koordinatensysteme auf Siliciumbasis für Hellfeldanwendungen besteht aus:

  • CCS-1 1 mm Kreuzmaß mit 0,01mm Teilungen
  • CCS-5 5mm Kreuzmaß mit 0,01mm Teilungen
  • CCS-10 10 mm Kreuzmaß mit 0,01mm Teilungen
  • LCS-10 10 mm Linearmaß mit 1,0, 0,1 und 0,01 mm Teilungen
  • CCS-2.5 1 Zoll Kreuzmaß mit 0.001 Zoll Teilungen

Die aufgebrachten Linien aus Chrom befinden sich in derselben Fokussierebene wie das Substrat. Dadurch sind die Linien definierter und liefern ein besseres Signal als geätzte Muster. Sie sind zudem unanfälliger gegenüber Schmutzpartikeln in den Mustern.


Generelle Spezifikationen für alle Micro-Tec Koordinatenkalibrierstandards:
Substrat 

525 µm dicker, ultraflacher Wafer mit <100> Orientierung

Leitfähigkeit

Sehr gut, 5-10 Ohm Widerstand

Linien

75 nm dicke, 5,0 µm breite Chromlinien

Kennzeichnung

Produkt-ID mit eingeätzter Seriennummer

Befestigung

Nicht montierter Standard

Lieferung

Geliefert in Gel-Pak Box


Spezifikationen der individuellen Micro-Tec Koordinaten-Kalibrierstandards

Artikelnr.

Name

Rastergröße

Einheiten/Einteilung

Größe

Rückverfolgbar

Befestigung

31-T33100

Micro-Tec CCS-1

1 mm Kreuz

0,01 mm

3,5x3,5 mm

Ja, NIST

Optional

31-T33200

Micro-Tec CCS-5

5 mm Kreuz

0,01 mm

6,0x6,0 mm

Ja, NIST

 

31-T33300

Micro-Tec CCS-10

10 mm Kreuz

0,01 mm

12,0x12,0 mm

Ja, NIST

 

31-T33400

Micro-Tec LCS-10

10 mm lang

1,0 / 0,1 / 0,01mm

6,0x12,0 mm

Ja, NIST

 

31-T33500

Micro-Tec CCS-2,5

1 Zoll Kreuz

0,001 Zoll

3,5x3,5 mm

Ja, NIST

 

 

Eine alternativer Kalibrierstandard ist der MTC-5 Mehrfach-Kalibrierstandardmit Kreuzskale, Kreismustern, quadratischen und sechseckigen Mustern. Er deckt sowohl die Kalibrierung der Vergrößerung als auch die Beurteilung von Bildverzerrungen ab. Erhältlich für Hellfeld- und Dunkelfeldanwendungen.



Bestellinformationen

CCS-1 Micro-Tec 1 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert
CCS-1 Micro-Tec 1 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert Der Micro-Tec CCS-1 Standard hat eine 1 mm Kreuzskale mit 0,01 mm Teilung. Er verfügt über 75 nm dicke, helle Linien aus Chrom auf einem ultraflachen Siliciumsubstrat. Die Größe beträgt 3,5x3,5 mm. Jeder Kalibrierstandard verfügt über eine im Standard eingeätzte Produkt-ID mit individueller Seriennummer. Vorgesehen für Auflichtmikroskopie, Stereomikroskopie, digitale Bildgewinnungssysteme und REM mit niedriger Vergrößerung.

Beispiel für das Zertifikat zur Rückverfolgbarkeit eines Micro-Tec CCS-1.
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
31-T33100-U CCS-1 Micro-Tec 1 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert
Qty:

Stück €49,50
31-T33100-11 CCS-1 Micro-Tec 1 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, auf schwarzem Objektträger
Qty:

Stück €59,50


CCS-5 Micro-Tec 5 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert
CCS-5 Micro-Tec 5 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert Der Micro-Tec CCS-5 Standard hat eine 5 mm Kreuzskale mit 0,01 mm Teilung. Er verfügt über 75 nm dicke, helle Linien aus Chrom auf einem ultraflachen Siliciumsubstrat. Die Größe beträgt 6x6 mm. Jeder Kalibrierstandard verfügt über eine im Standard eingeätzte Produkt-ID mit individueller Seriennummer. Vorgesehen für Auflichtmikroskopie, Stereomikroskopie, digitale Bildgewinnungssysteme und REM mit niedriger Vergrößerung.

Beispiel für das Zertifikat zur Rückverfolgbarkeit eines Micro-Tec CCS-5.
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
31-T33200-U CCS-5 Micro-Tec 5 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert
Qty:

Stück €97,50
31-T33200-11 CCS-5 Micro-Tec 5 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, auf schwarzem Objektträger
Qty:

Stück €107,25


CCS-10 Micro-Tec 10 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert
CCS-10 Micro-Tec 10 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert Der Micro-Tec CCS-10 Standard hat eine 10 mm Kreuzskale mit 0,01 mm Teilung. Er verfügt über 75 nm dicke, helle Linien aus Chrom auf einem ultraflachen Siliciumsubstrat. Die Größe beträgt 12x12 mm. Jeder Kalibrierstandard verfügt über eine im Standard eingeätzte Produkt-ID mit individueller Seriennummer. Vorgesehen für Auflichtmikroskopie, Stereomikroskopie, digitale Bildgewinnungssysteme und REM mit niedriger Vergrößerung.

Beispiel für das Zertifikat zur Rückverfolgbarkeit eines Micro-Tec CCS-10.
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
31-T33300-U CCS-10 Micro-Tec 10 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert
Qty:

Stück €179,50
31-T33300-11 CCS-10 Micro-Tec 10 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, auf schwarzem Objektträger
Qty:

Stück €189,50


LCS-10 Micro-Tec 10 mm Linearmaß, 1 / 0,1 / 0,01 mm Einteilungen, Si/Cr, opak, nicht montiert
LCS-10 Micro-Tec 10 mm Linearmaß, 1 / 0,1 / 0,01 mm Einteilungen, Si/Cr, opak, nicht montiert Der Micro-Tec LCS-10 Standard ist ein 10 mm Linearmaß 1,0, 0,1 und 0,01 mm Teilung. Von 0 bis 9 mm hat das Linearmaß eine 0,1 mm Teilung, von 9-10 mm eine 0,01 mm Teilung. Er verfügt über 75 nm dicke, helle Linien aus Chrom auf einem ultraflachen Siliciumsubstrat. Die Größe beträgt 6x12 mm. Jeder Kalibrierstandard verfügt über eine im Standard eingeätzte Produkt-ID mit individueller Seriennummer. Vorgesehen für Auflichtmikroskopie, Stereomikroskopie, digitale Bildgewinnungssysteme und REM mit niedriger Vergrößerung.

Beispiel für das Zertifikat zur Rückverfolgbarkeit eines Micro-Tec LCS-10.
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
31-T33400-U LCS-10 Micro-Tec 10 mm Linearmaß, 1 / 0,1 / 0,01 mm Einteilungen, Si/Cr, opak, nicht montiert
Qty:

Stück €112,50
31-T33400-11 LCS-10 Micro-Tec 10 mm Linearmaß, 1 / 0,1 / 0,01 mm Einteilungen, Si/Cr, opak, auf schwarzem Objektträger
Qty:

Stück €122,50


CCS-2.5 Micro-Tec 1 Zoll Kreuzmaß, 0,001 inch Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert
CCS-2.5 Micro-Tec 1 Zoll Kreuzmaß, 0,001 inch Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert Der Micro-Tec CCS-2.5 Standard hat eine 1 Zoll Kreuzskale mit 0,001 Zoll Teilung. Er verfügt über 75 nm dicke, helle Linien aus Chrom auf einem ultraflachen Siliciumsubstrat. Die Größe beträgt 3,5x3,5 mm. Jeder Kalibrierstandard verfügt über eine im Standard eingeätzte Produkt-ID mit individueller Seriennummer. Vorgesehen für Auflichtmikroskopie, Stereomikroskopie, digitale Bildgewinnungssysteme und REM mit niedriger Vergrößerung.

Beispiel für das Zertifikat zur Rückverfolgbarkeit eines Micro-Tec CCS-2.5.
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
31-T33500-U CCS-2.5 Micro-Tec 1 inch Kreuzmaß, 0,001 inch Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert
Qty:

Stück €49,50
31-T33500-11 CCS-2.5 Micro-Tec 1 inch Kreuzmaß, 0,001 inch Einteilung, Si/Cr, opak, auf schwarzem Objektträger
Qty:

Stück €59,50




REM Zubehör

TEM Zubehör

Kalibrierung

Probenvorbereitung

AFM / SPM

  Produktübersicht mit Bilder
  REM Probenteller
  Kohlenstoffklebepads
  Adapter für Probenteller
  Adapter für Probentische
  REM Probenhalter
  REM Präparationshalter
  EM Kathoden
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  Gatan 3View Probenteller
  FEI Volumescope Probenteller
  Boxen für Probenteller
  Phenom Zubehör
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  Hitachi TM Zubehör
  Probenhalterkits
  FlowView Flüssigproben-Halter

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  K-kit Nasszelle
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  TEM 3mm Einbettungsrörchen
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Kryo Zubehör

  Kryo Grid Box
  Weiteres Kryo Zubehör

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  FIB flache Probenteller
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  FIB vorgekippte Probenhalter
  FIB vorgekippte Probenteller
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  REM / FIB Vergrößerung
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  KF/NW Vakuumbauteile
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  Vakuum-Versiegelung
  Membranvakuumpumpe
  Rotationsvakuumpumpe
  Vakuumprobenaufbewahrung
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  AFM/SPM Scheiben Aufnahme
  AFM/SPM Halter
  AFM/SPM Aufbewahrung
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  AFM/SPM Pinzetten
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  Objektträger Aufbewahrung
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  Petrischalen
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