Silizium Wafer, Substrate und Trägermaterialien für Proben


    Silizium Wafer, Substrate und Trägermaterialien für Proben
  Si Wafer: Durchmesser 51 mm, 100 mm und 150 mm
   geschitene quadratische Silizium Wafers für Proben
  Geschnitten Silizium Wafer

Einleitung

Poliertes Silizium ist ein ausgezeichnetes Substrat für die Bildgebung, Experimente, Nanotechnologie und Mikrofabrikationsanwendungen (MEMS).  Es steht in Form von Wafern, quadratischen Wafern oder als kleinere Chips (Stücke) zur Verfügung. Die angebotenen Siliziumwafer und Chips haben alle eine <100> Orientierung. Das heißt, die großen Oberflächen sind paralell mit der kristallographischen (100) Ebene des Siliziumeinkristalles des Wafermaterials. Die seitliche Schnittkante liegt paralell mit der (110) Ebene. Ein Abspalten der Wafer auf eine gewünschte Größe mit einer <100> -Orientierung Wafer ist geradlinig und einfach. Die Silizium-Wafer und Chips sind alle mittels Bor positiv dotiert und damit vom P-Typ. Diese Dotierung ermöglicht eine ausgezeichnete Leitfähigkeit für Anwendungen wie REM, FIB und STM.
Für biologische Anwendungen kann Silizium als Glasersatz verwendet werden, da es einen geeigneten Untergrund um Zellen zum Aufbringen und Vervielfältigen darstellt. Für Abbildungsanwendungen eigenet es sich als ein ideales Probensubstrat für kleine Teilchen, aufgrund des geringen topographischen Hintergrundsignals der hochglanzpolierten Oberfläche.
Zwei Sorten der Siliziumsubstrate werden angeboten:

  • Micro-Tec Standard-Silizium-Wafer und Silizium-Chips für Standardanwendung mittlerer Auflösung in der Bildgebung.
  • Nano-Tec ultraflache Silizium-Wafer und ultraflache Siliziumchips für Anwendungen welche hochauflösende Bildgebung erfordern.

Micro-Tec <P/100> Standard-Silizium-Wafer und quadratische Wafer für REM Substrate

Die Micro-Tec <P/100> Silizium-Wafer-Substrate können als Probensubstrat, für die Mikrofabrikation, als Substrat für die Dünnschicht-Forschung oder als biologisches Substrat verwendet werden. Die flachen Substrate eignen sich hervorragend für REM-Aufnahmen von Partikeln aufgrund des geringen Topograhphiesignals (Bildhintergrund). Für biologische Anwendungen weist Si ähnliche Eigenschaften wie Glas und kann verwendet werden, um Zellen zu aufzubringen oder zu vervielfachen. Das Material kann leicht gespalten oder als ganzer Wafer verwendet werden. Die Micro-Tec Si-Wafer werden in einem Wafer-Trägerfach zum Schutz verpackt versand. Die geschittenen 100 mm Wafer werden auf Wafer-Haftscheiben verpackt und zwischen zwei Kunststofffolien zum Schutz geliefert. Die Siliziumchips können leicht von der Klebefolie abgehoben werden. Die Siliziumchips sind erhältlich in den Gröβen 5 x 5mm, 7,5 x 7,5 mm und 10 x 10 mm. Die S-Chips können einfach auf standard REM-Probenteller befestigd werden.
Die Micro-Tec Standard-Silizium-Wafer-Substrate sind erhältlich als:

Spezifikationen der Micro-Tec <P/100> Standard Silizium Wafer und Chips

Parameter

Ø2”/51mm Wafer

Ø4”/100mm Wafer

Ø6”/150mm Wafer

Geschnitten
Ø4”/ 100 mm

Geschnitten
Ø4”/ 100 mm

Geschnitten
Ø4”/ 100 mm

Artikelnr.

10-008120

10-008140

10-008160

10-008145

10-008147

10-008149

Orientierung

<100>

Art

P-dotiert (Bor) mit einem Flat

elektrischer Widerstand

1-30 Ohm/cm

Beschichtung

Keine, nur Natürliche Oxide

Dicke

275µm (+/- 20µm)

525µm (+/- 20µm)

675µm (+/- 20µm)

525µm (+/- 20µm)

525µm (+/- 20µm)

525µm (+/- 20µm)

Durchmesser

51mm

100mm

150mm

100mm

100mm

100mm

Chip Große

n.a.

n.a.

n.a.

5x5mm

7,5x7,5mm

10x10mm

Chip quantity

n.a.

n.a.

n.a.

 ~270

  ~112

  ~55

TTV

≤ 20µm

Primary Fflat

15.9 +/- 1.65mm

32.5 +/- 2.5mm

57.5 +/- 2.5mm

32.5 +/- 2.5mm

32.5 +/- 2.5mm

32.5 +/- 2.5mm

Oberflächenrauheit

<1.5nm, einseitig poliert

 

Nano-Tec ultraflache <P/100> Silizium-Wafern und ultraflache Silizium-Chips
Die ultraflachen Nano-Tec P <100> Silizium-Wafer haben verbesserte Eigenschaften verglichen zu den Micro-Tec Silizium-Wafern. Sie sind für anspruchsvollere Anwendungen in der Mikrofertigung für Dünnschichtforschung oder als biologische Substrate meist bevorzugt. Die ausgezeichneten ultraflachen Oberflächen eignen sich besonders gut für hochauflösende REM-Aufnahmen von Partikeln aufgrund des geringen Hintergrundsignals. Für biologische Anwendungen weist Si ähnliche Eigenschaften wie Glas und kann verwendet werden, um Zellen zu montieren oder aufwachsen zulassen. Die größeren Wafer mit <100> Orientierung können leicht auf die gewünschte Größe geschnitten werden. Die ultraflachen Nano-Tec Si-Wafer wurden zum Schutz in einem Reinraum in Waferträger verpackt. Die geschittenen 100 mm Wafer werden auf Wafer-Haftscheiben verpackt und zwischen zwei Kunststofffolien zum Schutz geliefert. Die Siliziumchips können leicht von der Klebefolie abgehoben werden.  Die Siliziumchips sind erhältlich in den  Gröβen 5 x 5mm, 7,5 x 7,5 mm und 10 x 10 mm. Die S-Chips können einfach auf standard REM-Probenteller befestigd werden.
Die Nano-Tec ultraflachen Silizium-Wafer sind erhältlich als :

Spezifikationen der ultraflachen Nano-Tec <P/100> Silizium-Wafer und Silizium-Chips

Parameter

Ø4”/100 mm Wafer

Ø6”/15 0mm Wafer

5x5 mm Chips

5x5mm Chips mit thermisch gewachsenem SiO2

Artikelnr.

10-008141

10-008161

10-008150

10-008155

Ausrichtung

<100>

Art

P-dotiert (Bor) ) mit einem Flat

elektrischer Widerstand

1-10 Ohm/cm

Klasse

Prime / CZ Virgin

Beschichtung

Keine, nur Natürliche Oxide

Thermisch gewachsenes SiO2

Dicke

525µm (+/- 20µm)

675µm (+/- 20µm)

Durchmesser

100 mm

150 mm

150 mm

150 mm

Beschichtung

k.A.

k.A.

5x5 mm

5x5 mm

Chips Anzahl

k.A.

k.A.

25

25

TTV

≤1.5 µm

Bow

≤30 µm

Warp

≤30 µm

Primary Flat

 32.5 +/- 2.5 mm

57.5 +/- 2.5 mm

Oberflächenrauheit

üblicherweise 0.2 - 0.3 nm, einseitig poliert



Bestellinformationen zu Silizium Wafer & Chips

*Preisen ohne Umsatzsteuer, aber innerhalb der EU, müssen wir Ihr Ust.-Nummer überprufen.
Micro-Tec P{100} Silizium Wafer Ø 2 Zoll / 51 mm, 275 µm dick Micro-Tec P{100} Silizium Wafer Ø 2 Zoll / 51 mm, 275 µm dick
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
#10-008120 Stück €28,50
Menge Rabatt, bei Bestellung von 10 Stück oder mehr: €26,50
Qty:

 

Micro-Tec P{100} Silizium Wafer, Ø4 Zoll/100mm, 525µm dick Micro-Tec P{100} Silizium Wafer, Ø4 Zoll/100mm, 525µm dick
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
#10-008140 Stück €42,50
Menge Rabatt, bei Bestellung von 10 Stück oder mehr: €41,00
Qty:

 

Micro-Tec P{100} Silizium Wafer, Ø 6 Zoll / 150 mm, 675 µm dick Micro-Tec P{100} Silizium Wafer, Ø 6 Zoll / 150 mm, 675 µm dick
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#10-008160 Stück €59,85
Menge Rabatt, bei Bestellung von 10 Stück oder mehr: €57,20
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Micro-Tec P{100} Ø 4 Zoll / 100mm Silizium Wafer, geschnitten in 5 x 5 mm Chips,  525 µm dick ~270 Chips Micro-Tec P{100} Ø 4 Zoll / 100mm Silizium Wafer, geschnitten in 5 x 5 mm Chips, 525 µm dick ~270 Chips
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
#10-008145 Stück €99,50
Qty:

 

Micro-Tec P{100} Ø 4 Zoll / 100mm Silizium Wafer, geschnitten in 7,5 x 7,5 mm Chips,  525 µm dick ~112 Chips Micro-Tec P{100} Ø 4 Zoll / 100mm Silizium Wafer, geschnitten in 7,5 x 7,5 mm Chips, 525 µm dick ~112 Chips
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
#10-008147 Stück €99,50
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Micro-Tec P{100} Ø 4 Zoll / 100mm Silizium Wafer, geschnitten in 10 x 10 mm Chips,  525 µm dick ~55 Chips Micro-Tec P{100} Ø 4 Zoll / 100mm Silizium Wafer, geschnitten in 10 x 10 mm Chips, 525 µm dick ~55 Chips
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
#10-008149 Stück €99,50
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Bestellinformationen zu ultraflache Silizium Wafer & Chips

*Preisen ohne Umsatzsteuer, aber innerhalb der EU, müssen wir Ihr Ust.-Nummer überprufen.
Nano-Tec Ultra-Flat P{100} Silizium Wafer, Ø 4 Zoll / 100 mm, 525 µm dick Nano-Tec Ultra-Flat P{100} Silizium Wafer, Ø 4 Zoll / 100 mm, 525 µm dick
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
#10-008141 Stück €97,50
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Nano-Tec Ultra-Flat P{100} Silizium Wafer, Ø 6 Zoll / 150 mm, 675µm dick Nano-Tec Ultra-Flat P{100} Silizium Wafer, Ø 6 Zoll / 150 mm, 675µm dick
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
#10-008161 Stück €132,50
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Nano-Tec Ultra-Flat P{100} Silizium Chips, 5 x 5 mm, 25 in Gel-Pack, 675 µm dick Nano-Tec Ultra-Flat P{100} Silizium Chips, 5 x 5 mm, 25 in Gel-Pack, 675 µm dick
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
#10-008150 Pack/25 €148,50
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Bestellinformationen zu thermisch gewachsene SiO2 Chips

*Preisen ohne Umsatzsteuer, aber innerhalb der EU, müssen wir Ihr Ust.-Nummer überprufen.
Nano-Tec Ultra-Flat P{100} Silizium mit 200 nm thermisch aufgewachsenen SiO2 Chips, 5 x 5 mm, 25 in Gel-Pack, 675µm dick Nano-Tec Ultra-Flat P{100} Silizium mit 200 nm thermisch aufgewachsenen SiO2 Chips, 5 x 5 mm, 25 in Gel-Pack, 675µm dick
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#10-008155 Pack/25 €169,50
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