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MAG*I*CAL rückverfolgbarer TEM Kalibrierstandard

           TEM Bild mit vier identischen Strukturen wechselnder Si/SiGe Linien
           TEM Bild mit vier identischen Strukturen
            wechselnder Si/SiGe Linien



           Diagramm der vier Regionen der Kalibrierstruktur
              Diagramm der vier Regionen
              der Kalibrierstruktur



Optisches Bild der vier Regionen der Kalibrierstruktur
Optisches Bild der vier Regionen
der Kalibrierstruktur


Einleitung


Ein akkurat kalibriertes TEM ist Voraussetzung für die Erzeugung korrekter Bilddaten. Mit dem rückverfolgbaren MAG*I*CAL Kalibrierstandard kann das TEM akkurat kalibriert werden. Der rückverfolgbare MAG*I*CAL TEM Kalibrierstandard besteht aus vier Sets von 5 SiGe Schichten mit einer Dicke von ~10 nm, wechselnd mit ~13 nm Schichten aus reinem Silicium. Die Gesamtbreite der wechselnden Linien beträgt ~100 nm. Der Abstand zwischen jedem Set aus 5 Schichten beträgt ~1,2 µm. Die epitaxischen Schichten sind mittels MBE (Molecular Beam Epitaxy) Prozess auf einem Monokristallsubstrat {001} gewachsen. Der fertige Kalibrierstandard ist ist ein Cross-Section TEM Kalibrierstandard mit vier Regionen, wo die Kalibrierlinien aufgenommen werden können.
Der einzigartige MAG*I*CAL TEM Kalibrierstandard kann eingesetzt werden für die Kalibrierung:

  • des TEM über den gesamten Bereich von 1.000x bis zu 1.000.000x Vergrößerung mit den wechselnden Linien
  • der Kamerakonstante durch Nutzung des Si Monokristalls
  • Des Bildes / der Beugungsbildrotationskalibrierung durch Nutzung des Si Monokristallbereichs

Die vier Sets aus wechselnden Si und SiGe Schichten erzeugen helle und dunkle Linien mit gutem Kontrast. Die vier Sets aus wechselnden Schichten wurden durch den Gebrauch eines hochauflösenden Transmissionselektronenmikroskop (HR-TEM) kalibriert mit Referenz der {111} Raumgitter von Silicium (0,3135428 nm), gemessen auf dem Monokristallsubstrat des MAG*I*CAL Kalibrierstandards. Diese Methode liefert ungebrochene Rückverfolgbarkeit durch eine Naturkonstante, die Gitterkonstante von Silicium.

Geliefert mit einer 3 mm Titanscheibe und Kalibrieranleitung (in Englisch).

Rückverfolgbarkeit des MAG*I*CAL Kalibrierreferenzstandards
Der MAG*I*CAL Kalibrierreferenzstandard wurde gefertigt aus einem Monokristall-Silicium-Wafer und beinhaltet so eine Naturkonstante in sich selbst, die Kristallgitterkonstante von Silicium. Alle Kalibriermarken auf dem Standard beziehen sich direkt auf diese Naturkonstante. Die kalibrierten Werte können durch den Anwender verifiziert werden, indem er das Kristallgitterbild des Siliciumsubstrats betrachtet und mit dem kalibrierten Wert vergleicht.
Messinstistute (NMIs) wie NIST in den USA, NPL im UK und PTB in Deutschland zertifizieren Messwerte als rückverfolgbar in Bezug auf Naturkonstanten, sie zertifizieren aber keine Naturkonstanten. Der MAG*I*CAL Kalibrierreferenzstandard benötigt keine NMI Zertifizierung, da die Kalibrierung direkt rückverfolgbar auf Naturkonstanten ist, die auf dem Standard selbst zur Verfügung stehen (der Kristallgitterabstand von Silicium) und alle kalibrierten Werte durch den Anwender verifiziert werden können. Der Kristallgitterabstand ist eine spezifische Eigenschaft des Materials. Bei reinem Silicium ist der Kristallgitterabstand durch die Wissenschaftsgemeinde sehr gut bestimmt und dokumentiert. Er ist auf acht Dezimalstellen genau bekannt: 0,313560136 nm. Diesen Wert findet man im aktuellen CRC "Handbook of Chemistry and Physics" und vielen anderen Publikationen.


Kikuchi Pattern des Si Monokristalls zum Abgleich          
Kikuchi Pattern des Si Monokristalls
zum Abgleich
Gitterbild des Si Monokristalls
Gitterbild des Si Monokristalls

 

Bestellinformationen

*Nettopreise zuzüglich gesetzlicher Umsatzsteuer. Wir verkaufen nicht an Privatpersonen.

MAG*I*CAL rückverfolgbarer TEM Vergrößerungs-Kalibrierstandard, 1.000x bis 1.000.000x, auf Ti-Scheibe, mit Beschreibung MAG*I*CAL rückverfolgbarer TEM Vergrößerungs-Kalibrierstandard, 1.000x bis 1.000.000x, auf Ti-Scheibe, mit Beschreibung

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