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YPS Schottky Thermische Feldemissionskathoden, TFE Emitter für EM, REM, FEM, FE-REM, SFEG, FEG FE-TEM, EPMA, CD-REM und Auger
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YPS Schottky Thermische Feldemissionskathoden (TFE)
hochqualitative YPS Schottky Ersatz-TFE-Emitter für Elektronensäulen



Einleitung
YPS Schottky TFE source consists of a single crystal (100) tungsten wire with a very sharp tip including a zirconium reservoir around the the tungsten tip wire

Der YPS Schottky TFE-Emitter besteht aus einem Wolframeinkristalldraht (100)
mit einer Spitze unter welcher ein Zirkoniumreservoir angebracht ist.


 

Die Schottky Feldemissionskathoden von YPS sind eine exzellente Wahl um alte TFE Emitter in Elektronensäulen für FE-REM, SFEG-REM, FE-TEM, EPMA, Auger und CD-REM zu ersetzten. Der YPS Emitter wird in den Ausführungen FEI und Denka, auch als bekannt als Typ 184 und Typ 174-Suppressor, geliefert. Der YPS Schottky TFE Emitter besteht aus einem Wolfram-Einkristall (100) mit einer sehr scharfen Spitze, inklusive Zirkoniumvorrat. Der Emitter ist auf einem Glühdraht befestigt, welcher es ermöglicht die Spitze auf 1800 K zu heizen. Der gesamte Aufbau ist in einem zylindrischen Suppressor mit einer Blende montiert, durch die die Spitze hindurch ragt. Durch thermische Anregung und ein starkes elektrisches Feld, werden die Elektronen emittiert. Der typische Emissionsradius beträgt 0,3 µm und ragt 250 µm aus der Blende, welches eine sehr hohe Helligkeit gewährleistet. Mehr Informationen unter:
More info in: Häufig gestellte Fragen (FAQ) über Thermische Feldemissionskathoden (TFE)

YPS Schottky TFE Kathoden
YPS Standardkathoden, zum Instandsetzen alter EM und von Spezial-REM. Diese Produkte sind für Kunden konzipiert, welche sicher und selbständig Feldemissionskathoden in einer sauberen Umgebung austauschen, installieren, zentrieren und kalibrieren können. Das Arbeitsvakuum für Schottky TFE Kathoden liegt üblicherweise bei 1 x 10-9 mbar bzw. 1 x 10-7 Pa. Dieser Druck liegt weit unterhalb der Standardbedingungen für Wolfram oder LaB6 Emitter, aber oberhalb des Druckes für kalte Feldemitter. Die YPS Schottky thermischen Feldemitter verfügen über eine exzellente Emissionsstabilität über einen großen Bereich von Beschleunigungsspannungen bei langer Standzeit. Elektronenemitter-Performance-Tabelle

Das YPS-174 Standard Schottky TFE-Emittermodul ist ein preiswerter Ersatz für üblichen thermischen 
Schottky-Emitter


Das YPS-174 Standard Schottky TFE-Emittermodul
ist ein preiswerter Ersatz für üblichen thermischen
Schottky-Emitter

 

YPS-174 Standard Schottky TFE emitter modul 
Das YPS-174 Standard Schottky TFE-Emittermodul ist ein preiswerter Ersatz für üblichen thermischen Schottky-Emitter. Seine Bauform ist ähnlich der standard Denka und FEI Emitter. Die Suppressorapertur hat einen Durchmesser von 400 µm. Die Emitterspitze ragt dabei üblicherweise ca. 250 µm aus der Supressorelektrode heraus. Der YPS-174 Emitter ist kompatibel mit System von AmRay, Hitachi, JEOL, Zeiss, LEO, Philips, PHI und Riber. Dimensionen des YPS-174 TFE Moduls .


 

YPS-184 Schottky TFE emitter module

Das YPS-184 Schottky TFE-Emittermodul ist ein preiswerter Ersatz für thermischen Schottky-Emitter von FEI. Seine Bauform ist ähnlich dem des standard FEI Emitters. Die Suppressorapertur hat einen Durchmesser von 500 µm. Die Emitterspitze ragt dabei üblicherweise ca. 250 µm aus der Supressorelektrode heraus. Der YPS-184 Emitter ist leicht unterscheidbar durch seinen Flansch an der Grundplatte des Moduls. Der Emitter ist kompatibel mit FEG-REM Systemen von FEI/Philips, CamScan und Tescan (MIRA, MAIA, LYRA, GAIA, FERA, XEIA). Dimensionen des YPS-184 TFE Moduls.


 

Das YPS Austausch Schottky TFE Modul für FEI FEG und Sirion SFEG ist ein 
Komplettmodulaustauschsatz für die FEI TFE Module
Das YPS Austausch Schottky TFE Modul für
FEI FEG und Sirion SFEG ist ein
Komplettmodulaustauschsatz für die FEI TFE Module .

 



 

YPS Austausch Schottky TFE Modul für FEI FEG und Sirion SFEG 

Das YPS Austausch Schottky TFE Modul für FEI FEG und Sirion SFEG ist ein Komplettmodulaustauschsatz für die FEI TFE Module wie sie im FEI XL-30, Sirion Inspect und Nova NanoSEM Systemen verbaut wurden. Der FEG bzw. SFEG Emittersatz besteht aus einem bereits ab Werk vorzentrierten Modul. Es ist verfügbar für FEI Systeme mit FEG-TFE Modulen sowie SFEG Sirion Modellen. Das Modul ist nur als Ganzes erhältlich und wird in Stickstoff als Inertgas verpackt versandt. Dieser Emittertyp kann leicht anhand der silbernen Markierung auf der Basisplatte erkannt werden (siehe Bild).

 

YPS TFE Elektronenquellen-Leistungstabelle
Instrument

Artikelnr.

YPS TFE Emitter Modul

 

 

 

yps 174 source with suppressor YPS 184 source with suppressor

 

AmRay

14-AM4702

YPS-174-A

 

 

CamScan

14-CS4801

 

YPS-184-C *nur im Austausch

 

FEI/Philips 174

14-FP4703

YPS-174-F *nur im Austausch

 

 

FEI **

14-FE4803

 

YPS-184-F *nur im Austausch

 

FEI FEG  Emittermodul

14-FX4920

 

 

FEG Emittermodul *nur im Austausch

FEI SFEG Sirion Emittermodul

14-FX4930

 

 

SFEG Emittermodul *nur im Austausch

Hitachi TFE SEM ***

14-HI4704

YPS-174-H

 

 

Hitachi TFE CD-SEM

14-HC4705

YPS-174-HC

 

 

ISI / ABT / Topcon

14-IT4706

YPS-174-IT

 

 

JEOL

14-JL4708

YPS-174-J

 

 

LEO (Gemini)

14-ZE4710

YPS-174-Z

 

 

PHI

14-PH4711

YPS-174-P

 

 

Riber

14-RI4712

YPS-174-R

 

 

Tescan ****

14-TE4709

YPS-174-T

   

Tescan ****

14-TE4809

 

YPS-184-T *nur im Austausch

 

Zeiss (Gemini)

14-ZE4710

YPS-174-Z

 

 

Custom Emitters

Kontaktieren Sie uns für weitere Informationen

* nur im Austausch; die originalen Suppressorteile werden aufgearbeitet, gereinigt und mit einer neuen TFE-Spitze
** Typ 184 TFE Emittermodul sind teilweise auch in anderen REM verbaut. Kontaktieren Sie uns für einen Ersatz.
*** YPS-174 Schottky TFE Emittermodule für Hitachi FEG- und CD-REM, JEOL FEG-REM sind ausschließlich kompatibel mit Hitachi und JEOL. Kalte Feldemitter sind nicht kompatibel mit YPS-174 oder YPS-184 Modulen.
**** Tescan benützt Typ 174 und Typ 184 TFE Emittermodule.


Jedes YPS Schottky TFE-Emittermodul wird mit einem ausführlichen und speziell für dieses Modul angepassten Datenblatt ausgeliefert welches folgende Informationen enthält.

  • Emitterradius in µm
  • Emitterleistung bei 1800 K (1527 °C)
  • Temperatur-Emissionstrom-Kurve
  • Emitterspitzenabstand von der Suppressorebene in µm
  • REM Bild der Emitterspitze

Beispiel eines YPS Schottky TFE Emitter Modul Datenblattes

Bestellinformationen zu YPS Schottky TFE Emitter Modulen mit Typ 174 Suppressor für Amray, Philips, Hitachi, ISI/ABT/Topcon, LEO, PHI, Riber, Tescan und Zeiss Säulen

*Nettopreise zuzüglich gesetzlicher Umsatzsteuer. Wir verkaufen nicht an Privatpersonen. .

Schottky TFE Emitter Modul YPS-174-Z für Zeiss/LEO Gemini TFE Säulen Schottky TFE Emitter Modul YPS-174-Z für Zeiss/LEO Gemini TFE Säulen
Artikelnr. Unit Price* Add to Quote / Cart
14-AM4702 Schottky TFE Emitter Modul YPS-174-A für AmRay TFE Säulen
Anz:

Stück €2500,00
14-FP4703 Schottky TFE Emitter Modul YPS-174-F für Philips TFE Säule
Anz:

Stück €2500,00
14-HI4704 Schottky TFE Emitter Modul YPS-174-H für Hitachi TFE Säulen
Anz:

Stück €2500,00
14-HC4705 Schottky TFE Emitter Modul YPS-174-HC für Hitachi CD-REM mit TFE Säule
Anz:

Stück €2800,00
14-IT4706 Schottky TFE Emitter Modul YPS-174-IT für ISI/ABT/Topcon TFE Säulen
Anz:

Stück €2500,00
14-JL4708 Schottky TFE Emitter Modul YPS-174-JL für JEOL TFE Säulen
Anz:

Stück €2500,00
14-PH4711 Schottky TFE Emitter Modul YPS-174-P für PHI TFE Säulen
Anz:

Stück €2500,00
14-RI4712 Schottky TFE Emitter Modul YPS-174-R für Riber TFE Säulen
Anz:

Stück €2500,00
14-TE4709 Schottky TFE Emitter Modul YPS-174-JL für Tescan TFE Säulen
Anz:

Stück €2500,00
14-ZE4710 Schottky TFE Emitter Modul YPS-174-Z für Zeiss/LEO Gemini TFE Säulen
Anz:

Stück €2500,00

Bestellinformationen zu YPS Schottky TFE Emitter Modulen mit Typ 184 Suppressor für FEI, Tescan und Camscan

*Nettopreise zuzüglich gesetzlicher Umsatzsteuer. Wir verkaufen nicht an Privatpersonen. .

Schottky TFE Emitter Modul YPS-184-T für Tescan TFE Säulen Schottky TFE Emitter Modul YPS-184-T für Tescan TFE Säulen
Artikelnr. Unit Price* Add to Quote / Cart
14-CS4801 Schottky TFE Emitter Modul YPS-184-C für CamScan TFE Säulen (nur im Austausch)
Anz:

Stück €2500,00
14-FE4803 Schottky TFE Emitter Modul YPS-184-F für frühe FEI TFE Säulen (nur im Austausch)
Anz:

Stück €2500,00
14-TE4809 Schottky TFE Emitter Modul YPS-184-T für Tescan TFE Säulen
Anz:

Stück €2500,00

Bestellinformationen zu YPS Schottky TFE Emitter Austauschmodulen für FEI FEG und SFEG Sirion, eingesetzt bei XL-30, Sirion, Inspect und Nova NanoSEM Systemen

*Nettopreise zuzüglich gesetzlicher Umsatzsteuer. Wir verkaufen nicht an Privatpersonen. .

YPS TFE Feldemitter-Austauschmodul für FEI FEG (nur im Austausch) YPS TFE Feldemitter-Austauschmodul für FEI FEG (nur im Austausch)
Artikelnr. Unit Name Quote
14-FX4920 YPS TFE exchange module gun assembly for FEI FEG, exchange only
Qty:

each €6000,00

YPS TFE Feldemitter-Austauschmodul für FEI FEG (nur im Austausch) YPS TFE Feldemitter-Austauschmodul für FEI SFEG Sirion (nur im Austausch)
Artikelnr. Unit Name Quote
14-FX4930 YPS TFE exchange module gun assembly for FEI SFEG Sirion, exchange only
Qty:

each €6000,00



Zusatzinformationen

 YPS-174 TFE source dimensions
Dimensionen der YPS-174 TFE Feldemitter Dimensionen der YPS-184 TFE Feldemitter

 

Elektronenquellen-Leistungsabelle

Die Elektronenquellen-Performancetabelle wird an dieser Stelle gezeigt, um zusätzliche Information zu Leistungsfähigkeit und Vorbedingungen von verschiedenen Emittern zu liefern. Wolframkathoden werden am meisten in REM eingesetzt, da diese sehr günstig sind. Verbesserte Ergebnisse werden mit einer LaB6-Kathode erreicht. Die höchste Auflösung, Signalstärke und das beste Nieder-kV Ergebnis kann durch Schottky oder kalte Feldemitter erreicht werden. Schottky Emitter zeichnen sich durch eine höhere Strahlstromstabilität und durch einen höheren Strahlstrom insgesamt aus, gegenüber von kalten Feldemittern.

Emitter Art

Thermisch

Thermisch

Schottky TFE

Kalte FE

Bilder der Kathodenspitzen

Thermionic Wolframe Cathode

Thermionic LaB6 Cathode

chottky TFE ZrO/W (100) Cathode

Cold Fe W (310) cathode

Kathodenmaterial

W

LaB6

ZrO/W (100)

W (310)

Kathodentemperatur (K)

2700

1800

1800

300

Kathodenradius (nm)

60,000

10,000

<1000

<100

Effektive Quellenradius (µm)

25

10

0.015

0.0025

Emissionsstromdichte (A/cm2)

3

30

5300

17,000

Emissionsstrom (µA)

200

80

200

5

Richtstrahlwert (A/cm2.sr.kV)

1x104

1x105

1x107

2x107

Maximum Strahlstrom (nA)

1000

1000

10

0.2

Energiebreite @ Kathode (ev)

0.59

0.4

0.31

0.26

Energiebreite @ Quelleaustritt (eV)

1.5 – 2.5

1.3 – 2.5

0.35 – 0.7

0.3 – 0.7

Kurzzeitstabilität des Strahlstroms (%)

1

1

1

5 – 10

Stabilität des Emissionsstroms (%/h)

0.1

0.2

<0.5

5

Vakuum (hPa/mbar)

<10-5

<10-6

<10-8

<10-10

Lebensdauer der Kathode (h)

100

>1000

>5000

>2000

Regenerieren der Kathode  (h)

Nicht  

Nicht  

Nicht  

6-12

Externe Empfindlichkeit  

Minimal

Niedrig 

Niedrig 

  Hoch

Stabilität 

Standard

Hoch

Sehr hoch

Niedrig

Röntgen Mikro-Analyse

EDS / WDS

EDS / WDS

EDS / WDS

EDS

 

Häufig gestellte Fragen zum Thema Thermische Feldemission (TFE)

F. Sind TFE Emitter weniger zuverlässig als thermoionische wie z.B. Wolfram oder LaB6
A. Nein – TFE Emitter sind sehr zuverlässig und arbeiten über mehrere Monate hindurch. Alle YPS Kathoden haben eine garantierte Laufzeit von einem Jahr.

F. Was sind die Vorteile von Schottky thermischen Feldemittern verglichen zu kalten Feldemitter z.B. W(310) oder W(111)?
A. Die wichtigsten Vorteile der TFE ist die bessere Strahlstromstabilität, hohe Strahlströme, weniger Aufwandt in der Vakuumtechnik und der Fakt, dass bei TFE’s kein wiederkehrender Flashvorgang nötig ist um weiter am EM zu arbeiten.

F. Was sind die Vakuumvoraussetzungen für die Benutzung von Schottky thermischen Feldemittern?
A. Üblicherweise < 1x10-9 mbar bzw. 1x10-7 Pa um den Emitter herum.

F. Welchen Richtstrahlwert (Helligkeit) kann mit Schottky TFE erreicht werden verglichen mit thermoionischen Kathoden?
A. Etwa 108 A/(cm²srad) bei Schottky TFE gegenüber 105 A/(cm²srad) bei thermoionischen Kathoden.

F. Müssen Schottky Emitter oft ausgetauscht werden?
A. Nicht wirklich. Die Lebensdauer eines Schottky TFE wird durch den Restgehalt ZrO2 im Resevoir an der Spitze definiert. Üblicherweise reicht das ZrO2 für ca. 8000 Stunden Betrieb.

F. Sind spezielle Schritte notwendig um einen Schottky Emitter zu starten?
A. Vor dem Emissionsstart darf der Druck am Emitter darf nicht 1x10-9 mbar (1x10-7 Pa) überschreiten. Außerdem muss ein thermischer Schock des Emitters bzw. des ZrO2 im Reservoir verhindert werden während die Extraktorspannung erhöht wird. Dabei darf zusätzlich eine maximal Temperatur von 1850 K (1577 °C) nicht überschritten werden damit das Zirkonoxid nicht aus dem Reservoir diffundiert oder abdampft. Bitte lesen Sie das Datenblatt für mehr Informationen und das Strom/Temperaturdiagram Ihres Emitters.

F. Wie bediene ich einen YPS Schottky TFE Emitter?
A. Ähnlich wie andere TFE Kathoden. Darüberhinaus wird jeder YPS Emitter mit einem zu jeden Emitter angepassten Datenblatt ausgeliefert.

F. Wie stabil ist der Strahlstrom eines Schottky TFE verglichen mit einem kalten Feldemitter?
A. Die Strahlstromstabilität eines Schottky TFE liegt bei < 0,5 %/h verglichen zu 5-30 %/h drift und zufälligen Ausschlägen wie üblich bei kalten Feldemittern.

F. Kann eine thermoionische Kathode durch einen Schottky TFE Emitter ersetzt warden?
A. Ja, dies ist durch ein YPS C>More Säulenupgrade möglich. Mit diesem Upgrade wird ein neues Differentialdrucksystem in Kathodennähe angebracht und eine spezielle Hochspannungsversorgung verwendet. Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Details.

F. Kann eine kalte Feldemitterkathode durch einen YPS Schottkyemitter ersetzt werden?
A. Nicht als sein einfacher Emittertausch. Nur wenn die Elektronensäule sowie die Hochspannungsversorgung ersetzt werden ist dies möglich. Kontaktieren Sie uns bitte für weitere Details.




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