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Micro-Tec individuelle Koordinatenkalibrierstandards
Ideal bei niedrigen Vergrößerungen, großen Flächen, Mikroskopbühnen und digitalen Bildgewinnungssystemen



Einleitung
    31-T33200   CCS-5, 5 mm Kreuzskale, 0,01 mm Teil., Si/Cr, opak
CCS-5, 5 mm Kreuzskale, 0,01 mm Teil., Si/Cr, opak

Die neuen und innovativen Micro-Tec Koordinatenkalibrierstandards bestehen aus einm ultraflachen, leitenden Siliciumsubstrat mit korrosionsbeständigen Linien aus Chrom. Sie wurden unter Verwendung neuester Halbleiterproduktionsverfahren hergestellt. Für einfache Kalibrierung weisen die Micro-Tec Koordinatenkalibrierstandards einen hohen Bildkontrast auf. Jeder Kalibrierstandard verfügt über eine im Standard eingeätzte Produkt-ID mit individueller Seriennummer. Micro-Tec Koordinatenkalibrierstandards ist voll NIST rückverfolgbar und wird mit einem Rückverfolgungszertifikat geliefert. Micro-Tec Koordinatenkalibrierstandards sind bestens geeignet für:

  • Auflichtmikroskopie
  • Stereo-Mikroskope
  • Optische Lupen
  • REM bei niedriger Vergrößerung
  • Digitale Bildgewinnungssysteme
  • Messungen in der Qualitätskontrolle

Die Familie der Micro-Tec Koordinatensysteme auf Siliciumbasis für Hellfeldanwendungen besteht aus:

  • CCS-1       1 mm Kreuzmaß mit 0,01mm Teilungen
  • CCS-5       5mm Kreuzmaß mit 0,01mm Teilungen
  • CCS-10    10 mm Kreuzmaß mit 0,01mm Teilungen
  • LCS-10     10 mm Linearmaß mit 1,0, 0,1 und 0,01 mm Teilungen
  • CCS-2.5   1 Zoll Kreuzmaß mit 0.001 Zoll Teilungen

Die aufgebrachten Linien aus Chrom befinden sich in derselben Fokussierebene wie das Substrat. Dadurch sind die Linien definierter und liefern ein besseres Signal als geätzte Muster. Sie sind zudem unanfälliger gegenüber Schmutzpartikeln in den Mustern.


Generelle Spezifikationen für alle Micro-Tec Koordinatenkalibrierstandards:
Substrat 

525 µm dicker, ultraflacher Wafer mit <100> Orientierung

Leitfähigkeit

Sehr gut, 5-10 Ohm Widerstand

Linien

75 nm dicke, 5,0 µm breite Chromlinien

Kennzeichnung

Produkt-ID mit eingeätzter Seriennummer

Befestigung

Nicht montierter Standard

Lieferung

Geliefert in Gel-Pak Box


Spezifikationen der individuellen Micro-Tec Koordinaten-Kalibrierstandards

Artikelnr.

Name

Rastergröße

Einheiten/Einteilung

Größe

Rückverfolgbar

Befestigung

31-T33100

Micro-Tec CCS-1

1 mm Kreuz

0,01 mm

3,5x3,5 mm

Ja, NIST

Optional

31-T33200

Micro-Tec CCS-5

5 mm Kreuz

0,01 mm

6,0x6,0 mm

Ja, NIST

 

31-T33300

Micro-Tec CCS-10

10 mm Kreuz

0,01 mm

12,0x12,0 mm

Ja, NIST

 

31-T33400

Micro-Tec LCS-10

10 mm lang

1,0 / 0,1 / 0,01mm

6,0x12,0 mm

Ja, NIST

 

31-T33500

Micro-Tec CCS-2,5

1 Zoll Kreuz

0,001 Zoll

3,5x3,5 mm

Ja, NIST

 

 

Eine alternativer Kalibrierstandard ist der MTC-5 Mehrfach-Kalibrierstandardmit Kreuzskale, Kreismustern, quadratischen und sechseckigen Mustern. Er deckt sowohl die Kalibrierung der Vergrößerung als auch die Beurteilung von Bildverzerrungen ab. Erhältlich für Hellfeld- und Dunkelfeldanwendungen.



Bestellinformationen

*Nettopreise zuzüglich gesetzlicher Umsatzsteuer. Wir verkaufen nicht an Privatpersonen.


    # 31-T33100   CCS-1 Micro-Tec 1 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert

CCS-1 Micro-Tec 1 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert Der Micro-Tec CCS-1 Standard hat eine 1 mm Kreuzskale mit 0,01 mm Teilung. Er verfügt über 75 nm dicke, helle Linien aus Chrom auf einem ultraflachen Siliciumsubstrat. Die Größe beträgt 3,5x3,5 mm. Jeder Kalibrierstandard verfügt über eine im Standard eingeätzte Produkt-ID mit individueller Seriennummer. Vorgesehen für Auflichtmikroskopie, Stereomikroskopie, digitale Bildgewinnungssysteme und REM mit niedriger Vergrößerung. Beispiel für das Zertifikat zur Rückverfolgbarkeit eines Micro-Tec CCS-1.
( weitere Bilder)

CCS-1 Micro-Tec 1 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
31-T33100-U CCS-1 Micro-Tec 1 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert
Anz:

Stück €49,50
31-T33100-11 CCS-1 Micro-Tec 1 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, auf schwarzem Objektträger
Anz:

Stück €59,50
31-T33100-10 CCS-1 Micro-Tec 1 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, auf angepassten Stub-Halter
Anz:

Stück €149,50



    # 31-T33200   CCS-5 Micro-Tec 5 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert

CCS-5 Micro-Tec 5 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert Der Micro-Tec CCS-5 Standard hat eine 5 mm Kreuzskale mit 0,01 mm Teilung. Er verfügt über 75 nm dicke, helle Linien aus Chrom auf einem ultraflachen Siliciumsubstrat. Die Größe beträgt 6x6 mm. Jeder Kalibrierstandard verfügt über eine im Standard eingeätzte Produkt-ID mit individueller Seriennummer. Vorgesehen für Auflichtmikroskopie, Stereomikroskopie, digitale Bildgewinnungssysteme und REM mit niedriger Vergrößerung. Beispiel für das Zertifikat zur Rückverfolgbarkeit eines Micro-Tec CCS-5.
(weitere Bilder)

CCS-5 Micro-Tec 5 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert
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Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
31-T33200-U CCS-5 Micro-Tec 5 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert
Anz:

Stück €97,50
31-T33200-11 CCS-5 Micro-Tec 5 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, auf schwarzem Objektträger
Anz:

Stück €107,25
31-T33200-10 CCS-5 Micro-Tec 5 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, auf angepassten Stub-Halter
Anz:

Stück €197,50


    # 31-T33300   CCS-10 Micro-Tec 10 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert

CCS-10 Micro-Tec 10 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert Der Micro-Tec CCS-10 Standard hat eine 10 mm Kreuzskale mit 0,01 mm Teilung. Er verfügt über 75 nm dicke, helle Linien aus Chrom auf einem ultraflachen Siliciumsubstrat. Die Größe beträgt 12x12 mm. Jeder Kalibrierstandard verfügt über eine im Standard eingeätzte Produkt-ID mit individueller Seriennummer. Vorgesehen für Auflichtmikroskopie, Stereomikroskopie, digitale Bildgewinnungssysteme und REM mit niedriger Vergrößerung. Beispiel für das Zertifikat zur Rückverfolgbarkeit eines Micro-Tec CCS-10.
(Weitere Bilder)

CCS-10 Micro-Tec 10 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert
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Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
31-T33300-U CCS-10 Micro-Tec 10 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert
Anz:

Stück €179,50
31-T33300-11 CCS-10 Micro-Tec 10 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, auf schwarzem Objektträger
Anz:

Stück €189,50
31-T33300-10 CCS-10 Micro-Tec 10 mm Kreuzmaß, 0,01 mm Einteilung, Si/Cr, opak, auf angepassten Stub-Halter
Anz:

Stück €279,50


    # 31-T33400   LCS-10 Micro-Tec 10 mm Linearmaß, 1 / 0,1 / 0,01 mm Einteilungen, Si/Cr, opak, nicht montiert

LCS-10 Micro-Tec 10 mm Linearmaß, 1 / 0,1 / 0,01 mm Einteilungen, Si/Cr, opak, nicht montiert Der Micro-Tec LCS-10 Standard ist ein 10 mm Linearmaß 1,0, 0,1 und 0,01 mm Teilung. Von 0 bis 9 mm hat das Linearmaß eine 0,1 mm Teilung, von 9-10 mm eine 0,01 mm Teilung. Er verfügt über 75 nm dicke, helle Linien aus Chrom auf einem ultraflachen Siliciumsubstrat. Die Größe beträgt 6x12 mm. Jeder Kalibrierstandard verfügt über eine im Standard eingeätzte Produkt-ID mit individueller Seriennummer. Vorgesehen für Auflichtmikroskopie, Stereomikroskopie, digitale Bildgewinnungssysteme und REM mit niedriger Vergrößerung. Beispiel für das Zertifikat zur Rückverfolgbarkeit eines Micro-Tec LCS-10.
(Weitere Bilder)

LCS-10 Micro-Tec 10 mm Linearmaß, 1 / 0,1 / 0,01 mm Einteilungen, Si/Cr, opak, nicht montiert
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Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
31-T33400-U LCS-10 Micro-Tec 10 mm Linearmaß, 1 / 0,1 / 0,01 mm Einteilungen, Si/Cr, opak, nicht montiert
Anz:

Stück €112,50
31-T33400-11 LCS-10 Micro-Tec 10 mm Linearmaß, 1 / 0,1 / 0,01 mm Einteilungen, Si/Cr, opak, auf schwarzem Objektträger
Anz:

Stück €122,50
31-T33400-10 LCS-10 Micro-Tec 10 mm Linearmaß, 1 / 0,1 / 0,01 mm Einteilungen, Si/Cr, opak, auf angepassten Stub-Halter
Anz:

Stück €212,50


    # 31-T33500   CCS-2.5 Micro-Tec 1inch cross scale, 0.001inch div., Si/Cr, opaque

CCS-2.5 Micro-Tec 1 Zoll Kreuzmaß, 0,001 inch Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert Der Micro-Tec CCS-2.5 Standard hat eine 1 Zoll Kreuzskale mit 0,001 Zoll Teilung. Er verfügt über 75 nm dicke, helle Linien aus Chrom auf einem ultraflachen Siliciumsubstrat. Die Größe beträgt 3,5x3,5 mm. Jeder Kalibrierstandard verfügt über eine im Standard eingeätzte Produkt-ID mit individueller Seriennummer. Vorgesehen für Auflichtmikroskopie, Stereomikroskopie, digitale Bildgewinnungssysteme und REM mit niedriger Vergrößerung. Beispiel für das Zertifikat zur Rückverfolgbarkeit eines Micro-Tec CCS-2.5.
(Weitere Bilder)

CCS-2.5 Micro-Tec 1inch cross scale, 0.001inch div., Si/Cr, opaque
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Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
31-T33500-U CCS-2.5 Micro-Tec 1 inch Kreuzmaß, 0,001 inch Einteilung, Si/Cr, opak, nicht montiert
Anz:

Stück €49,50
31-T33500-11 CCS-2.5 Micro-Tec 1 inch Kreuzmaß, 0,001 inch Einteilung, Si/Cr, opak, auf schwarzem Objektträger
Anz:

Stück €59,50
31-T33500-10 CCS-2.5 Micro-Tec 1 inch Kreuzmaß, 0,001 inch Einteilung, Si/Cr, opak, auf angepassten Stub-Halter
Anz:

Stück €149,50

 

 




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