EM-Tec MCS Serie, Kalibrierstandards für Vergrößerungen
EM-Tec MCS Serie, Kalibrierstandards für Vergrößerungen Ideale REM Kalibrierstandards mit 2,5 mm bis 1 µm oder 100 nm Raster


                 31-C32000EM-Tec MCS-0.1 mit einer Skalierung von 2,5 mm bis 100 nm; ideal für REM, FE-REM und FIB Systeme, für 10x bis 200,000 Vergrößerung.
                 31-C32000 EM-Tec MCS-0.1CF
                 zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm
               Bestellinformation

Einleitung

Die EM-Tec MCS Serie Vergrößerungsstandards sind einzigartige, kostengünstige und vielseitig einsetzbare REM Kalibrierstandards. Diese vollausgestatteten, praktischen Kalibrierstandards können eingesetzt werden für die Vergrößerungskalibrierung oder die Messung kritischer Abmaße bei Tapletop REM, Standard REM, FE-REM, Auger, SIMS und Auflichtmikroskopen.

Es werden zwei Varianten an Em-Tec MCS Kalibrierstandards angeboten, beide Standards mit Rückverfolgbarkeitszertifikaten oder optional mit individuellen Kalibrierungszertifikaten.:

  • EM-Tec MCS-1 mit einer Skalierung von 2,5 mm bis 1 µm; ideal für Tabletop REM und kompakte REM, für 10x bis 20,000x Vergrößerung. Angeboten werden verfolgbare und zertifizierte Versionen.
  • EM-Tec MCS-0.1 mit einer Skalierung von 2,5 mm bis 100 nm; ideal für REM, FE-REM und FIB Systeme, für 10x bis 200,000 Vergrößerung. Angeboten werden verfolgbare und zertifizierte Versionen.

Die Skalierungen der EM-Tec MCS Serie wurden mit moderner MEMS Fertigungstechnik hergestellt, sehr kontrastreiche Ablagerungslinien aus Chrom für die großen Skalen und Gold auf Chrom für die kleineren Linien unter 2,5 µm. Die Goldablagerungen ermöglichen einen optimalen Signal-Rausch-Verhältnis für die Kalibrierung. Vorteile der EM-Tec MCS Serie sind:

  • Einzigartige Präzision über den gesamten Kalibrierbereich
  • Alle Skalen auf einer ultraflachen Ebene
  • Metall auf Silizium mit hervorragendem Signal-Rausch-Verhältnis
  • Große Bandbreite an Skalen für akkurate Kalibrierung von niedrigen, mittleren und hohen Vergrößerungen
  • Kompatibel mit SE und BSE Abbildungen
  • Voll leitfähige Materialien
  • Einfache Konvertierung der metrischen Skalengrößen
  • Können mit Plasmacleaner gereinigt werden
  • Alle NIST verfolgbar oder optional zertifiziert

Der EM-Tec MCS-0.1 Kalibrierstandard ist ein hervorragender Ersatz für den nicht mehr gefertigten SIRA Kalibrierstandard (der lediglich 0,51 und 0,463 µm Skalen aufwies) mit zusätzlichen Vorteilen. Zu den SIRA Standards kompatible Skalengrößen sind 50 µm (5x 10 µm) und 0,5 µm (500 nm).



Spezifikationen der EM-Tec MCS Serie Vergrößerungsstandards
Untergrund  525 µm dicker, mit Bor dotierter, ultraflacher Wafer mit <100> Ausrichtung
Leitfähigkeit  Sehr gut, 5-10 Ohm Leitungswiderstand
Größe  2,5 x 2,5 mm
Chip Größe  3,5 x 3,5 mm (nicht montiert)
Skalen MCS-1

2,5 / 1,0 / 0,5 mm
250 / 100 / 10 / 5 / 2,5 / 1 µm

Skalen MCS-0.1 zusätzlich 500 / 250 / 100 nm
Materialeigenschaft 

50 nm Chrom bei 2,5 mm bis 2,5 µm
50 nm Gold auf 20 nm Chrom bei 1 µm bis 100 nm

Rückverfolgbare Abweichung 0,2% oder besser
Zertifizierte Abweichung 0.03%
Rückverfolgbare Messunsicherheit 0.7% oder besser
Zertifizierte Messunsicherheit 0.09%
Rückverfolgbarkeit

Wafer Level NIST verfolgar, durchschnittliches Datum auf jedem Produktionswafer

Zertifizierung Optional, jeder zertifizierte EM-Tec MCS Standard ist individuell
kalibriert gegen einen NIST bemessenen Standard
Applikationen REM, FE-REM, FIB, Auger, SIMS und Auflichtmikroskop
Identifikation Produkt-ID mit eingeätzter Seriennummer
Befestigung Nicht montiert oder befestigt auf gängige Probenteller
Auslieferung  Nicht montiert: verpackt in Gel-Pack Box

Vollständige Liste der erhältlichen Probenteller für Kalibrierstandards und Testproben
Technisches Bulletins: EM-Tec MCS-1 und MCS-0.1 Vergrößerungsstandards (Englisch)



Bestellinformationen zu EM-Tec MCS Serie, Kalibrierstandards für Vergrößerungen

EM-Tec MCS-1TR verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm
EM-Tec MCS-1TR verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm Der EM-Tec MCS-1 Kalibrierstandard wurde entwickelt für die genaue Kalibrierung von Tabletop REM, Auflichtmikroskopen, kompakten REM und Standard REM für niedrige bis mittlere Vergrößerungen. Einsetzbar bei Vergrößerungen zwischen 10x und 20.000x. Helle Skalen aus Chromablagerungen auf ultraflachem, leitendem Silizium. Die Skalengrößen für den MCS-1 sind:
2,5 mm, 1,0 mm, 0,5 mm, 250 µm, 100 µm, 10 µm, 5 µm, 2,5 µm und 1 µm. Der 31-T31000 EM-Tec MCS-1TR ist verfolgbar auf dem Wafer-Level gegen einen NIST bemessenen Kalibrierstandard. Unbefestigt oder befestigt auf den gebräuchlichen REM Probentellern erhältlich.


Beispiel für ein Wafer Level Verfolgbarkeitszertifikat für den EM-Tec MCS-1TR Vergrößerungsstandard, 2,5 mm bis 1 µm.

Wir bieten auch eine individuell zertifizierte Version.
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
31-T31000-U EM-Tec MCS-1TR verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm, nicht montiert
Qty:

Stück €79,50
31-T31000-1 EM-Tec MCS-1TR verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm, auf Ø 12,7 mm Standard Stiftprobenteller
Qty:

Stück €89,50
31-T31000-2 EM-Tec MCS-1TR verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm, auf Ø 12,7 mm Zeiss Stiftprobenteller
Qty:

Stück €89,50
31-T31000-6 EM-Tec MCS-1TR verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm, auf Ø 12,2 mm JEOL Stub
Qty:

Stück €94,50
31-T31000-8 EM-Tec MCS-1TR verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm, auf Ø 15 mm Hitachi Stub
Qty:

Stück €89,50


EM-Tec MCS-1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm
EM-Tec MCS-1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm Der EM-Tec MCS-1 Kalibrierstandard wurde entwickelt für die genaue Kalibrierung von Tabletop REM, Auflichtmikroskopen, kompakten REM und Standard REM für niedrige bis mittlere Vergrößerungen. Einsetzbar bei Vergrößerungen zwischen 10x und 20.000x. Helle Skalen aus Chromablagerungen auf ultraflachem, leitendem Silizium. Die Skalengrößen für den MCS-1 sind:
2,5 mm, 1,0 mm, 0,5 mm, 250 µm, 100 µm, 10 µm, 5 µm, 2,5 µm und 1 µm. Der 31-T31000 EM-Tec MCS-1CF ist individuell zertifiziert unter Nutzung eines NIST bemessenen Kalibrierstandard. Unbefestigt oder befestigt auf den gebräuchlichen REM Probentellern erhältlich.

Beispiel für ein Verfolgbarkeitszertifikat für den EM-Tec MCS-1CF Vergrößerungsstandard, 2,5 mm bis 1 µm.
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
31-C31000-U EM-Tec MCS-1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm, nicht montiert
Qty:

Stück €595,00
31-C31000-1 EM-Tec MCS-1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm, auf Ø 12,7 mm Standard Stiftprobentellerb
Qty:

Stück €605,00
31-C31000-2 EM-Tec MCS-1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm, auf Ø 12,7 mm Zeiss Stiftprobenteller
Qty:

Stück €605,00
31-C31000-6 EM-Tec MCS-1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm, auf Ø 12,2 mm JEOL Stub
Qty:

Stück €620,00
31-C31000-8 EM-Tec MCS-1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm, auf Ø 15 mm Hitachi Stub
Qty:

Stück €605,00


EM-Tec MCS-0.1TR zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm
EM-Tec MCS-0.1TR zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm Der EM-Tec MCS-0.1 Kalibrierstandard wurde entwickelt für die genaue Kalibrierung von REM, FE-REM, FIB, Auger SIMS uns Auflichtmikroskope. Einsetzbar bei Vergrößerungen zwischen 10x und 200.000x. Helle Skalierung aus Chrom auf ultraflachem, leitendem Silizium für Kalibrierung bis 2,5 µm und Gold auf Chrom für Skalierung von 1 µm bis 100 nm. Die Metallstreifen auf Silizium erzeugen ein hervorragendes Signal mit hohem Kontrast. Die Skalengrößen für das MCS-0.1 sind:
2,5 mm, 1,0 mm, 0,5 mm, 250 µm, 100 µm, 10 µm, 5 µm, 2,5 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, und 100 nm. Das 31-T32000 EM-Tec MCS-0.1TR ist NIST verfolgbar auf dem Wafer Level gegen einen NIST Kalibrierstandard. Unbefestigt oder befestigt auf den gebräuchlichen REM Probentellern erhältlich. Gute Alternative zum eingestellten SIRA Kalibrierstandard.

Beispiel für ein Wafer Level Verfolgbarkeitszertifikat für den EM-Tec MCS-0.1TR, Vergrößerungsstandard, 2,5 mm bis 100 nm.
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
31-T32000-U EM-Tec MCS-0.1TR verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm, nicht montiert
Qty:

Stück €387,50
31-T32000-1 EM-Tec MCS-0.1TR verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm, auf Ø 12,7 mm Standard Stiftprobenteller
Qty:

Stück €398,50
31-T32000-2 EM-Tec MCS-0.1TR verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm, auf Ø 12,7 mm Zeiss Stiftprobenteller
Qty:

Stück €398,50
31-T32000-6 EM-Tec MCS-0.1TR verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm, auf Ø 12,2 mm JEOL Stub
Qty:

Stück €414,50
31-T32000-8 EM-Tec MCS-0.1TR verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm, auf Ø 15 mm Hitachi Stub
Qty:

Stück €398,50


EM-Tec MCS-0.1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm
EM-Tec MCS-0.1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm Der EM-Tec MCS-0.1 Kalibrierstandard wurde entwickelt für die genaue Kalibrierung von REM, FE-REM, FIB, Auger SIMS uns Auflichtmikroskope. Einsetzbar bei Vergrößerungen zwischen 10x und 200.000x. Helle Skalierung aus Chrom auf ultraflachem, leitendem Silizium für Kalibrierung bis 2,5 µm und Gold auf Chrom für Skalierung von 1 µm bis 100 nm. Die Metallstreifen auf Silizium erzeugen ein hervorragendes Signal mit hohem Kontrast. Die Skalengrößen für das MCS-0.1 sind: 2,5 mm, 1,0 mm, 0,5 mm, 250 µm, 100 µm, 10 µm, 5 µm, 2,5 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, und 100 nm. Das 31-T32000 EM-Tec MCS-0.1CF ist individuell zertifiziert unter Nutzung eines NIST Kalibrierstandards. Unbefestigt oder befestigt auf den gebräuchlichen REM Probentellern erhältlich. Sehr gute Alternative zum eingestellten SIRA Kalibrierstandard.

Beispiel für ein Verfolgbarkeitszertifikat für den EM-Tec MCS-0.1CF, Vergrößerungsstandard, 2,5 mm bis 100 nm.
Ausgezeichnete Alternative für den eingestellten SIRA-Kalibrierstandard mit einfacher zu verwendenden kompatiblen Größen. Sehe TSB 31-C32000 EM-Tec MCS-0.1CF replacement for SIRA calibration standard. TSB 31-C32000 EM-Tec MCS-0.1CF replacement for SIRA calibration standard
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
31-C32000-U EM-Tec MCS-0.1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm, nicht montiert
Qty:

Stück €895,00
31-C32000-1 EM-Tec MCS-0.1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm, auf Ø 12,7 mm Standard Stiftprobenteller
Qty:

Stück €915,00
31-C32000-2 EM-Tec MCS-0.1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm, auf Ø 12,7 mm Zeiss Stiftprobenteller
Qty:

Stück €915,00
31-C32000-6 EM-Tec MCS-0.1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm, auf Ø 12,2 mm JEOL Stub
Qty:

Stück €930,00
31-C32000-8 EM-Tec MCS-0.1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm, auf Ø 15 mm Hitachi Stub
Qty:

Stück €915,00




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