product field
product field2
contact field
contact field2

EM-Tec MCS Serie, Kalibrierstandards für Vergrößerungen
EM-Tec MCS Serie, Kalibrierstandards für Vergrößerungen Ideale REM Kalibrierstandards mit 2,5 mm bis 1 µm oder 100 nm Raster


                 31-C32000EM-Tec MCS-0.1 mit einer Skalierung von 2,5 mm bis 100 nm; ideal für REM, FE-REM und FIB Systeme, für 10x bis 200,000 Vergrößerung.
                 31-C32000 EM-Tec MCS-0.1CF
                 zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm
               Bestellinformation

Einleitung

Die EM-Tec MCS Serie Vergrößerungsstandards sind einzigartige, preiswerte und vielseitig einsetzbare REM Kalibrierstandards. Diese vollausgestatteten, praktischen Kalibrierstandards können eingesetzt werden für die Vergrößerungskalibrierung oder die Messung kritischer Abmaße bei Tapletop REM, Standard REM, FE-REM, Auger, SIMS und Auflichtmikroskopen..

Es werden zwei Varianten an Em-Tec MCS Kalibrierstandards angeboten, beide Standards mit Rückverfolgbarkeitszertifikaten oder optional mit individuellen Kalibrierungszertifikaten.:

  • EM-Tec MCS-1 mit einer Skalierung von 2,5 mm bis 1 µm; ideal für Tabletop REM und kompakte REM, für 10x bis 20,000x Vergrößerung. Angeboten werden verfolgbare und zertifizierte Versionen.
  • EM-Tec MCS-0.1 mit einer Skalierung von 2,5 mm bis 100 nm; ideal für REM, FE-REM und FIB Systeme, für 10x bis 200,000 Vergrößerung. Angeboten werden verfolgbare und zertifizierte Versionen.

Die Skalierungen der EM-Tec MCS Serie wurden mit moderner MEMS Fertigungstechnik hergestellt, sehr kontrastreiche Ablagerungslinien aus Chrom für die großen Skalen und Gold auf Chrom für die kleineren Linien unter 2,5 µm. Die Goldablagerungen ermöglichen einen optimalen Signal-Rausch-Verhältnis für die Kalibrierung. Vorteile der EM-Tec MCS Serie sind:

  • Noch nie dagewesene Präzision über den gesamten Kalibrierbereich
  • Alle Skalen auf einer ultraflachen Ebene
  • Metall auf Silizium mit hervorragendem Signal-Rausch-Verhältnis
  • Große Bandbreite an Skalen für akkurate Kalibrierung von niedrigen, mittleren und hohen Vergrößerungen
  • Kompatibel mit SE und BSE Abbildungen
  • Voll leitfähige Materialien
  • Einfache Konvertierung der Skalengrößen
  • Können mit Plasmacleaner gereinigt werden
  • Alle NIST verfolgbar oder optional zertifiziert

Der EM-Tec MCS-0.1 Kalibrierstandard ist ein hervorragender Ersatz für den nicht mehr gefertigten SIRA Kalibrierstandard (der lediglich 0,51 und 0,463 µm Skalen aufwies) mit zusätzlichen Vorteilen. Zu den SIRA Standards kompatible Skalengrößen sind 50 µm (5x 10 µm) und 0,5 µm (500 nm).



Spezifikationen der EM-Tec MCS Serie Vergrößerungsstandards
Untergrund  525 µm dicker, mit Bor dotierter, ultraflacher Wafer mit <100> Ausrichtung
Leitfähigkeit  Sehr gut, 5-10 Ohm Leitungswiderstand
Größe  2,5 x 2,5 mm
Chip Größe  3,5 x 3,5 mm (nicht montiert)
Skalen MCS-1

2,5 / 1,0 / 0,5 mm
250 / 100 / 10 / 5 / 2,5 / 1 µm

Skalen MCS-0.1 zusätzlich 500 / 250 / 100 nm
Materialeigenschaft 

50 nm Chrom bei 2,5 mm bis 2,5 µm
50 nm Gold auf 20 nm Chrom bei 1 µm bis 100 nm

Rückverfolgbare Abweichung 0,2% oder besser
Zertifizierte Abweichung 0.03%
Rückverfolgbare Messunsicherheit 0.7% oder besser
Zertifizierte Messunsicherheit 0.09%
Rückverfolgbarkeit

Wafer Level NIST verfolgar, durchschnittliches Datum auf jedem Produktionswafer

Zertifizierung Optional, jeder zertifizierte EM-Tec MCS Standard ist individuell
kalibriert gegen einen NIST bemessenen Standard
Applikationen REM, FE-REM, FIB, Auger, SIMS und Auflichtmikroskop
Identifikation Produkt-ID mit eingeätzter Seriennummer
Befestigung Unbefestigt, optional auf Probenteller befestigt
Auslieferung  Verpackt in Gel-Pack Box

Vollständige Liste der erhältlichen Probenteller für Kalibrierstandards und Testproben
Technisches Bulletins: EM-Tec MCS-1 und MCS-0.1 Vergrößerungsstandards


Bestellinformationen zu EM-Tec MCS Serie, Kalibrierstandards für Vergrößerungen

*Nettopreise zuzüglich gesetzlicher Umsatzsteuer. Wir verkaufen nicht an Privatpersonen.


    # 31-T31000   EM-Tec MCS-1TR verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm

EM-Tec MCS-1TR verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm Der EM-Tec MCS-1 Kalibrierstandard wurde entwickelt für die genaue Kalibrierung von Tabletop REM, Auflichtmikroskopen, kompakten REM und Standard REM für niedrige bis mittlere Vergrößerungen. Einsetzbar bei Vergrößerungen zwischen 10x und 20.000x. Helle Skalen aus Chromablagerungen auf ultraflachem, leitendem Silizium. Die Skalengrößen für den MCS-1 sind:
2,5 mm, 1,0 mm, 0,5 mm, 250 µm, 100 µm, 10 µm, 5 µm, 2,5 µm und 1 µm. Der 31-T31000 EM-Tec MCS-1TR ist verfolgbar auf dem Wafer-Level gegen einen NIST bemessenen Kalibrierstandard. Unbefestigt oder befestigt auf den gebräuchlichen REM Probentellern erhältlich. Beispiel für ein Wafer Level Verfolgbarkeitszertifikat für den EM-Tec MCS-1TR Vergrößerungsstandard, 2,5 mm bis 1 µm.
Wir bieten auch eine individuell zertifizierte Version.

(Weitere Bilder)

Vollständige Liste der erhältlichen Probenteller für Kalibrierstandards und Testproben

EM-Tec MCS-1TR verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
31-T31000-U EM-Tec MCS-1TR verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm, nicht montiert
Anz:

Stück €69,50
31-T31000-1 EM-Tec MCS-1TR verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm, auf Ø 12,7 mm Standard Stiftprobenteller
Anz:

Stück €79,50
31-T31000-2 EM-Tec MCS-1TR verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm, auf Ø 12,7 mm Zeiss Stiftprobenteller
Anz:

Stück €79,50
31-T31000-6 EM-Tec MCS-1TR verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm, auf Ø 12,2 mm JEOL Stub
Anz:

Stück €94,50
31-T31000-8 EM-Tec MCS-1TR verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm, auf Ø 15 mm Hitachi Stub
Anz:

Stück €79,50
31-T31000-10 EM-Tec MCS-1TR verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm, auf Custom Stub
Anz:

Stück €169,50


    # 31-C31000   EM-Tec MCS-1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm

EM-Tec MCS-1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm Der EM-Tec MCS-1 Kalibrierstandard wurde entwickelt für die genaue Kalibrierung von Tabletop REM, Auflichtmikroskopen, kompakten REM und Standard REM für niedrige bis mittlere Vergrößerungen. Einsetzbar bei Vergrößerungen zwischen 10x und 20.000x. Helle Skalen aus Chromablagerungen auf ultraflachem, leitendem Silizium. Die Skalengrößen für den MCS-1 sind:
2,5 mm, 1,0 mm, 0,5 mm, 250 µm, 100 µm, 10 µm, 5 µm, 2,5 µm und 1 µm. Der 31-T31000 EM-Tec MCS-1CF ist individuell zertifiziert unter Nutzung eines NIST bemessenen Kalibrierstandard. Unbefestigt oder befestigt auf den gebräuchlichen REM Probentellern erhältlich. Beispiel für ein Wafer Level Verfolgbarkeitszertifikat für den EM-Tec MCS-1CF Vergrößerungsstandard, 2,5 mm bis 1 µm.

(Weitere Bilder)

Vollständige Liste der erhältlichen Probenteller für Kalibrierstandards und Testproben

EM-Tec MCS-1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
31-C31000-U EM-Tec MCS-1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm, nicht montiert
Anz:

Stück €595,00
31-C31000-1 EM-Tec MCS-1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm, auf Ø 12,7 mm Standard Stiftprobentellerb
Anz:

Stück €605,00
31-C31000-2 EM-Tec MCS-1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm, auf Ø 12,7 mm Zeiss Stiftprobenteller
Anz:

Stück €605,00
31-C31000-6 EM-Tec MCS-1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm, auf Ø 12,2 mm JEOL Stub
Anz:

Stück €620,00
31-C31000-8 EM-Tec MCS-1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm, auf Ø 15 mm Hitachi Stub
Anz:

Stück €605,00
31-C31000-10 EM-Tec MCS-1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 1 µm, auf Custom Stub
Anz:

Stück €695,00


    # 31-T32000   EM-Tec MCS-0.1TR zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm

EM-Tec MCS-0.1TR zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm Der EM-Tec MCS-0.1 Kalibrierstandard wurde entwickelt für die genaue Kalibrierung von REM, FE-REM, FIB, Auger SIMS uns Auflichtmikroskope. Einsetzbar bei Vergrößerungen zwischen 10x und 200.000x. Helle Skalierung aus Chrom auf ultraflachem, leitendem Silizium für Kalibrierung bis 2,5 µm und Gold auf Chrom für Skalierung von 1 µm bis 100 nm. Die Metallstreifen auf Silizium erzeugen ein hervorragendes Signal mit hohem Kontrast. Die Skalengrößen für das MCS-0.1 sind:
2,5 mm, 1,0 mm, 0,5 mm, 250 µm, 100 µm, 10 µm, 5 µm, 2,5 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, und 100 nm. Das 31-T32000 EM-Tec MCS-0.1TR ist NIST verfolgbar auf dem Wafer Level gegen einen NIST Kalibrierstandard. Unbefestigt oder befestigt auf den gebräuchlichen REM Probentellern erhältlich. Gute Alternative zum eingestellten SIRA Kalibrierstandard. Beispiel für ein Wafer Level Verfolgbarkeitszertifikat für den EM-Tec MCS-0.1TR, Vergrößerungsstandard, 2,5 mm bis 100 nm.

(Weitere Bilder)

Vollständige Liste der erhältlichen Probenteller für Kalibrierstandards und Testproben

EM-Tec MCS-0.1TR zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
31-T32000-U EM-Tec MCS-0.1TR verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm, nicht montiert
Anz:

Stück €374,50
31-T32000-1 EM-Tec MCS-0.1TR verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm, auf Ø 12,7 mm Standard Stiftprobenteller
Anz:

Stück €384,50
31-T32000-2 EM-Tec MCS-0.1TR verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm, auf Ø 12,7 mm Zeiss Stiftprobenteller
Anz:

Stück €384,50
31-T32000-6 EM-Tec MCS-0.1TR verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm, auf Ø 12,2 mm JEOL Stub
Anz:

Stück €399,50
31-T32000-8 EM-Tec MCS-0.1TR verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm, auf Ø 15 mm Hitachi Stub
Anz:

Stück €384,50
31-T32000-10 EM-Tec MCS-0.1TR verfolgbarer Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm, auf Custom Stub
Anz:

Stück €474,50


    # 31-C32000   EM-Tec MCS-0.1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm

EM-Tec MCS-0.1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm Der EM-Tec MCS-0.1 Kalibrierstandard wurde entwickelt für die genaue Kalibrierung von REM, FE-REM, FIB, Auger SIMS uns Auflichtmikroskope. Einsetzbar bei Vergrößerungen zwischen 10x und 200.000x. Helle Skalierung aus Chrom auf ultraflachem, leitendem Silizium für Kalibrierung bis 2,5 µm und Gold auf Chrom für Skalierung von 1 µm bis 100 nm. Die Metallstreifen auf Silizium erzeugen ein hervorragendes Signal mit hohem Kontrast. Die Skalengrößen für das MCS-0.1 sind: 2,5 mm, 1,0 mm, 0,5 mm, 250 µm, 100 µm, 10 µm, 5 µm, 2,5 µm, 1 µm, 500 nm, 250 nm, und 100 nm. Das 31-T32000 EM-Tec MCS-0.1CF ist individuell zertifiziert unter Nutzung eines NIST Kalibrierstandards. Unbefestigt oder befestigt auf den gebräuchlichen REM Probentellern erhältlich. Sehr gute Alternative zum eingestellten SIRA Kalibrierstandard. Beispiel für ein Wafer Level Verfolgbarkeitszertifikat für den EM-Tec MCS-0.1CF, Vergrößerungsstandard, 2,5 mm bis 100 nm.
Ausgezeichnete Alternative für den eingestellten SIRA-Kalibrierstandard mit einfacher zu verwendenden kompatiblen Größen. Sehe TSB 31-C32000 EM-Tec MCS-0.1CF replacement for SIRA calibration standard. TSB 31-C32000 EM-Tec MCS-0.1CF replacement for SIRA calibration standard

(Weitere Bilder)

Vollständige Liste der erhältlichen Probenteller für Kalibrierstandards und Testproben

EM-Tec MCS-0.1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
31-C32000-U EM-Tec MCS-0.1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm, nicht montiert
Anz:

Stück €875,00
31-C32000-1 EM-Tec MCS-0.1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm, auf Ø 12,7 mm Standard Stiftprobenteller
Anz:

Stück €885,00
31-C32000-2 EM-Tec MCS-0.1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm, auf Ø 12,7 mm Zeiss Stiftprobenteller
Anz:

Stück €885,00
31-C32000-6 EM-Tec MCS-0.1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm, auf Ø 12,2 mm JEOL Stub
Anz:

Stück €900,00
31-C32000-8 EM-Tec MCS-0.1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm, auf Ø 15 mm Hitachi Stub
Anz:

Stück €885,00
31-C32000-10 EM-Tec MCS-0.1CF zertifizierter Kalibrierstandard, 2,5 mm bis 100 nm, auf Custom Stub
Anz:

Stück €975,00

 

 




REM Zubehör

TEM Zubehör

Kalibrierung

Probe Vorbereitung

AFM / SPM

  REM Probenteller
  Kohlenstoffklebepads
  Adapter für Probenteller
  Adapter für Probentische
  REM Probenhalter
  REM Präparationshalter
  EM Kathoden
  Silizium-Such-Substrate
  Gatan 3View Probenteller
  FEI Volumescope Probenteller
  Boxen für Probenteller
  Phenom Zubehör
  JEOL NeoScope Zub.
  Hitachi TM Zubehör
  Probenhalterkits

Instrumente


  Schallschutzboxen
  Kritisch-Punkt-Trockner CPD
  Cressington REM Beschichtung
  HI-Res IR-Kamera
  TEM Sample Prep
  TEM Netzchen
  Trägerfilme
  Siliziumnitrid Trägerfilme
  Graphen Filme
  TEM Probenkontrastierung
  TEM Aufbewahrung
  Kryo Grid Box
  Kathoden
  Kryo Pin für Ultramikrotome
  Kunstwimper-Manipulartorset

FIB Zubehör


  FIB Lift-out Grids
  FIB flache Probenteller
  FIB Grid Probenhalter
  FIB vorgekippte Probenhalter
  FIB Grid Aufbewahrung
  REM / FIB Vergrößerung
  REM Auflösungstandards
  EDS / WDS
  TEM
  AFM / SPM
  LM

Vakuum Zubehör


  Bullseye Vakuummessung
  D215V Vakuummessung
  D801W Vakuummessung
  Schnelltest-Druckmesser
  KF/NW Vakuumbauteile
  Vakuumöle und Fette
  Vakuumprobenaufbewahrung
  Verdampferkörbe
  Quarz Kristalle
  Sputter Targets
  Kohlenstoffstäbe & Fäden
  Quarz Kristalle
  Auflagen & Substrate
  REM Präparationshalter
  Pinzetten
  Nadeln & Sonden
  Holzspatel & Tupfer
  Kryo-Behälter
  OCT Kryo-Einbettungsmittel
  Polymer Transferpipetten
  Schneidwerkzeuge / Scheren
  Leitfähige Kleber
  Leitfähige Kleberbänder & Tabs
  Nicht-leitfähige Kleber
  Edelstahlgitter
  Probenaufbewahrung
  Werkzeuge
  Schneidunterlagen
  Reinigung / Handschuhe
  Diamantpolierpaste
  AFM/SPM Metallscheiben
  AFM/SPM Halter
  AFM/SPM Aufbewahrung
  Cantilever Pinzetten
  AFM/SPM Pinzetten
  Mica Scheiben
  HOPG Substrate


LM


  Korrelative Deckgläschen
  Glas-Objektträger
  Deckgläschen
  Quarz Objektträger
  Quarz-Deckgläschen
  Schwarze Metallobjektträger
  Objektträger Aufbewahrung
  Kalibrierung
  Polymerpipetten
  Reinigungspapier für Linsen
  Petrischalen