EM-Tec Scheibenförmige oder Ringförmige Sputter Targets
für EM Sputter Coaters


Einleitung

   Scheibenförmige Sputter Targets für EM Sputter Coaters
 

Die hochreinen EM-TEC Sputter Targets sind kompatibel mit einer großen Bandbreite von Desktop Sputter Coatern. Sputter Coater legen sehr dünne, leitende Metallschichten auf nichtleitende Proben, um die Proben danach mit einem Rasterelektronenmikroskop (REM) untersuchen zu können. Die EM-TEC Sputter Targets sind kompatibel mit den Systemen folgender Hersteller: Agar, Anatech/Technics, Bal-Tec, Bio-Rad, Cressington, Denton, Edwards, Emitech, EMS, Emscope, Fisons, Gatan, Hitachi, Hummer, ISI, JEOL, Leica, Polaron, Quorum, SPI, Thermo und VG Microtech. Aufgrund der hohen Materialreinheit sind Sputter Targets relativ teuer. Für Artefakt freie Aufnahmen oder präzise EDX-Analyse besitzen die Targets eine Reinheit von 99,99%. Eventuell hat das im Sputter installierte Target nicht die beste Qualität, oder es gibt je nach Anwendung alternative Materialien, die besser geeignet sind. Hier gibt es: Praktische Tipps zur Auswahl von Target-Materialien für REM Probenbeschichtung.

   EM-Tec sputter targets on target holder substrate
for sputter coaters: Emscope/ Bio-Rad /
Thermo VG sputter coater SC500 / SC500A
EM-Tec Sputter Targets auf Targethalter-Scheibe
für sputter coaters: Emscope/ Bio-Rad /
Thermo VG sputter coater SC500 / SC500A 


EM-Tec scheibenförmige Sputter Targets

Die scheibenförmigen EM-Tec Sputter Targets werden aus hochreinen Metallfolien hergestellt. Sie sind erhältlich mit einem Durchmesser von 62, 60, 58, 57, 54, 50, 24 und 19 mm. Scheibenförmige Sputter Targets sind unter allen Sputter Coater Marken weit verbreitet. Die meisten modernen Sputter Coater setzen einen Klemmring ein, um das Sputter Target zu halten. Einige ältere Systeme setzen eine Aufnahmeplatte ein, an die das Target mit Silberpaste oder Iridium festgemacht wird. Nutzen Sie die EM-Tec Tabelle für scheibenförmige Sputter Targets, um die Größe des Targets für Ihren Coater herauszufinden. Sie können das Target natürlich auch ausmessen.


      Ø60mm hochreine Sputter Targets auf Targethalter-Scheibe für Emitech / EMS K500X, K550X
and K650X Sputter Coater
hochreine Sputter Targets
auf Targethalter-Scheibe für

Emitech / EMS K500X, K550X
und K650X Sputter Coater



   EM-Tec ringförmige Sputter Targets für EM Sputter Coaters
EM-Tec ringförmige Sputter Targets

Ringförmige Sputter Targets sind weniger gebräuchlich als scheibenförmige Sputter Targets. Sie kommen beispielweise bei älteren Polaron Sputter Coatern und bei Anatech/Technics Hummer Sputter Coatern zum Einsatz. Bei ringförmigen Targets wird das Target Material auf einem Stützring aus Aluminium ausgeliefert. Als Target Materialien stehen Gold, Gold/Palladium, Platin, Platin/Palladium, Silber, Kupfer und Nickel in zwei unterschiedlichen Größen zur Auswahl.



Target Größe bestimmen

Nutzen Sie die zwei Tabelle EM-Tec Tabelle für scheibenförmige Sputter Targets und EM-Tec Tabelle für ringförmige Sputter Targets um die Größe des Targets für Ihren Coater herauszufinden. Sie können das Target natürlich auch ausmessen.


EM-Tec Tabelle für scheibenförmige Sputter Targets

Gerätehersteller 

Modelle

Ø62mm

Ø60mm

Ø58mm

Ø57mm

Ø54mm

Ø50mm

Ø28mm

Ø24mm

Ø19mm

Agar

Manual / Automatic

 

 

 

X

 

 

 

 

 

Agar

High resolution sputter coater

 

 

 

X

 

 

 

 

 

Anatech/Technics

Hummer I / II / III / Jr

 

 

 

 

 

X

 

 

 

Bal-Tec

SCD 005 / 040 / 050 / 500

 

 

 

 

X

 

 

 

 

Bal-Tec

MED 10 / MED 20

 

 

 

 

 X 

 

 

 

 

Bio-Rad

SC5200 / SC502

 

 

 

X

 

 

 

 

 

Bio-Rad E7400 / LT7400              

 X

 

COXEM SPT-20           X  

 

 

Cressington

108manual / 108auto

 

 

 

X

 

 

 

 

 

Cressington

108auto/SE

 

 

 

X

 

 

 

 

 

Cressington

208HR

 

 

 

X

 

 

 

 

 

Cressington

208HRD

 

 

 

 

 

 

X

 

 

Denton

Desk II / II / IV / V

 

X

 

 

 

 

 

 

 

Edwards

150B / Scancoat

 

X

 

 

 

 

 

 

 

Emitech

SC7620 / SC7610

 

 

 

X

 

 

 

 

 

Emitech -Targethalter-Scheibe

K500X / K550X /  K650X

 

X

 

 

 

 

 

 

 

Emitech

K575X &XD / K675X & XD

 

 

 

 X 

 

 

 

 

 

Emitech

Q150

 

 

 

X

 

 

 

 

 

EMS

150R / 150T / 300R / 300R

 

 

 

X

 

 

 

 

 

EMS

K575X &XD / K675X & XD

 

 

 

X

 

 

 

 

 

EMS

SC7620 / SC7610

 

 

 

X

 

 

 

 

 

EMS -Targethalter-Scheibe

K500X / K550X /  K650X

 

 X

 

 

 

 

 

 

 

Emscope -Targethalter-Scheibe

SC500 / SC500A

 

 

X

 

 

 

 

 

 

Emscope

SC502

 

 

 

X

 

 

 

 

 

Fullam

EffaCoater / EMS-76

 

 

 

 

 

X

 

 

 

Gatan

681 Ion Beam Coater

 

 

 

 

 

 

 

 

X

Gatan

682 PECS Ion Beam Coater

 

 

 

 

 

 

 

 

X

Gatan

685 PECS II Ion Beam Coater

 

 

 

 

 

 

 

 

X

GSEM

G10 / G20

 

 

 

 

 

 

 

Hitachi

MC 1000

X

 

 

 

 

 

 

 

 

HHV

BT150 / BT300

 

 

 

 

 

 

 

HoYeon

HC21

 

 

 

X

 

 

 

 

 

ISI

ISI 5400

 

 

 

X

 

 

 

 

 

JEOL

JFC-1200 / 1300 / 1400 / 1600

 

 

 

X

 

 

 

 

 

JEOL

JFC-2300HR

 

 

 

X

 

 

 

 

 

Leica

EM SCD 005 / 050 / 500

 

 

 

 

X

 

 

 

 

Leica

EM MED 020

 

 

 

 

X

 

 

 

 

Leica

ACE 200 / ACE 600

 

 

 

 

X

 

 

 

 

Pelco

SC4 / SC5 /  SC6  / SC7

 

 

 

X

 

 

 

 

 

Polaron / Bio-Rad

E5000 / E5200 / E5400 / E5800

 

 

 

X

 

 

 

 

 

Polaron / Bio-Rad

PS 3

 

 

 

X

 

 

 

 

 

Polaron / Quorum

SC7620 / SC7610

 

 

 

X

 

 

 

 

 

Quorum

Q150R / Q150T / SC7620 / MiniQS

 

 

 

X

 

 

 

 

 

Quorum

Q300R / Q300T

 

 

 

X

 

 

 

 

 

Quorum PP2000 / PP2000T            

 

X  
Quorum PP3000T / PP3010T            

 

 
Safematic CCU-010         X  

 

   

SEC

MCM-100 / MCM-200

 

 

 

 

 

X

 

 

 

SPI

SPI-Module

 

 

 

X

 

 

 

 

 

SPI

SPI Super

 

 

 

 

 

X

 

 

 

VG Microtech / Fisons / Thermo PP2200 / PP2000T            

 

X  
Note 1: Polaran Geräte sind auch mit den Namen Bio-Rad, Fisons, VG Microtech, Thermo VG, Emscope und Quorum verkauft worden.
Note 2: Stärke der Targets kan zwischen 0.1 bis 3.2 mm liegen


EM-Tec Tabelle für ringförmige Sputter Targets

Gerätenhersteller

Modelle

82mm A.D. X 60mm I.D.

3” A.D. X 2” I.D.

Anatech / Technics

Hummer V / VI / 6.2 / 8

 

X

Polaron / Biorad

E5100 / E5150 / E5175 / SC510 / SC515

X

 

Polaron / Quorum

SC7640 / SC 7680

X

 

Anmerkung: Polaron Coater wurden auch unter den Markennamen Bio-Rad, Fisons, VG Microtech, Thermo VG, Emscope und Quorum verkauft.



Bestellangabe zu scheibenförmige Sputter Targets

*Preisen ohne Umsatzsteuer, aber innerhalb der EU, müssen wir Ihr Ust.-Nummer überprufen.
Ø62 mm hochreine scheibenförmige EM-Tec Sputter Targets für Sputter Coater Hitachi MC 1000 Ø62 mm hochreine scheibenförmige EM-Tec Sputter Targets für Sputter Coater Hitachi MC 1000
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
70-AP6205 Gold/Palladium Sputter Target, Ø 62 x 0,1 mm, Scheibenform, Au/Pd 80/20, 99,99% Au/Pd
Qty:

Stück €1075,00
70-AU6204 Gold Sputter Target, Ø 62 x 0,1 mm, Scheibenform, 99,99% Au
Qty:

Stück €1100,00
70-AU6208 Gold Sputter Target, Ø 62 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Au
Qty:

Stück €1850,00
70-PD6204 Palladium Sputter Target, Ø 62 x 0,1 mm, Scheibenform, 99,99% Pd
Qty:

Stück €965,00
70-PP6204 Platin/Palladium Sputter Target, Ø 62 x 0,1 mm, Scheibenform, 80/20 Pt/Pd 99,99% Pt/Pd
Qty:

Stück €875,00
70-PP6208 Platin/Palladium Sputter Target, Ø 62 x 0,2 mm, Scheibenform, 80/20 Pt/Pd 99,99% Pt/Pd
Qty:

Stück €1425,00
70-PT6204 Platin Sputter Target, Ø 62 x 0,1 mm, Scheibenform, 99,99% Pt
Qty:

Stück €830,00
70-PT6208 Platin Sputter Target, Ø 62 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Pt
Qty:

Stück €1190,00

 

Ø60 mm hochreine EM-Tec sputter targets auf Targethalter für Emitech und EMS Sputter Coater, Type K500X, K550X und K650X Ø60 mm hochreine EM-Tec sputter targets auf Targethalter für Emitech und EMS Sputter Coater, Type K500X, K550X und K650X
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
70-AG6S12 Silber Sputter Target, Ø 60 x 0.3 mm montiert auf Targethalterscheibe, 99.99% Ag
Qty:

Stück €425,00
70-AP6S04 Gold/Palladium Sputter Target, Ø60 x 0.1mm montiert auf Targethalterscheibe, Au/Pd 60/40, 99.99% Au/Pd
Qty:

Stück €1225,00
70-AP6S05 Gold/Palladium Sputter Target, Ø60 x 0.1mm montiert auf Targethalterscheibe, Au/Pd 80/20, 99.99% Au/Pd
Qty:

Stück €1175,00
70-AP6S08 Gold/Palladium Sputter Target, Ø60 x 0.2mm montiert auf Targethalterscheibe, Au/Pd 60/40, 99.99% Au/Pd
Qty:

Stück €1925,00
70-AP6S09 Gold/Palladium Sputter Target, Ø60 x 0.2mm montiert auf Targethalterscheibe, Au/Pd 80/20, 99.99% Au/Pd
Qty:

Stück €1925,00
70-AU6S04 Gold Sputter Target, Ø 60 x 0.1 mm montiert auf Targethalterscheibe, 99.99% Au
Qty:

Stück €1135,00
70-AU6S08 Gold Sputter Target, Ø 60 x 0.2 mm montiert auf Targethalterscheibe, 99.99% Au
Qty:

Stück €1945,00
70-PD6S04 Palladium Sputter Target, Ø 60 x 0.1 mm montiert auf Targethalterscheibe, 99.99% Pd
Qty:

Stück €1085,00
70-PD6S08 Palladium Sputter Target, Ø 60 x 0.2 mm montiert auf Targethalterscheibe, 99.99% Pd
Qty:

Stück €1475,00
70-PP6S04 Platin/Palladium Sputter Target, Ø60 x 0.1mm montiert auf Targethalterscheibe, Pt/Pd 80/20, 99.99% Pt/Pd
Qty:

Stück €1150,00
70-PP6S08 Platin/Palladium Sputter Target, Ø60 x 0.2mm montiert auf Targethalterscheibe, Pt/Pd 80/20, 99.99% Pt/Pd
Qty:

Stück €1425,00
70-PT6S04 Platin Sputter Target, Ø 60 x 0.1 mm montiert auf Targethalterscheibe, 99.99% Pt
Qty:

Stück €1000,00
70-PT6S08 Platin Sputter Target, Ø 60 x 0.2 mm montiert auf Targethalterscheibe, 99.99% Pt
Qty:

Stück €1425,00

 

Ø58 mm hochreine EM-Tec sputter targets auf Targethalter für Emscope SC500 Sputter Coater Ø58 mm hochreine EM-Tec sputter targets auf Targethalter für Emscope SC500 Sputter Coater
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
70-AG5S12 Silber Sputter Target, Ø 58 x 0.3 mm montiert auf Targethalterscheibe, 99.99% Ag
Qty:

Stück €625,00
70-AP5S05 Gold/Palladium Sputter Target, Ø58 x 0.1mm montiert auf Targethalterscheibe, Au/Pd 80/20, 99.99% Au/Pd
Qty:

Stück €1325,00
70-AU5S04 Gold Sputter Target, Ø 58 x 0.1 mm montiert auf Targethalterscheibe, 99.99% Au
Qty:

Stück €1340,00
70-PD5S04 Palladium Sputter Target, Ø 58 x 0.1 mm montiert auf Targethalterscheibe, 99.99% Pd
Qty:

Stück €1375,00
70-PT5S04 Platin Sputter Target, Ø 58 x 0.1 mm montiert auf Targethalterscheibe, 99.99% Pt
Qty:

Stück €1100,00

 

Ø60 mm hochreine scheibenförmige EM-Tec Sputter Targets für Sputter Coater Ø60 mm hochreine scheibenförmige EM-Tec Sputter Targets für Sputter Coater
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
70-AG6010 Silber Sputter Target, Ø 60 x 0,25 mm, Scheibenform, 99,99% Ag
Qty:

Stück €195,00
70-AL6010 Aluminium Sputter Target, Ø 60 x 0,25 mm Scheibenform, 99,999% Al
Qty:

Stück €150,00
70-AP6004 Gold/Palladium Sputter Target, Ø 60 x 0,1 mm, Scheibenform, Au/Pd 60/40, 99,99% Au/Pd
Qty:

Stück €1095,00
70-AP6005 Gold/Palladium Sputter Target, Ø 60 x 0,1 mm, Scheibenform, Au/Pd 80/20, 99,99% Au/Pd
Qty:

Stück €1095,00
70-AP6008 Gold/Palladium Sputter Target, Ø 60 x 0,2 mm, Scheibenform, Au/Pd 60/40, 99,99% Au/Pd
Qty:

Stück €1780,00
70-AP6009 Gold/Palladium Sputter Target, Ø 60 x 0,2 mm, Scheibenform, 80/20 Au/Pd, 99,99% Au/Pd
Qty:

Stück €1780,00
70-AU6004 Gold Sputter Target, Ø 60 x 0,1 mm, Scheibenform, 99,99% Au
Qty:

Stück €1185,00
70-AU6008 Gold Sputter Target, Ø 60 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Au
Qty:

Stück €1925,00
70-AU6103 Gold Sputter Target, Ø 61 x 0,08 mm, Scheibenform mit 4mm Mittelloch, 99,99% Au, für Edwards S150
Qty:

Stück €1075,00
70-CR6020 Chrom Sputter Target, Ø 60 x 0,5 mm, Scheibenform, 99,95% Cr
Qty:

Stück €575,00
70-CU6010 Kupfer Sputter Target, Ø 60 x 0,25 mm, Scheibenform, 99,99% Cu
Qty:

Stück €150,00
70-IR6012 Iridium Sputter Target, Ø 60 x 0,3 mm, Scheibenform, 99,99% Ir
Qty:

Stück €8400,00
70-NI6003 Nickel Sputter Target, Ø 60 x 0,075 mm, Scheibenform, 99,98% Ni
Qty:

Stück €180,00
70-PD6004 Palladium Sputter Target, Ø 60 x 0,1 mm, Scheibenform, 99,99% Pd
Qty:

Stück €875,00
70-PD6008 Palladium Sputter Target, Ø 60 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Pd
Qty:

Stück €1050,00
70-PP6004 Platin/Palladium Sputter Target, Ø 60 x 0,1 mm, Scheibenform, 80/20 Pt/Pd 99,99% Pt/Pd
Qty:

Stück €745,00
70-PP6008 Platin/Palladium Sputter Target, Ø 60 x 0,2 mm, Scheibenform, 80/20 Pt/Pd 99,99% Pt/Pd
Qty:

Stück €1295,00
70-PT6004 Platin Sputter Target, Ø 60 x 0,1 mm, Scheibenform, 99,99% Pt
Qty:

Stück €645,00
70-PT6008 Platin Sputter Target, Ø 60 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Pt
Qty:

Stück €1085,00
70-SN6020 Sinn Sputter Target, Ø 60 x 0,50 mm, Scheibenform, 99,99% Sn
Qty:

Stück €160,00
70-TI6010 Titan Sputter Target, Ø 60 x 0,20 mm, Scheibenform, 99,99% Ti
Qty:

Stück €145,00

 

Ø57 mm hochreine scheibenförmige EM-Tec Sputter Targets für Sputter Coater Ø57 mm hochreine scheibenförmige EM-Tec Sputter Targets für Sputter Coater
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
70-AG5710 Silber Sputter Target, Ø 57 x 0,25 mm, Scheibenform, 99,99% Ag
Qty:

Stück €190,00
70-AL5710 Aluminium Sputter Target, Ø 57 x 0,25 mm Scheibenform, 99,999% Al
Qty:

Stück €150,00
70-AP5704 Gold/Palladium Sputter Target, Ø 57 x 0,1 mm, Scheibenform, 60/40 Au/Pd, 99,99% Au/Pd
Qty:

Stück €852,00
70-AP5705 Gold/Palladium Sputter Target, Ø 57 x 0,1 mm, Scheibenform, 80/20 Au/Pd, 99,99% Au/Pd
Qty:

Stück €852,00
70-AP5708 Gold/Palladium Sputter Target, Ø 57 x 0,2 mm, Scheibenform, 60/40 Au/Pd, 99,99% Au/Pd
Qty:

Stück €1585,00
70-AP5709 Gold/Palladium Sputter Target, Ø 57 x 0,2 mm, Scheibenform, 80/20 Au/Pd, 99,99% Au/Pd
Qty:

Stück €1585,00
70-AU5704 Gold Sputter Target, Ø 57 x 0,1 mm, Scheibenform, 99,99% Au
Qty:

Stück €899,00
70-AU5708 Gold Sputter Target, Ø 57 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Au
Qty:

Stück €1720,00
70-AU5712 Gold Sputter Target, Ø 57 x 0,3 mm, Scheibenform, 99,99% Au
Qty:

Stück €2645,00
70-AU5716 Gold Sputter Target, Ø 57 x 0,4 mm, Scheibenform, 99,99% Au
Qty:

Stück €3185,00
70-CO5704 Kobalt Sputter Target, Ø 57 x 0,1 mm, Scheibenform, 99,99% Co
Qty:

Stück €175,00
70-CO5720 Kobalt Sputter Target, Ø 57 x 0,5 mm, Scheibenform, 99,99% Co
Qty:

Stück €516,00
70-CR5720 Chrom Sputter Target, Ø 57 x 0,5 mm, Scheibenform, 99,95% Cr
Qty:

Stück €495,00
70-CR5799 Chrom Sputter Target, Ø 57 x 3,2 mm, Scheibenform, 99,99% Cr
Qty:

Stück €590,00
70-CU5710 Kupfer Sputter Target, Ø 57 x 0,25 mm, Scheibenform, 99,99% Cu
Qty:

Stück €150,00
70-FE5704 Eisen Sputter Target, Ø 57 x 0,1 mm, Scheibenform, 99,5% Fe
Qty:

Stück €175,00
70-IN5720 Indium Sputter Target, Ø 57 x 0,5 mm, Scheibenform, 99,99% In
Qty:

Stück €250,00
70-IR5704 Iridium Sputter Target, Ø 57 x 0,1 mm, Scheibenform, 99,99% Ir
Qty:

Stück €3625,00
70-IR5712 Iridium Sputter Target, Ø 57 x 0,3 mm, Scheibenform, 99,99% Ir
Qty:

Stück €8335,00
70-IT7099 ITO (Indium Tin Oxide) Sputter Target, Ø 57 x 3,0 mm, Scheibenform, inkl. 1 mm Kupferscheibe, 90/10 Wt% In2O3/SnO2, 99,99%
Qty:

Stück €1125,00
70-MG5704 Magnesium Sputter Target, Ø 57 x 0,10 mm, Scheibenform, 99,99% Mg
Qty:

Stück €75,00
70-MO5710 Molybdän Sputter Target, Ø 57 x 0,25 mm, Scheibenform, 99,95% Mo
Qty:

Stück €245,70
70-NB5710 Niobium Sputter Target, Ø 57 x 0,20 mm, Scheibenform, 99,98% Nb
Qty:

Stück €205,00
70-NI5703 Nickel Sputter Target, Ø 57 x 0,075 mm, Scheibenform, 99,98% Ni
Qty:

Stück €175,00
70-PB5708 Blei Target, Ø57 x 0.20mm Disc, 99.99% Pb
Qty:

Stück €95,00
70-PD5704 Palladium Sputter Target, Ø 57 x 0,1 mm, Scheibenform, 99,99% Pd
Qty:

Stück €655,00
70-PD5708 Palladium Sputter Target, Ø 57 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Pd
Qty:

Stück €1020,00
70-PP5704 Platin/Palladium Sputter Target, Ø 57 x 0,1 mm, Scheibenform, 80/20 Pt/Pd 99,99% Pt/Pd
Qty:

Stück €595,00
70-PP5708 Platin/Palladium Sputter Target, Ø 57 x 0,2 mm, Scheibenform, 80/20 Pt/Pd 99,99% Pt/Pd
Qty:

Stück €1075,00
70-PT5704 Platin Sputter Target, Ø 57 x 0,1 mm, Scheibenform, 99,99% Pt
Qty:

Stück €600,00
70-PT5708 Platin Sputter Target, Ø 57 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Pt
Qty:

Stück €978,00
70-SN5708 Sinn Sputter Target, Ø 57 x 0,20 mm, Scheibenform, 99,99% Sn
Qty:

Stück €80,00
70-SN5720 Sinn Sputter Target, Ø 57 x 0,50 mm, Scheibenform, 99,99% Sn
Qty:

Stück €150,00
70-TA5710 Tantalum Sputter Target, Ø 57 x 0,20 mm, Scheibenform, 99,95% Ta
Qty:

Stück €365,40
70-TI5710 Titan Sputter Target, Ø 57 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Ti
Qty:

Stück €140,00
70-VA5708 Vanadium Sputter Target, Ø 57 x 0,20 mm, Scheibenform, 99,99% V
Qty:

Stück €199,00
70-WO5710 Wolfram Sputter Target, Ø 57 x 0,25 mm, Scheibenform, 99,95% W
Qty:

Stück €308,70
70-ZN5708 Zink Sputter Target, Ø 57 x 0,20 mm, Scheibenform, 99,99% Zn
Qty:

Stück €95,00
70-ZN5720 Zink Sputter Target, Ø 57 x 0,5 mm, Scheibenform, 99,5% Zn
Qty:

Stück €55,00
70-ZR5708 Zirkon Z702 Sputter Target, Ø 57 x 0,20 mm, Scheibenform, 99,2% Zr (+Hf)
Qty:

Stück €365,00

 

Ø54 mm hochreine scheibenförmige EM-Tec Sputter Targets für Sputter Coater Ø54 mm hochreine scheibenförmige EM-Tec Sputter Targets für Sputter Coater
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
70-AG5410 Silber Sputter Target, Ø 54 x 0,25 mm, Scheibenform, 99,99% Ag
Qty:

Stück €190,00
70-AL5410 Aluminium Sputter Target, Ø 54 x 0,25 mm Scheibenform, 99,999% Al
Qty:

Stück €150,00
70-AP5404 Gold/Palladium Sputter Target, Ø 54 x 0,1 mm, Scheibenform, 60/40 Au/Pd, 99,99% Au/Pd
Qty:

Stück €842,00
70-AP5405 Gold/Palladium Sputter Target, Ø 54 x 0,1 mm, Scheibenform, 80/20 Au/Pd, 99,99% Au/Pd
Qty:

Stück €842,00
70-AP5408 Gold/Palladium Sputter Target, Ø 54 x 0,2 mm, Scheibenform, 60/40 Au/Pd, 99,99% Au/Pd
Qty:

Stück €1565,00
70-AP5409 Gold/Palladium Sputter Target, Ø 54 x 0,2 mm, Scheibenform, 80/20 Au/Pd, 99,99% Au/Pd
Qty:

Stück €1585,00
70-AU5404 Gold Sputter Target, Ø 54 x 0,1 mm, Scheibenform, 99,99% Au
Qty:

Stück €889,00
70-AU5408 Gold Sputter Target, Ø 54 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Au
Qty:

Stück €1699,00
70-AU5412 Gold Sputter Target, Ø54 x 0.3mm Disc, 99.99% Au
Qty:

Stück €2395,00
70-AU5416 Gold Sputter Target, Ø54 x 0.4mm Disc, 99.99% Au
Qty:

Stück €3055,00
70-CO5404 Kobalt Sputter Target, Ø 54 x 0,1 mm, Scheibenform, 99,99% Co
Qty:

Stück €175,00
70-CO5420 Kobalt Sputter Target, Ø 54 x 0,5 mm, Scheibenform, 99,99% Co
Qty:

Stück €488,00
70-CR5420 Chrom Sputter Target, Ø 54 x 0,5 mm, Scheibenform, 99,95% Cr
Qty:

Stück €495,00
70-CU5410 Kupfer Sputter Target, Ø 54 x 0,25 mm, Scheibenform, 99,99% Cu
Qty:

Stück €150,00
70-FE5404 Eisen Sputter Target, Ø 54 x 0,1 mm, Scheibenform, 99,5% Fe
Qty:

Stück €175,00
70-IN5420 Indium Sputter Target, Ø 54 x 0,5 mm, Scheibenform, 99,99% In
Qty:

Stück €250,00
70-IR5404 Iridium Sputter Target, Ø 54 x 0,1 mm, Scheibenform, 99,99% Ir
Qty:

Stück €3635,00
70-IR5412 Iridium Sputter Target, Ø 54 x 0,3 mm, Scheibenform, 99,99% Ir
Qty:

Stück €7985,00
70-IT5499 ITO (Indium Tin Oxide) Sputter Target, Ø 54 x 3,0 mm, Scheibenform, inkl. 1 mm Kupferscheibe, 90/10 Wt% In2O3/SnO2, 99,99%
Qty:

Stück €1125,00
70-MG5404 Magnesium Sputter Target, Ø 54 x 0,10 mm, Scheibenform, 99,99% Mg
Qty:

Stück €75,00
70-MO5410 Molybdän Sputter Target, Ø 54 x 0,20 mm, Scheibenform, 99,95% Mo
Qty:

Stück €234,00
70-NB5410 Niobium Sputter Target, Ø 54 x 0,20 mm, Scheibenform, 99,98% Nb
Qty:

Stück €205,00
70-NI5403 Nickel Sputter Target, Ø 54 x 0,075 mm, Scheibenform, 99,98% Ni
Qty:

Stück €175,00
70-PB5408 Blei Target, Ø 54 x 0,20 mm, Scheibenform, 99,99% Pb
Qty:

Stück €95,00
70-PD5404 Palladium Sputter Target, Ø 54 x 0,1 mm, Scheibenform, 99,99% Pd
Qty:

Stück €645,00
70-PD5408 Palladium Sputter Target, Ø 54 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Pd
Qty:

Stück €1010,00
70-PP5404 Platin/Palladium Sputter Target, Ø 54 x 0,1 mm, Scheibenform, 80/20 Pt/Pd 99,99% Pt/Pd
Qty:

Stück €590,00
70-PP5408 Platin/Palladium Sputter Target, Ø 54 x 0,2 mm, Scheibenform, 80/20 Pt/Pd 99,99% Pt/Pd
Qty:

Stück €1065,00
70-PT5404 Platin Sputter Target, Ø 54 x 0,1 mm, Scheibenform, 99,99% Pt
Qty:

Stück €590,00
70-PT5408 Platin Sputter Target, Ø 54 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Pt
Qty:

Stück €940,00
70-SN5408 Sinn Sputter Target, Ø 54 x 0,20 mm, Scheibenform, 99,99% Sn
Qty:

Stück €80,00
70-SN5420 Sinn Sputter Target, Ø 54 x 0,50 mm, Scheibenform, 99,99% Sn
Qty:

Stück €150,00
70-TA5410 Tantalum Sputter Target, Ø 54 x 0,20 mm, Scheibenform, 99,95% Ta
Qty:

Stück €365,40
70-TI5410 Titan Sputter Target, Ø 54 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Ti
Qty:

Stück €140,00
70-VA5408 Vanadium Sputter Target, Ø 54 x 0,20 mm, Scheibenform, 99,99% V
Qty:

Stück €199,00
70-WO5410 Wolfram Sputter Target, Ø 54 x 0,25 mm, Scheibenform, 99,95% W
Qty:

Stück €245,00
70-ZN5408 Zink Sputter Target, Ø 54 x 0,20 mm, Scheibenform, 99,99% Zn
Qty:

Stück €95,00
70-ZN5420 Zink Sputter Target, Ø 54 x 0,5 mm, Scheibenform, 99,5% Zn
Qty:

Stück €55,00
70-ZR5408 Zirkon Z702 Sputter Target, Ø 54 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,2% Zr (+Hf)
Qty:

Stück €345,00

 

Ø50 mm hochreine scheibenförmige EM-Tec Sputter Targets für Sputter Coaters Ø50 mm hochreine scheibenförmige EM-Tec Sputter Targets für Sputter Coaters
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
70-AG5010 Silber Sputter Target, Ø 50 x 0,25 mm, Scheibenform, 99,99% Ag
Qty:

Stück €188,00
70-AL5010 Aluminium Sputter Target, Ø 50 x 0,25 mm Scheibenform, 99,999% Al
Qty:

Stück €150,00
70-AP5004 Gold/Palladium Sputter Target, Ø 50 x 0,1 mm, Scheibenform, 60/40 Au/Pd, 99,99% Au/Pd
Qty:

Stück €832,00
70-AP5005 Gold/Palladium Sputter Target, Ø 50 x 0,1 mm, Scheibenform, 80/20 Au/Pd, 99,99% Au/Pd
Qty:

Stück €832,00
70-AP5008 Gold/Palladium Sputter Target, Ø 50 x 0,2 mm, Scheibenform, 60/40 Au/Pd, 99,99% Au/Pd
Qty:

Stück €1545,00
70-AP5009 Gold/Palladium Sputter Target, Ø 50 x 0,2 mm, Scheibenform, 80/20 Au/Pd, 99,99% Au/Pd
Qty:

Stück €1565,00
70-AU5004 Gold Sputter Target, Ø 50 x 0,1 mm, Scheibenform, 99,99% Au
Qty:

Stück €879,00
70-AU5008 Gold Sputter Target, Ø 50 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Au
Qty:

Stück €1669,00
70-CO5020 Kobalt Sputter Target, Ø 50 x 0,5 mm, Scheibenform, 99,99% Co
Qty:

Stück €516,00
70-CU5010 Kupfer Sputter Target, Ø 50 x 0,25 mm, Scheibenform, 99,99% Cu
Qty:

Stück €150,00
70-FE5020 Eisen Sputter Target, Ø 50 x 0,5 mm, Scheibenform, 99,5% Fe
Qty:

Stück €300,00
70-NI5003 Nickel Sputter Target, Ø 50 x 0,075 mm, Scheibenform, 99,98% Ni
Qty:

Stück €175,00
70-PD5004 Palladium Sputter Target, Ø 50 x 0,1 mm, Scheibenform, 99,99% Pd
Qty:

Stück €635,00
70-PP5004 Platin/Palladium Sputter Target, Ø 50 x 0,1 mm, Scheibenform, 80/20 Pt/Pd 99,99% Pt/Pd
Qty:

Stück €585,00
70-PP5008 Platin/Palladium Sputter Target, Ø 50 x 0,2 mm, Scheibenform, 80/20 Pt/Pd 99,99% Pt/Pd
Qty:

Stück €1055,00
70-PT5004 Platin Sputter Target, Ø 50 x 0,1 mm, Scheibenform, 99,99% Pt
Qty:

Stück €580,00
70-PT5008 Platin Sputter Target, Ø 50 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Pt
Qty:

Stück €915,00
70-TI5010 Titan Sputter Target, Ø 50 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Ti
Qty:

Stück €140,00

 

Ø28 mm hochreine scheibenförmige EM-Tec Sputter Targets für Cressington 208 HRD Sputter Coater Ø28 mm hochreine scheibenförmige EM-Tec Sputter Targets für Cressington 208 HRD Sputter Coater
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
70-AG2810 Silber Sputter Target, Ø 28 x 0,25 mm, Scheibenform, 99,99% Ag
Qty:

Stück €120,00
70-AP2808 Gold/Palladium Sputter Target, Ø 28 x 0,2 mm, Scheibenform, 60/40 Au/Pd, 99,99% Au/Pd
Qty:

Stück €595,00
70-AP2809 Gold/Palladium Sputter Target, Ø 28 x 0,2 mm, Scheibenform, 80/20 Au/Pd, 99,99% Au/Pd
Qty:

Stück €595,00
70-AP2816 Gold/Palladium Sputter Target, Ø 28 x 0,4 mm, Scheibenform, 60/40 Au/Pd, 99,99% Au/Pd
Qty:

Stück €995,00
70-AP2817 Gold/Palladium Sputter Target, Ø 28 x 0,4 mm, Scheibenform, 80/20 Au/Pd, 99,99% Au/Pd
Qty:

Stück €995,00
70-AU2808 Gold Sputter Target, Ø 28 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Au
Qty:

Stück €595,00
70-AU2816 Gold Sputter Target, Ø 28 x 0,4 mm, Scheibenform, 99,99% Au
Qty:

Stück €990,00
70-CR2820 Chrom Sputter Target, Ø 28 x 0,5 mm, Scheibenform, 99,95% Cr
Qty:

Stück €395,00
70-CU2810 Kupfer Sputter Target, Ø 28 x 0,25 mm, Scheibenform, 99,99% Cu
Qty:

Stück €95,00
70-FE2804 Eisen Sputter Target, Ø 28 x 0,1 mm, Scheibenform, 99,5% Fe
Qty:

Stück €95,00
70-IN2820 Indium Sputter Target, Ø 28 x 0,5 mm, Scheibenform, 99,99% In
Qty:

Stück €130,00
70-IR2812 Iridium Sputter Target, Ø 28 x 0,3 mm, Scheibenform, 99,99% Ir
Qty:

Stück €2975,00
70-IT2899 ITO (Indium Tin Oxide) Sputter Target, Ø 28 x 3,2 mm, Scheibenform, inkl. 1,2 mm Kupferscheibe, 90/10 Wt% In2O3/SnO2, 99,99%
Qty:

Stück €990,00
70-MG2808 Magnesium Sputter Target, Ø 28 x 0,20 mm, Scheibenform, 99,99% Mg
Qty:

Stück €75,00
70-MO2820 Molybdän Sputter Target, Ø 28 x 0,5 mm, Scheibenform, 99,95% Mo
Qty:

Stück €245,00
70-NB2820 Niobium Sputter Target, Ø 28 x 0,5 mm, Scheibenform, 99,98% Nb
Qty:

Stück €245,00
70-NI2803 Nickel Sputter Target, Ø 28 x 0,075 mm, Scheibenform, 99,98% Ni
Qty:

Stück €95,00
70-PD2808 Palladium Sputter Target, Ø 28 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Pd
Qty:

Stück €525,00
70-PD2816 Palladium Sputter Target, Ø 28 x 0,4 mm, Scheibenform, 99,99% Pd
Qty:

Stück €624,00
70-PP2808 Platin/Palladium Sputter Target, 80/20 wt% Pt/Pd, Ø 28 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Pt/Pd
Qty:

Stück €595,00
70-PP2816 Platin/Palladium Sputter Target, 80/20 wt% Pt/Pd, Ø 28 x 0,4 mm, Scheibenform, 99,99% Pt/Pd
Qty:

Stück €995,00
70-PT2808 Platin Sputter Target, Ø 28 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Pt
Qty:

Stück €515,00
70-PT2816 Platin Sputter Target, Ø 28 x 0,4 mm, Scheibenform, 99,99% Pt
Qty:

Stück €890,00
70-SN2820 Sinn Sputter Target, Ø 28 x 0,50 mm, Scheibenform, 99,99% Sn
Qty:

Stück €100,00
70-TA2820 Tantalum Sputter Target, Ø 28 x 0,5 mm, Scheibenform, 99,99% Ta
Qty:

Stück €295,00
70-TI2810 Titan Sputter Target, Ø 28 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Ti
Qty:

Stück €95,00
70-WO2820 Wolfram Sputter Target, Ø 28 x 0,5 mm, Scheibenform, 99,95% W
Qty:

Stück €245,00
70-ZN2820 Zink Sputter Target, Ø 28 x 0,5 mm, Scheibenform, 99,5% Zn
Qty:

Stück €55,00

 

Ø24 mm hochreine scheibenförmige EM-Tec Sputter Targets für Kryo-REM Präparationssysteme Ø24 mm hochreine scheibenförmige EM-Tec Sputter Targets für Kryo-REM Präparationssysteme
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
70-AP2409 Gold/Palladium Sputter Target, Ø 24 x 0,2 mm, Scheibenform, 80/20 Au/Pd, 99,99% Au/Pd
Qty:

Stück €550,00
70-AU2408 Gold Sputter Target, Ø 24 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Au
Qty:

Stück €550,00
70-CR2412 Chrom Sputter Target, Ø 24 x 0,3 mm, Scheibenform, 99,95% Cr
Qty:

Stück €325,00
70-IR2412 Iridium Sputter Target, Ø 24 x 0,3 mm, Scheibenform, 99,99% Ir
Qty:

Stück €2035,00
70-PT2408 Platin Sputter Target, Ø 24 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Pt
Qty:

Stück €415,00
70-WO2412 Wolfram Sputter Target, Ø 24 x 0,3 mm, Scheibenform, 99,95% W
Qty:

Stück €245,00

 

Ø19 mm hochreine scheibenförmige EM-Tec Sputter Targets für Gatan Ionenstrahl Sputter Coater Ø19 mm hochreine scheibenförmige EM-Tec Sputter Targets für Gatan Ionenstrahl Sputter Coater
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
70-AG1960 Silber Sputter Target, Ø 19 x 1,5 mm, Scheibenform, 99,99% Ag
Qty:

Stück €325,00
70-AL1960 Aluminium Sputter Target, Ø 19 x 1,5 mm Scheibenform, 99,999% Al
Qty:

Stück €190,00
70-AP1960 Gold/Palladium Sputter Target, Ø 19 x 1,5 mm, Scheibenform, Au/Pd 60/40, 99,99% Au/Pd
Qty:

Stück €1225,00
70-AP1965 Gold/Palladium Sputter Target, Ø 19 x 1,5 mm, Scheibenform, Au/Pd 80/20, 99,99% Au/Pd
Qty:

Stück €1210,00
70-AU1960 Gold Sputter Target, Ø 19 x 1,5 mm, Scheibenform, 99,99% Au
Qty:

Stück €1295,00
70-CC1960 Kohle (Graphit) Sputter Target, Ø 19 x 1,5 mm, Scheibenform, 99,99% C
Qty:

Stück €198,00
70-CR1960 Chrom Sputter Target, Ø 19 x 1,5 mm, Scheibenform, 99,95% Cr
Qty:

Stück €255,00
70-CU1960 Kupfer Sputter Target, Ø 19 x 1,5 mm, Scheibenform, 99,99% Cu
Qty:

Stück €200,00
70-IR1960 Iridium Sputter Target, Ø 19 x 1,5 mm, Scheibenform, 99,99% Ir
Qty:

Stück €6490,00
70-NB1960 Niobium Sputter Target, Ø 19 x 1,5 mm, Scheibenform, 99,95% W
Qty:

Stück €409,50
70-NI1960 Nickel Sputter Target, Ø 19 x 1,5 mm, Scheibenform, 99,98% Ni
Qty:

Stück €225,00
70-PD1960 Palladium Sputter Target, Ø 19 x 1,5 mm, Scheibenform, 99,99% Pd
Qty:

Stück €1345,00
70-PP1960 Platin/Palladium Sputter Target, Ø 19 x 1,5 mm, Scheibenform, Pt/Pd 80/20, 99,99% Pt/Pd
Qty:

Stück €1100,00
70-PT1960 Platin Sputter Target, Ø 19 x 1,5 mm, Scheibenform, 99,99% Pt
Qty:

Stück €1085,00
70-TA1960 Tantal Sputter Target, Ø 19 x 1,5 mm, Scheibenform, 99,95% Ta
Qty:

Stück €285,00
70-WO1960 Wolfram Sputter Target, Ø 19 x 1,5 mm, Scheibenform, 99,95% W
Qty:

Stück €235,00

 

Bestellangabe zu EM-Tec ringförmige Sputter Targets

*Preisen ohne Umsatzsteuer, aber innerhalb der EU, müssen wir Ihr Ust.-Nummer überprufen.
Ø82mm AD x  Ø60mm ID ringförmige hochreine EM-Tec Sputter Targets auf Tragring für Sputter Coater: Polaron / Quorum E5100 / E5150 / E5175 / SC510 / SC515 / SC7640 / SC7680 Ø82mm AD x Ø60mm ID ringförmige hochreine EM-Tec Sputter Targets auf Tragring für Sputter Coater: Polaron / Quorum E5100 / E5150 / E5175 / SC510 / SC515 / SC7640 / SC7680
Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage
70-AG8212 Siber Sputter Target, Ø 82 x 0,3 mm (Ø 60 ID), ringförmig, auf Tragring, 99,99% Ag
Qty:

Stück €690,00
70-AP8204 Gold/Palladium Sputter Target, Ø 82 x 0,1 mm (Ø 60 ID), ringförmig, auf Tragring, Au/Pd 60/40, 99,99% Au/Pd
Qty:

Stück €1545,00
70-AP8205 Gold/Palladium Sputter Target, Ø 82 x 0,1 mm (Ø 60 ID), ringförmig, auf Tragring, Au/Pd 80/20, 99,99% Au/Pd
Qty:

Stück €1555,00
70-AP8208 Gold/Palladium Sputter Target, Ø 82 x 0,2 mm (Ø 60 ID), ringförmig, auf Tragring, Au/Pd 60/40, 99,99% Au/Pd
Qty:

Stück €1895,00
70-AP8209 Gold/Palladium Sputter Target, Ø 82 x 0,2 mm (Ø 60 ID), ringförmig, auf Tragring, Au/Pd 80/20, 99,99% Au/Pd
Qty:

Stück €1995,00
70-AU8204 Gold Sputter Target, Ø 82 x 0,1 mm (Ø 60 ID), ringförmig, auf Tragring, 99,99% Au
Qty:

Stück €1575,00
70-AU8208 Gold Sputter Target, Ø 82 x 0,2 mm (Ø 60 ID), ringförmig, auf Tragring, 99,99% Au
Qty:

Stück €2125,00
70-AU8216 Gold Sputter Target, Ø 82 x 0,4 mm (Ø 60 ID), ringförmig, auf Tragring, 99,99% Au
Qty:

Stück €4087,00
70-CU8212 Kupfer Sputter Target, Ø 82 x 0,3 mm (Ø 60 ID), ringförmig, auf Tragring, 99,99% Cu
Qty:

Stück €690,00
70-PD8204 Palladium Sputter Target, Ø 82 x 0,1 mm (Ø 60 ID), ringförmig, auf Tragring, 99,99% Pd
Qty:

Stück €1650,00
70-PD8208 Palladium Sputter Target, Ø 82 x 0,2 mm (Ø 60 ID), ringförmig, auf Tragring, 99,99% Pd
Qty:

Stück €2375,00
70-PP8204 Platinum/Palladium Sputter Target, Ø 82 x 0,1 mm (Ø 60 ID), ringförmig, auf Tragring, Pt/Pd 80/20 wt%, 99,99% Pt/Pd
Qty:

Stück €1100,00
70-PT8204 Platin Sputter Target, Ø 82 x 0,1 mm (Ø 60 ID), ringförmig, auf Tragring, 99,99% Pt
Qty:

Stück €1250,00
70-PT8208 Platin Sputter Target, Ø 82 x 0,2 mm (Ø 60 ID), ringförmig, auf Tragring, 99,99% Pt
Qty:

Stück €1850,00

 

Ø3 Zoll AD x Ø2 Zoll ID hochreine EM-Tec Ringförmige Targets für Sputter Coater: Anatech/Technis Hummer V / VI / 6.2 / 8 Ø3 Zoll AD x Ø2 Zoll ID hochreine EM-Tec Ringförmige Targets für Sputter Coater: Anatech/Technis Hummer V / VI / 6.2 / 8
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70-AG7612 Silber Sputter Target, Ø 3 Zoll x 0,3 mm (Ø 2 Zoll ID), ringförmig, auf Tragring, 99,99% Ag
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Stück €750,00
70-AP7604 Gold/Palladium Sputter Target, Ø 3 Zoll x 0,1 mm (Ø 2 Zoll ID), ringförmig, auf Tragring, Au/Pd 60/40, 99,99% Au/Pd
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Stück €1250,00
70-AU7604 Gold Sputter Target, Ø 3 Zoll x 0,1 mm (Ø 2 Zoll ID), ringförmig, auf Tragring, 99,99%. Au
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Stück €1250,00
70-CU7612 Kupfer Sputter Target, Ø 3 Zoll x 0,3 mm (Ø 2 Zoll ID), ringförmig, auf Tragring, 99,99% Cu
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Stück €600,00
70-PD7604 Palladium Sputter Target, Ø 3 Zoll x 0,1 mm (Ø 2 Zoll ID), ringförmig, auf Tragring, 99,99% Pd
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Stück €1490,00
70-PT7604 Platin Sputter Target, Ø 3 Zoll x 0,1 mm (Ø 2 Zoll ID), ringförmig, auf Tragring, 99,99% Pt
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Stück €1090,00

 


Praktische Tipps zur Auswahl von Target-Materialien für REM Probenbeschichtung

Die Auswahl des optimalen Beschichtungsmaterials hängt vom Material der (nichtleitenden) Probe, der Anwendung und den Kosten ab. Die meisten Sputter Coater für die REM-Anwendungen erlauben einen recht einfachen Target-Wechsel. Setzt man andere Beschichtungsmaterialien als Gold ein, ist der Einsatz von Argon Gas meist unumgänglich. Man sollte sich bewusst sein, dass sich jedes Material beim Sputtern anders verhält. Die Beschichtungsqualität ist stark abhängig vom Material des Targets, sowie von der Interaktion dieses Materials mit dem Material der zu beschichtenden Probe. Beschichtet man eine nicht leitfähige REM Probe mit einem hoch leitfähigen Metall, wird die REM Probe leitfähig. Ein weiterer Vorteil ist, dass die meisten Beschichtungsmaterialien eine höhere Ausbeute an Sekundärelektronen (SE) als nichtleitendes Material haben. Beschichtungsmaterialien mit einer niedrigeren Ordnungszahl sind besser geeignet für Aufnahmen und Untersuchungen mit Hilfe von Rückstreuelektronen (BSE). Beschichtungsmaterialien mit einer hohen Ordnungszahl sind besser geeignet für Aufnahmen und Untersuchungen mit Hilfe von Sekundärelektronen (SE). Unten finden Sie einige praktische Tipps und Informationen zur Auswahl des richtigen Target Materials. Diese Informationen gelten nur, wenn ein moderner DC Magnetron Sputter Coater zusammen mit Argon-Prozessgas zum Einsatz kommt. Für EDX-Analysen ist es wichtig, dass ein Target Material zu Einsatz kommt, das nicht in der Probe enthalten ist. Anderenfalls sind überlappungen von Peaks (Spitzen) im EDX-Spektrum oder Wechselwirkungen bei der EDX-Analyse die Folge.


Gold

Für Standardanwendungen im REM ist Gold das beste und meistgenutzte Beschichtungsmaterial bei nichtleitenden Proben. Durch die niedrige Austrittsenergie ist Gold (Au) sehr effizient. Beim Einsatz in Cool Sputter Coatern und bei sehr dünnen Schichten heizt sich die Probenoberfläche kaum auf. Bei modernen REM mit hoher Vergrößerung ist die Korngröße sichtbar. Gold kann auch bei Tabletop-REM mit Luft als Prozessgas .


Gold/Palladium

Eine Legierung aus 60/40 Gold/Palladium (Au/Pd) ist bei der Beschichtung weniger effektiv als eine Beschichtung aus reinem Gold. Daraus resultieren höhere Sputter Raten. Au/Pd wird oft zur Erreichung geringerer Korngrößen empfohlen. Au/Pd erzielt geringere Korngrößen, wenn es unter Hochvakuum verdampft wird. In den meisten Sputter Coatern für REM-Anwendungen ist der Unterschied zwischen Au und Au/Pd jedoch kaum erkennbar. Gold/Palladium ist weniger für hitzeempfindliche Proben und auch nicht zur EDX-Analyse zu empfehlen, da durch das Palladium ein zweiter Peak entsteht.


Silber

Für viele Applikationen bei niedriger bis mittlerer Vergrößerung ist Silber (Ag) eine sehr gut geeignete und preiswerte Alternative zu Gold (Au). Silber ist ein oft unterschätztes Material zur Probenbeschichtung. Ag hat die höchste Leitfähigkeit aller Metalle. Sollen bei biologischen Proben P, Cl und S einer EDX-Analyse unterzogen werden, ist Ag eine Alternative zu Au. Die Sputter Rate ist vergleichbar mit der bei Au, die SE-Ausbeute etwas geringer als bei Pt, Au oder Ir. Die Korngröße ist vergleichbar oder etwas größer als bei Au. Ausnahmen sind Proben die Halogene enthalten, was zu einer groben Körnung führt. Sind Halogene vorhanden, kann das Silber anlaufen, was Silberbeschichtungen weniger geeignet für längere Lagerungen macht. Ag ist jedoch ein hervorragendes Beschichtungsmaterial für viele, weniger anspruchsvolle Applikationen und für den Einsatz in Tabletop-REM. Weiterer Vorteil ist, dass die Silberschicht entfernt und die Probe unter Originalbedingungen studiert werden kann. Die Entfernung von Au, Au/Pd, Pt und Ir Beschichtungen ist hingegen weit schwieriger und verlangt aggressive Chemikalien. Die Silberschicht kann mit Farmerschem Abschwächer (Mischung aus rotem Blutlaugensalz und Natriumthiosulfat) entfernt werden.


Platin

Platin (Pt) hat eine feinere Körnung als Au oder Au/P und ist daher sehr gut geeignet bei höheren Vergrößerungen. Hervorragende SE-Ausbeute. Die höhere Austrittsenergie bedingt langsameres Beschichten als mit Au. Pt ist anfällig für die Bildung von Spannungsrissen, wenn es mit Sauerstoff in Berührung kommt (kann aus porösen Proben austreten). Durch die Herstellungskosten sind Platin Targets teurer als Gold Targets.


Platin/Palladium

Eine Legierung aus 80/20 Platin/Palladium (Pt/Pd) hat eine ähnliche Korngröße und SE-Ausbeute wie reines Platin (Pt). Pt/Pd neigt jedoch weniger zu Bildung von Spannungsrissen. Man kann es als Allroundmaterial bei FE-REM Anwendungen nutzen, solange dünn beschichtet wird. Die besten Ergebnisse werden in hochauflösenden (HR) Sputter Coatern erzielt.


Iridium

Auf so gut wie allen Materialien erhält man mit Iridium (Ir) eine sehr feine Körnung, wodurch Ir ein hervorragendes Allroundmaterial bei FE-REM Anwendungen ist. Es ist die erste Wahl bei High und Ultra-High Resolution FE-REM. Mit dem zusätzlichen Vorteil ein nicht oxidierendes Material mit hoher SE-Ausbeute zu sein, ist es besser als Chrom für hochauflösende Probenbeschichtung. Für den Einsatz von Iridium wird ein hochauflösender (HR) Sputter Coatern und eine geringe Sputter Rate benötigt. Herstellungsbedingt sind Iridium Targets dicker als herkömmliche Targets. Sie sind jedoch insgesamt gesehen preiswerter als Pt oder Pt/Pd Targets. Ir ist zudem bestens geeignet, wenn eine Probe die EDX- oder WDX-Analyse auf Kohlenstoff untersucht werden soll. Zur Erzielung sehr guter Leitfähigkeit reicht eine feine Schicht. Da Iridium ein sehr seltenes Metall ist, beeinflusst es kaum die EDX- oder WDX-Analyse..


Chrom

Chrom (Cr) hat eine sehr feine Körnung, besonders auf Halbleitern, und hat sich als sehr gutes Beschichtungsmaterial bei RE-REM Anwendungen erwiesen. Chrom Targets benötigen einen hochauflösenden (HR) SputterCoater mit Turbopumpe, Hochvakuum und Target-Blende, da die Anwesenheit von Sauerstoff (wie in Standard Sputter Coatern) Oxidation während des Beschichtungsvorgangs hervorruft. Da die Chromschicht auf der Probenoberfläche an der Luft oxidiert, sollten Proben sofort nach der Beschichtung untersucht werden. Proben können im Vakuum oder in Inertgas aufbewahrt werden. Cr hat niedrigere Sputter Raten und das Target tendiert dazu, sich zu erhitzen. Chrom hat eine geringere SE-Ausbeute als Pt, Pt/Pd oder Ir. Hervorragendes Beschichtungsmaterial für biologische Proben und BSE-Untersuchungen von Low-Z.


Wolfram

Wolfram (W) ist eine hervorragende Alternative, wenn es um Ultra-High Resolution (höchstauflösende) Beschichtungen geht. Wie Chrom, oxidiert auch Wolfram sehr rasch. Aufgrund seiner hohen Ordnungszahl hat es aber eine höhere SE-Ausbeute. W hat eine niedrige Sputter Rate. Mit Wolfram beschichtete Proben sollten sofort nach der Beschichtung untersucht werden.




Tantal

Tantal (Ta) ist ebenfalls ein Kandidat für Ultra-High Resolution (höchstauflösende) Beschichtungen (die meisten hochschmelzenden Materialien haben eine feine Körnung). Es oxidiert recht schnell, vergleichbar zu Chrom. Aufgrund seiner hohen Ordnungszahl hat es aber eine höhere SE-Ausbeute. Ta hat eine niedrige Sputter Rate. Proben sollten sofort nach der Beschichtung untersucht oder unter Vakuum / in Inertgas gelagert werden.



Palladium

Palladium (Pd) kann als preiswerte Alternative bei niedrigen bis mittleren Vergrößerungen eingesetzt werden. Man erhält ein niedrigeres SE-Signal als beim Einsatz von Au. Pd ist eine Alternative für die EDX-Analyse.


Nickel

Nickel (Ni) ist ein alternatives Beschichtungsmaterial bei der EDX-Analyse, sowie bei BSE-Aufnahmen. Für SE-Aufnahmen ist es weniger zu empfehlen. Die Beschichtung oxidiert langsam. Nickel hat aufgrund seiner geringen Austrittsenergie eine sehr niedrige Sputter Rate. Da Ni ein magnetisches Material ist, führt es zu einem Kurzschluss im DC Magnetron Sputterkopf, was ein weniger dichtes Plasma zur Folge hat. In einem Standard Coater besteht die Beschichtung aus einer Mischung aus Nickel und Nickeloxid. Die Nickelschicht kann durch Röntgenfluoreszenz Elemente erhöhen. Falls erforderlich, kann die Nickelschicht mit Salzsäure oder Salpetersäure entfernt werden.


Kupfer

Kupfer ist ein preiswertes, alternatives Beschichtungsmaterial bei der EDX-Analyse, sowie bei BSE-Aufnahmen. Geeignet für mittlere Vergrößerungen, niedrige SE-Ausbeute. Die Beschichtungen oxidieren langsam. In einem Standard Coater besteht die Beschichtung aus einer Mischung aus Kupfer und Kupferoxid. Eine Kupferbeschichtung kann zur Verbesserung der Analyse von Proben mit wechselnden Materialien durch Röntgenfluoreszenz eingesetzt werden. Falls erforderlich, kann die Kupferschicht mit Ferrichlorid oder Salpetersäure entfernt werden.


ITO - Indium Zinnoxide (Indium Tin Oxide)

Die ITO Targets haben eine Zusammensetzung von 90/10 Gewichtprozent In2O3 / SnO2. ITO ist ein interessantes und nützliches Beschichtungsmaterial, da die Beschichtung Transparant und Leitfähig ist. Ideal für REM-Anwendungen wie Kathodeluminszenze-Abbildung oder KL-Spektralanalyse. ITO wird auch eingesetzt als Beschichtungsmaterial für Deckgläser bei korrelativen Mikroskopie-Anwendungen.


Titan

Titan (Ti) wird sehr selten als Beschichtungsmaterial eingesetzt. Es gibt jedoch Applikationen wie EDX-Analyse oder BSE-Abbildungen, bei denen Ti aufgrund seiner niedrigen Ordnungszahl gewählt wird, um Interferenzen zu vermeiden. Titan oxidiert recht schnell und sollte direkt nach der Beschichtung ins REM verbracht werden. .


Kohlenstoff

Kohlenstoff ist das Material der Wahl, wenn es um nichtleitende Proben in Zusammenhang mit EDX-Analyse und BSE-Abbildungen geht. Kohlenstoff hat eine niedrige Ordnungszahl, ist leitend und bei Raumtemperatur inert. In DC Magnetron Sputter Coatern kann es nicht eingesetzt werden, da eine hohe Energie benötigt wird und nach dem Sputtern dazu tendiert, nichtleitende DLC Materialien abzulagern. Kohlenstoff kann in Ionenstrahl-Sputtern wie dem Gatan Modell 681, 682 und 685 eingesetzt werden. Es kann in Kohlebedampfungsanlagen oder zur Herstellung von TEM Support-Films eingesetzt werden.


Kobalt

Kobalt (Co) wird sehr selten als Beschichtungsmaterial für REM-Proben eingesetzt. Kobalt hat aufgrund seiner geringen Austrittsenergie eine sehr niedrige Sputter Rate. Da Kobalt ein magnetisches Material ist, führt es zu einem Kurzschluss im DC Magnetron Sputterkopf, was ein weniger dichtes Plasma zur Folge hat. In einem Standard Coater besteht die Beschichtung aus einer Mischung aus Kobalt und Kobaltoxid. Eine Kobaltbeschichtung kann zur Verbesserung der Analyse von Proben mit wechselnden Materialien durch Röntgenfluoreszenz eingesetzt werden.



Indium

Indium (In) wird sehr selten als Beschichtungsmaterial für REM-Proben eingesetzt. Indium hat aufgrund seiner geringen Austrittsenergie eine sehr niedrige Sputter Rate In einem Standard Coater besteht die Beschichtung aus einer Mischung aus Indium und Indiumoxid. Eine Indiumbeschichtung kann zur Verbesserung der Analyse von Proben mit wechselnden Materialien durch Röntgenfluoreszenz eingesetzt werden.



Zinn

Zinn (Sn) wird sehr selten als Beschichtungsmaterial für REM-Proben eingesetzt. Zinn hat aufgrund seiner geringen Austrittsenergie eine sehr niedrige Sputter Rate In einem Standard Coater besteht die Beschichtung aus einer Mischung aus Zinn und Zinnoxid. Eine Zinnbeschichtung kann zur Verbesserung der Analyse von Proben mit wechselnden Materialien durch Röntgenfluoreszenz eingesetzt werden.



Zink


Zink (Zn) wird sehr selten als Beschichtungsmaterial für REM-Proben eingesetzt. Zink hat aufgrund seiner geringen Austrittsenergie eine sehr niedrige Sputter Rate In einem Standard Coater besteht die Beschichtung aus einer Mischung aus Zink und Zinkoxid. Eine Zinkbeschichtung kann zur Verbesserung der Analyse von Proben mit wechselnden Materialien durch Röntgenfluoreszenz eingesetzt werden.



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