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Denka M-3 LaB6 EM Kathoden
Hohe Winkelintensität, Austauschmodul für Elektronenquellen


Denka M-3 LaB6 EM Kathoden

Denka M3 LaB6 cathode. LaB6 crystal with standard
90 degree angle and 15µm round tip.
 


Einleitung

Denka M-3 LaB6 Filamente sind industriestandardisierte, hoch qualitative LaB6 Kathoden. Die Standardkathode mit einer 15 µm abgerundeten Spitze besitzt einen Winkel von 90°. Diese Geometrie ermöglicht eine Elektronenquelle höchster Winkelintensität bei gleichzeitig exzellenter Langzeitstabilität. Eine spezielle Version mit einem Winkel von 60° und einem kleineren Durchmesser von 5 bzw. 10 µm sind für speziell für TEM verfügbar. Denka verwendet zur Herstellung der Kathoden sehr reine und hochwertige LaB6-Kristalle. Damit ermöglichen diese Kathoden eine Winkelintensität des bis zu 10-fachen, verglichen mit Wolframkathoden. Dies ergibt für die Denka-Emitter höher auflösende und signalstärkere Bilder in LaB6 REM. Außerdem ist die Lebensdauer einer LaB6 Kathode sehr viel länger und in dieser Zeit auch stabiler. Bitte lesen Sie auch dazu die Elektronen-Quellen-Performance-Tabelle. Die Denka LaB6-Kathoden verbessern Ihre REM-Ergbnisse in den folgenden Einsatzgebieten:

  • REM für Anwendungen mit kleinen verwendeten Hochspannungen
  • REM Langzeitmessungen
  • TEM Bildgebung und –Analyse
  • Elektronenstrahlmikroanalyse (ESMA oder Mikrosonde)
  • Elektronenstrahllithographie

LaB6 Emitter benötigen ein höheres Vakuum als die normalen Wolframkathoden, welches üblicherweise durch eine extra Ionengetterpumpe an der Elektronenquelle gewährleistet wird. Der dort benötige Mindestdruck beträgt etwa 10-7 mbar bzw. 10-5 Pa.


Aufbau und Eigenschaften der Denka M-3 LaB6 EM Kathoden
Der Aufbau der Denka M-3 LaB6 EM Kathoden ist vergleich mit dem der Wolframkathoden. Diese besteht aus der gleichen Grundplatte mit angebrachten Wolframdrähten zu den Anschlüssen. Statt eines vollständig aus Wolfram bestehenden Drahtes, beschreibt der LaB6-Kristall eine Spitze an dem die Wolframdrähte angebracht sind. Durch diesen Aufbau wird der Kristall direkt durch den Strom aus den Drähten und seinem elektrischen Widerstand geheizt. Dies hat folgende Vorteile und verursacht diese Eigenschaften:

  • Ausstauschbarkeit: Denka M-3 LaB6 Kathoden sind dafür vorgesehen als Austausch für Wolframkathoden verwendet zu werden
  • Passen in REM sowie TEM
  • Hohe Winkelintensität: etwa 10fach verglichen mit W-Kathoden, sogar 20x für feinere Spitzen
  • Stabiler Emissionstrom: durch seinen wiederstandfähigen und robusten Aufbau. Normale Denka M-3 LaB6 Kathoden besitzen eine Stabilität von ca. 3 %/h bei 1550 °C
  • Lange Lebensdauer: durch den geringen Dampfdruck und hohen Schmelzpunkt von LaB6 wird die Abdampfung von Material verhindert. Bei 10-7 mbar bzw. 10-5 Pa und stabilen 1550 °C Nutztemperatur wird eine Lebensdauer von 500 bis 2000 h erwartet.
  • Kleinere Elektronenaustrittsarbeit von nur 2,66 eV, verglichen zu 4,7 eV bei W

Spezifikationen der Denka LaB6 EM Kathoden
Bitte nutzen Sie die folgende Übersichtstabelle zur Ermittlung der passenden LaB6 Quelle für Ihr REM, TEM oder Mikrosonde. Die Denka LaB6 EM Kathoden sind erhältlich für FEI, Hitachi, JEOL, AmRay, Camscan, Philips, Tescan, Zeiss, LEO, Leica, und Cambridge Instruments Elektronenmikroskope.

Art

Normale Spitze

Feine Spitze

Spitzenform Spitzendurchm                   

90° Konuswinkel,
15 µm Spitzendurchm.

60° Konuswinkel, 5 µm 60°
60° Konuswinkel, 10 µm

Winkelintensität

10 fache eines W-Emitters
1 x 106 A/cm2srad

20 fache eines W-Emitters
2 x 106 A/cm2srad

Sättigung

einzelner Spot bei 1500 °C

einzelner Spot bei 1500 °C

Crossover

Klein; 7-10 µm

Klein; 7-10 µm

Winkelverteilung

1.6 x 10-2 rad

1.6 x 10-2 rad

Standzeit

ca. 500 - 2000 h

weniger als die normale spitze

Einrichtung

Mäßig 

schwieriger durch Spot-Einstellung

Stabilität

Hoch, besser 3%/h

Niedrig, durch kleineren Spot

Vakuum

<10-7 mbar bzw. <10-5 Pa

10-7 mbar oder besser

Austrittsenergie

2.66 eV

2.66 eV



Übersichtstabelle Denka M-3 LaB6 EM Kathoden

Elektronenmikroskop- oder Filamenttyp

Artikelnr.

Keramikscheibe mm

Stiftdurchm. mm

Stiftabstand (mm)

AEI

14-AE3301

12.0

1.0

6.45

AmRay /AMR (außer 1200 Serie)

14-AM3302

26.0

1.0

5.0

Cambridge Instruments (außer S4-10)

14-AE3301

12.0

1.0

6.45

CamScan mit AEI Umbauten

14-AE3301

12.0

1.0

6.45

FEI TEM und REM

14-FP3303

26.0

1.0

5.0

Hitachi S-Art

14-HI3304

9.8

1.2

2.7

JEOL K-Typ Metallring standard REM-Tip

14-JL3308

28.0

1.2

8.0

JEOL K-Typ Metallring spitzer TEM-Tip

14-JL3318 / 14-JL3328

28.0

1.2

8.0

Leica

14-AE3301

12.0

1.0

6.45

LEO 400 und 1400 Serie REM

14-AE3301

12.0

1.0

6.45

LEO1450 (außer AEI Umbauten)

14-ZS3310

19.8

1.0

5.0

LEO TEM

14-ZS3310

19.8

1.0

5.0

Philips TEM und REM (außer XL-30)

14-FP3303

26.0

1.0

5.0

Tescan

14-TN3309

19.8

1.0

5.0

Zeiss DSM und TEM

14-ZS3310

19.8

1.0

5.0



Bestellinformationen zu Denka M-3 LaB6 EM Kathoden

*Nettopreise zuzüglich gesetzlicher Umsatzsteuer. Wir verkaufen nicht an Privatpersonen.

Denka M3 LaB6 Kathode, AEI Basis, 90° / Ø 15 µm, für Zeiss EVO, LEO, Leica, CamScan, Cambridge Instruments und Philips XL-30 REM Denka M3 LaB6 Kathode, AEI Basis, 90° / Ø 15 µm, für Zeiss EVO, LEO, Leica, CamScan, Cambridge Instruments und Philips XL-30 REM
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
14-AE3301 Stück €895,00
Anz:


Denka M3 LaB6 Kathode, AmRay, 90° / Ø 15 µm, für alle AMR Leitz/AMR und AmRay REM außer AMR 1200 Serie Denka M3 LaB6 Kathode, AmRay, 90° / Ø 15 µm, für alle AMR Leitz/AMR und AmRay REM außer AMR 1200 Serie
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
14-AM3302 Stück €995,00
Anz:


Denka M3 LaB6 Kathode, FEI/Philips, 90° / Ø 15 µm, für FEI TEM/REM und Philips EM200 TEM & PREM 500 und danach (außer XL-30) Denka M3 LaB6 Kathode, FEI/Philips, 90° / Ø 15 µm, für FEI TEM/REM und Philips EM200 TEM & PREM 500 und danach (außer XL-30)
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
14-FP3303 Stück €995,00
Anz:


Denka M3 LaB6 Kathode, Hitachi S-Typ, 90° / Ø 15 µm, für Hitachi S-, SU, H- und X-Serie REM und TEM Denka M3 LaB6 Kathode, Hitachi S-Typ, 90° / Ø 15 µm, für Hitachi S-, SU, H- und X-Serie REM und TEM
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
14-HI3304 Stück €895,00
Anz:


Standard Denka M3-LKS LaB6 Kathode JEOL K-Typ (mit Metallring), 90° / Ø 15 µm, für REM Standard Denka M3-LKS LaB6 Kathode JEOL K-Typ (mit Metallring), 90° / Ø 15 µm, für REM
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
14-JL3308 Stück €895,00
Anz:


Standard Denka M3-LKS LaB6 Kathode JEOL K-Typ (mit Metallring), 90° / Ø 15 µm, für REM Spitze Denka M3-LKSH60S LaB6 Kathode, JEOL K-Typ (mit Metallring), 60° / Ø 5 µm, für JEOL TEM
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
14-JL3318 Stück €1130,00
Anz:


Standard Denka M3-LKS LaB6 Kathode JEOL K-Typ (mit Metallring), 90° / Ø 15 µm, für REM Spitze Denka M3-LKSH60 LaB6 Kathode, JEOL K-Typ (mit Metallring), 60° / Ø 10 µm, für JEOL TEM
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
14-JL3328 Stück €1125,00
Anz:


Denka M3 LaB6 Kathode, Tescan, 90° / Ø 15 µm, für Tescan REM Denka M3 LaB6 Kathode, Tescan, 90° / Ø 15 µm, für Tescan REM
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
14-TN3309 Stück €895,00
Anz:


Denka M3 LaB6 Kathode, Zeiss, 90° / Ø 15 µm, für DSM Serie REM, TEM, LEO TEM und LEO 1450 REM Denka M3 LaB6 Kathode, Zeiss, 90° / Ø 15 µm, für DSM Serie REM, TEM, LEO TEM und LEO 1450 REM
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
14-ZS3310 Stück €895,00
Anz:



Elektronen-Quellen-Vergleichs-Tabelle

Die Elektronen-Quellen-Vergleichs-Tabelle gibt zusätzliche Informationen bezüglich Leistung und Anforderungen verschiedener Elektronenemitter. Wolfram-Kathoden werden in den meisten REM verbaut. Bessere Bildergebnisse können mit LaB6-Kathoden erzielt werden. Die besten Ergebnisse werden mit Schottky- oder kalten Feldemissionsquellen erreicht werden.

Emitter Art

Thermisch

Thermisch

Schottky TFE

Kalte FE

Bilder der Kathodenspitzen

Thermionic Wolframe Cathode

Thermionic LaB6 Cathode

chottky TFE ZrO/W (100) Cathode

Cold Fe W (310) cathode

Kathodenmaterial

W

LaB6

ZrO/W (100)

W (310)

Kathodentemperatur (K)

2700

1800

1800

300

Kathodenradius (nm)

60,000

10,000

<1000

<100

Effektive Quellenradius (µm)

25

10

0.015

0.0025

Emissionsstromdichte (A/cm2)

3

30

5300

17,000

Emissionsstrom (µA)

200

80

200

5

Richtstrahlwert (A/cm2.sr.kV)

1x104

1x105

1x107

2x107

Maximum Strahlstrom (nA)

1000

1000

10

0.2

Energiebreite @ Kathode (ev)

0.59

0.4

0.31

0.26

Energiebreite @ Quelleaustritt (eV)

1.5 – 2.5

1.3 – 2.5

0.35 – 0.7

0.3 – 0.7

Kurzzeitstabilität des Strahlstroms (%)

1

1

1

5 – 10

Stabilität des Emissionsstroms (%/h)

0.1

0.2

<0.5

5

Vakuum (hPa/mbar)

<10-5

<10-6

<10-8

<10-10

Lebensdauer der Kathode (h)

100

>1000

>5000

>2000

Regenerieren der Kathode  (h)

Nicht  

Nicht  

Nicht  

6-12

Externe Empfindlichkeit  

Minimal

Niedrig 

Niedrig 

  Hoch

Stabilität 

Standard

Hoch

Sehr hoch

Niedrig

Röntgen Mikro-Analyse

EDS / WDS

EDS / WDS

EDS / WDS

EDS


 




REM Zubehör

TEM Zubehör

Kalibrierung

Probe Vorbereitung

AFM / SPM

  REM Probenteller
  Kohlenstoffklebepads
  Adapter für Probenteller
  Adapter für Probentische
  REM Probenhalter
  REM Präparationshalter
  EM Kathoden
  Silizium-Such-Substrate
  Gatan 3View Probenteller
  FEI Volumescope Probenteller
  Boxen für Probenteller
  Phenom Zubehör
  JEOL NeoScope Zub.
  Hitachi TM Zubehör
  Probenhalterkits

Instrumente


  Schallschutzboxen
  Kritisch-Punkt-Trockner CPD
  Cressington REM Beschichtung
  HI-Res IR-Kamera
  TEM Sample Prep
  TEM Netzchen
  Trägerfilme
  Siliziumnitrid Trägerfilme
  Graphen Filme
  TEM Probenkontrastierung
  TEM Aufbewahrung
  Kryo Grid Box
  Kathoden
  Kryo Pin für Ultramikrotome
  Kunstwimper-Manipulartorset

FIB Zubehör


  FIB Lift-out Grids
  FIB flache Probenteller
  FIB Grid Probenhalter
  FIB vorgekippte Probenhalter
  FIB Grid Aufbewahrung
  REM / FIB Vergrößerung
  REM Auflösungstandards
  EDS / WDS
  TEM
  AFM / SPM
  LM

Vakuum Zubehör


  Bullseye Vakuummessung
  D215V Vakuummessung
  D801W Vakuummessung
  Schnelltest-Druckmesser
  KF/NW Vakuumbauteile
  Vakuumöle und Fette
  Vakuumprobenaufbewahrung
  Verdampferkörbe
  Quarz Kristalle
  Sputter Targets
  Kohlenstoffstäbe & Fäden
  Quarz Kristalle
  Auflagen & Substrate
  REM Präparationshalter
  Pinzetten
  Nadeln & Sonden
  Holzspatel & Tupfer
  Kryo-Behälter
  OCT Kryo-Einbettungsmittel
  Polymer Transferpipetten
  Schneidwerkzeuge / Scheren
  Leitfähige Kleber
  Leitfähige Kleberbänder & Tabs
  Nicht-leitfähige Kleber
  Edelstahlgitter
  Probenaufbewahrung
  Werkzeuge
  Schneidunterlagen
  Reinigung / Handschuhe
  Diamantpolierpaste
  AFM/SPM Metallscheiben
  AFM/SPM Halter
  AFM/SPM Aufbewahrung
  Cantilever Pinzetten
  AFM/SPM Pinzetten
  Mica Scheiben
  HOPG Substrate


LM


  Korrelative Deckgläschen
  Glas-Objektträger
  Deckgläschen
  Quarz Objektträger
  Quarz-Deckgläschen
  Schwarze Metallobjektträger
  Objektträger Aufbewahrung
  Kalibrierung
  Polymerpipetten
  Reinigungspapier für Linsen
  Petrischalen