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EM-Tec Scheibenförmige oder Ringförmige Sputter Targets
für EM Sputter Coaters
Hochreinen Sputter Targets



Einleitung

Die hochreinen EM-TEC Sputter Targets sind kompatibel mit einer großen Bandbreite von Desktop Sputter Coatern. Sputter Coater legen sehr dünne, leitende Metallschichten auf nichtleitende Proben, um die Proben danach mit einem Rasterelektronenmikroskop (REM) untersuchen zu können. Die EM-TEC Sputter Targets sind kompatibel mit den Systemen folgender Hersteller: Agar, Anatech/Technics, Bal-Tec, Bio-Rad, Cressington, Denton, Edwards, Emitech, EMS, Emscope, Fisons, Gatan, Hummer, ISI, JEOL, Leica, Polaron, Quorum, SPI, Thermo und VG Microtech. Aufgrund der hohen Materialreinheit sind Sputter Targets relativ teuer. Für Artefakt freie Aufnahmen oder präzise EDX-Analyse besitzen die Targets eine Reinheit von 99,99%. Eventuell hat das im Sputter installierte Target nicht die beste Qualität, oder es gibt je nach Anwendung alternative Materialien, die besser geeignet sind. Hier gibt es: Praktische Tipps zur Auswahl von Target-Materialien für REM Probenbeschichtung.


EM-Tec scheibenförmige Sputter Targets

   
EM-Tec scheibenförmige Sputter Targets für EM Sputter Coaters
 

Die scheibenförmigen EM-Tec Sputter Targets werden aus hochreinen Metallfolien hergestellt. Sie sind erhältlich mit einem Durchmesser von 60, 54, 50, 24 und 19 mm. Scheibenförmige Sputter Targets sind unter allen Sputter Coater Marken weit verbreitet. Die meisten modernen Sputter Coater setzen einen Klemmring ein, um das Sputter Target zu halten. Einige ältere Systeme setzen eine Aufnahmeplatte ein, an die das Target mit Silberpaste oder Iridium festgemacht wird. Nutzen Sie die EM-Tec Tabelle für scheibenförmige Sputter Targets, um die Größe des Targets für Ihren Coater herauszufinden. Sie können das Target natürlich auch ausmessen.

EM-Tec Tabelle für scheibenförmige Sputter Targets

Gerätehersteller 

Modelle

Ø60mm

Ø57mm

Ø54mm

Ø50mm

Ø24mm

Ø19mm

Agar

Manual / Automatic

 

X

 

 

 

 

Anatech/Technics

Hummer I / II / III / Jr

 

 

 

X

 

 

Bal-Tec

SCD 005 / 040 / 050 / 500

 

 

X

 

 

 

Bal-Tec

MED 10 / MED 20

 

 

 

 

 

 

Bio-Rad

SC5200 / SC502

 

X

 

 

 

 

Bio-Rad E7400 / LT7400         X  

Cressington

108manual / 108auto

 

X

 

 

 

 

Cressington

108auto/SE

 

X

 

 

 

 

Cressington

208HR

 

X

 

 

 

 

Denton

Desk II / II / IV / V

X

 

 

 

 

 

Edwards

150B / Scancoat

X

 

 

 

 

 

Emitech

SC7620 / SC7610

 

X

 

 

 

 

Emitech

K500X / K550X /  K650X

X

 

 

 

 

 

Emitech

K575XD / K675X / K675XD

 

 

 

 

 

Emitech

K575X / Q150

 

X

 

 

 

 

EMS

150R / 300R / SC7620

 

X

 

 

 

 

Emscope

SC502

 

X

 

 

 

 

Fullam

EffaCoater / EMS-76

 

 

 

X

 

 

Gatan

681 Ion Beam Coater

 

 

 

 

 

X

Gatan

682 PECS Ion Beam Coater

 

 

 

 

 

X

Gatan

685 PECS II Ion Beam Coater

 

 

 

 

 

X

HHV

BT150 / BT300

 

 

 

 

HoYeon

HC21

 

X

 

 

 

 

ISI

ISI 5400

 

X

 

 

 

 

JEOL

JFC-1200 / 1300 / 1400 / 1600

 

X

 

 

 

 

JEOL

JFC-2300HR

 

X

 

 

 

 

Leica

EM SCD 005 / 050 / 500

 

 

X

 

 

 

Leica

EM MED 020

 

 

X

 

 

 

Leica

ACE 200 / ACE 600

 

 

X

 

 

 

Pelco

SC4 / SC5 /  SC6  / SC7

 

X

 

 

 

 

Polaron / Bio-Rad

E5000 / E5200 / E5400 / E5800

 

X

 

 

 

 

Polaron / Bio-Rad

PS 3

 

X

 

 

 

 

Polaron / Quorum

SC7620 / SC7610

 

X

 

 

 

 

Quorum

Q150R / Q150T / SC7620

 

X

 

 

 

 

Quorum

Q300R / Q300T

 

X

 

 

 

 

Quorum PP2000 / PP2000T         X  
Quorum PP3000T / PP3010T          
Safematic CCU-010     X      

SEC

MCM-100 / MCM-200

 

 

 

X

 

 

SPI

SPI-Module

 

X

 

 

 

 

SPI

SPI Super

 

 

 

X

 

 

VG Microtech / Fisons / Thermo PP2200 / PP2000T         X  
Note 1: Polaran Geräte sind auch mit den Namen Bio-Rad, Fisons, VG Microtech, Thermo VG, Emscope und Quorum verkauft worden.
Note 2: Stärke der Targets kan zwischen 0.1 bis 3.2 mm liegen



Bestellangabe zu scheibenförmige Sputter Targets

*Nettopreise zuzüglich gesetzlicher Umsatzsteuer. Wir verkaufen nicht an Privatpersonen.

Ø60 mm hochreine scheibenförmige EM-Tec Sputter Targets für Sputter Coater Ø60 mm hochreine scheibenförmige EM-Tec Sputter Targets für Sputter Coater: Denton Desk II / III / IV / V, Edwards 150B / Scancoat, Emitech K500 / K550 / K650 und Emscope SC500
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
70-AG6010 Silber Target, Ø 60 x 0,25 mm, Scheibenform, 99,97% Ag
Anz:

Stück €195,00
70-AL6010 Aluminium Target, Ø 60 x 0,25 mm Scheibenform, 99,999% Al
Anz:

Stück €150,00
70-AP6004 Gold/Palladium Target, Ø 60 x 0,1 mm, Scheibenform, Au/Pd 60/40, 99,99% Au/Pd
Anz:

Stück €565,00
70-AP6005 Gold/Palladium Target, Ø 60 x 0,1 mm, Scheibenform, Au/Pd 80/20, 99,99% Au/Pd
Anz:

Stück €595,00
70-AP6008 Gold/Palladium Target, Ø 60 x 0,2 mm, Scheibenform, Au/Pd 60/40, 99,99% Au/Pd
Anz:

Stück €955,00
70-AP6009 Gold/Palladium Target, Ø 60 x 0,2 mm, Scheibenform, 80/20 Au/Pd, 99,99% Au/Pd
Anz:

Stück €985,00
70-AU6004 Gold Target, Ø 60 x 0,1 mm, Scheibenform, 99,99% Au
Anz:

Stück €595,00
70-AU6008 Gold Target, Ø 60 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Au
Anz:

Stück €995,00
70-CR6012 Chrom Target, Ø 60 x 0,3 mm, Scheibenform, 99,95% Cr
Anz:

Stück €575,00
70-CU6010 Kupfer Target, Ø 60 x 0,25 mm, Scheibenform, 99,99% Cu
Anz:

Stück €150,00
70-IR6012 Iridium Target, Ø 60 x 0,3 mm, Scheibenform, 99,99% Ir
Anz:

Stück €2245,00
70-NI6003 Nickel Target, Ø 60 x 0,075 mm, Scheibenform, 99,98% Ni
Anz:

Stück €180,00
70-PD6004 Palladium Target, Ø 60 x 0,1 mm, Scheibenform, 99,99% Pd
Anz:

Stück €445,00
70-PD6008 Palladium Target, Ø 60 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Pd
Anz:

Stück €645,00
70-PP6004 Platin/Palladium Target, Ø 60 x 0,1 mm, Scheibenform, 80/20 Pt/Pd 99,99% Pt/Pd
Anz:

Stück €625,00
70-PP6008 Platin/Palladium Target, Ø 60 x 0,2 mm, Scheibenform, 80/20 Pt/Pd 99,99% Pt/Pd
Anz:

Stück €1045,00
70-PT6004 Platin Target, Ø 60 x 0,1 mm, Scheibenform, 99,99% Pt
Anz:

Stück €645,00
70-PT6008 Platin Target, Ø 60 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Pt
Anz:

Stück €1065,00
70-TI6010 Titan Target, Ø 60 x 0,25 mm, Scheibenform, 99,6+% Ti
Anz:

Stück €145,00

Ø57 mm hochreine scheibenförmige EM-Tec Sputter Targets für Sputter Coater Ø57 mm hochreine scheibenförmige EM-Tec Sputter Targets für Sputter Coater: Agar Manual / Auto, Cressington 108 / 108auto / 108autoSE / 208HR, Emitech SC7610 / SC7620, ISI 5400, JEOL JFC 1200 / 1300 / 1400 / 1600 / 2300HR / JEC-3000FC, HoYeon HC21, Pelco SC4 / SC5 / SC6 / SC7, Polaron 5000 / 5200 / 5400 / 5800, Quorum Q150 / Q300 / SC7620 und SPI Module
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
70-AG5710 Silber Target, Ø 57 x 0,25 mm, Scheibenform, 99,97% Ag
Anz:

Stück €190,00
70-AL5710 Aluminium Target, Ø 57 x 0,25 mm Scheibenform, 99,999% Al
Anz:

Stück €150,00
70-AP5704 Gold/Palladium Target, Ø 57 x 0,1 mm, Scheibenform, 60/40 Au/Pd, 99,99% Au/Pd
Anz:

Stück €555,00
70-AP5705 Gold/Palladium Target, Ø 57 x 0,1 mm, Scheibenform, 80/20 Au/Pd, 99,99% Au/Pd
Anz:

Stück €565,00
70-AP5708 Gold/Palladium Target, Ø 57 x 0,2 mm, Scheibenform, 60/40 Au/Pd, 99,99% Au/Pd
Anz:

Stück €925,00
70-AP5709 Gold/Palladium Target, Ø 57 x 0,2 mm, Scheibenform, 80/20 Au/Pd, 99,99% Au/Pd
Anz:

Stück €935,00
70-AU5704 Gold Target, Ø 57 x 0,1 mm, Scheibenform, 99,99% Au
Anz:

Stück €575,00
70-AU5708 Gold Target, Ø 57 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Au
Anz:

Stück €945,00
70-AU5712 Gold Target, Ø 57 x 0,3 mm, Scheibenform, 99,99% Au
Anz:

Stück €1285,00
70-AU5716 Gold Target, Ø 57 x 0,4 mm, Scheibenform, 99,99% Au
Anz:

Stück €1675,00
70-CR5712 Chrom Target, Ø 57 x 0,3 mm, Scheibenform, 99,95% Cr
Anz:

Stück €490,00
70-CR5799 Chrom Target, Ø 57 x 3,2 mm, Scheibenform, 99,95% Cr
Anz:

Stück €550,00
70-CU5710 Kupfer Target, Ø 57 x 0,25 mm, Scheibenform, 99,99% Cu
Anz:

Stück €150,00
70-IR5712 Iridium Target, Ø 57 x 0,3 mm, Scheibenform, 99,99% Ir
Anz:

Stück €2190,00
70-IT7099 ITO (Indium Tin Oxide) Target, Ø 57 x 3,0 mm, Scheibenform, inkl. 1 mm Kupfer-Aufspannplatte, 90/10 Wt% In2O3/SnO2, 99,99%
Anz:

Stück €1055,00
70-MO5710 Molybdän Target, Ø 57 x 0,25 mm, Scheibenform, 99,95% Mo
Anz:

Stück €195,00
70-NB5710 Niobium Target, Ø 57 x 0,25 mm, Scheibenform, 99,95% Nb
Anz:

Stück €205,00
70-NI5703 Nickel Target, Ø 57 x 0,075 mm, Scheibenform, 99,98% Ni
Anz:

Stück €175,00
70-PD5704 Palladium Target, Ø 57 x 0,1 mm, Scheibenform, 99,99% Pd
Anz:

Stück €435,00
70-PD5708 Palladium Target, Ø 57 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Pd
Anz:

Stück €610,00
70-PP5704 Platin/Palladium Target, Ø 57 x 0,1 mm, Scheibenform, 80/20 Pt/Pd 99,99% Pt/Pd
Anz:

Stück €610,00
70-PP5708 Platin/Palladium Target, Ø 57 x 0,2 mm, Scheibenform, 80/20 Pt/Pd 99,99% Pt/Pd
Anz:

Stück €995,00
70-PT5704 Platin Target, Ø 57 x 0,1 mm, Scheibenform, 99,99% Pt
Anz:

Stück €625,00
70-PT5708 Platin Target, Ø 57 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Pt
Anz:

Stück €1035,00
70-TA5710 Tantalum Target, Ø 57 x 0,25 mm, Scheibenform, 99,95% Ta
Anz:

Stück €290,00
70-TI5710 Titan Target, Ø 57 x 0,25 mm, Scheibenform, 99,6+% Ti
Anz:

Stück €140,00
70-WO5710 Wolfram Target, Ø 57 x 0,25 mm, Scheibenform, 99,95% W
Anz:

Stück €245,00

Ø54 mm hochreine scheibenförmige EM-Tec Sputter Targets für Sputter Coater Ø54 mm hochreine scheibenförmige EM-Tec Sputter Targets für Sputter Coater: Bal-Tec SCD005 / 040 / 050 / 500 / MED10 / MED20, Emitech K575X / K575XD / K675X / K675XD, HHV BT150 / BT300, Leica EM SCD 005 /050 / 500 / MED20 / ACE200 / ACE 600 und Safe-Matic CCU-010
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
70-AG5410 Silber Target, Ø 54 x 0,25 mm, Scheibenform, 99,97% Ag
Anz:

Stück €190,00
70-AL5410 Aluminium Target, Ø 54 x 0,25 mm Scheibenform, 99,999% Al
Anz:

Stück €150,00
70-AP5404 Gold/Palladium Target, Ø 54 x 0,1 mm, Scheibenform, 60/40 Au/Pd, 99,99% Au/Pd
Anz:

Stück €545,00
70-AP5405 Gold/Palladium Target, Ø 54 x 0,1 mm, Scheibenform, 80/20 Au/Pd, 99,99% Au/Pd
Anz:

Stück €555,00
70-AP5408 Gold/Palladium Target, Ø 54 x 0,2 mm, Scheibenform, 60/40 Au/Pd, 99,99% Au/Pd
Anz:

Stück €915,00
70-AP5409 Gold/Palladium Target, Ø 54 x 0,2 mm, Scheibenform, 80/20 Au/Pd, 99,99% Au/Pd
Anz:

Stück €925,00
70-AU5404 Gold Target, Ø 54 x 0,1 mm, Scheibenform, 99,99% Au
Anz:

Stück €570,00
70-AU5408 Gold Target, Ø 54 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Au
Anz:

Stück €940,00
70-AU5412 Gold Target, Ø54 x 0.3mm Disc, 99.99% Au
Anz:

Stück €1275,00
70-CR5412 Chrom Target, Ø 54 x 0,3 mm, Scheibenform, 99,95% Cr
Anz:

Stück €496,00
70-CR5420 Chrom Target, Ø 54 x 0,5 mm, Scheibenform, 99,95% Cr
Anz:

Stück €495,00
70-CU5410 Kupfer Target, Ø 54 x 0,25 mm, Scheibenform, 99,99% Cu
Anz:

Stück €150,00
70-IR5412 Iridium Target, Ø 54 x 0,3 mm, Scheibenform, 99,99% Ir
Anz:

Stück €2190,00
70-NI5403 Nickel Target, Ø 54 x 0,075 mm, Scheibenform, 99,98% Ni
Anz:

Stück €175,00
70-PD5404 Palladium Target, Ø 54 x 0,1 mm, Scheibenform, 99,99% Pd
Anz:

Stück €430,00
70-PD5408 Palladium Target, Ø 54 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Pd
Anz:

Stück €600,00
70-PP5404 Platin/Palladium Target, Ø 54 x 0,1 mm, Scheibenform, 80/20 Pt/Pd 99,99% Pt/Pd
Anz:

Stück €605,00
70-PP5408 Platin/Palladium Target, Ø 54 x 0,2 mm, Scheibenform, 80/20 Pt/Pd 99,99% Pt/Pd
Anz:

Stück €990,00
70-PT5404 Platin Target, Ø 54 x 0,1 mm, Scheibenform, 99,99% Pt
Anz:

Stück €620,00
70-PT5408 Platin Target, Ø 54 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Pt
Anz:

Stück €1030,00
70-TI5410 Titan Target, Ø 54 x 0,25 mm, Scheibenform, 99,6+% Ti
Anz:

Stück €140,00

Ø50 mm hochreine scheibenförmige EM-Tec Sputter Targets für Sputter Coaters Ø50 mm hochreine scheibenförmige EM-Tec Sputter Targets für Sputter Coater:
Anatech/Technics/Hummer I / II / III, Fullam EffaCoater / EMS-76, SEC MCM-100 / MCM-200 und SPI Super
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
70-AG5010 Silber Target, Ø 50 x 0,25 mm, Scheibenform, 99,97% Ag
Anz:

Stück €188,00
70-AL5010 Aluminium Target, Ø 50 x 0,25 mm Scheibenform, 99,999% Al
Anz:

Stück €150,00
70-AP5004 Gold/Palladium Target, Ø 50 x 0,1 mm, Scheibenform, 60/40 Au/Pd, 99,99% Au/Pd
Anz:

Stück €535,00
70-AP5005 Gold/Palladium Target, Ø 50 x 0,1 mm, Scheibenform, 80/20 Au/Pd, 99,99% Au/Pd
Anz:

Stück €545,00
70-AP5008 Gold/Palladium Target, Ø 50 x 0,2 mm, Scheibenform, 60/40 Au/Pd, 99,99% Au/Pd
Anz:

Stück €905,00
70-AP5009 Gold/Palladium Target, Ø 50 x 0,2 mm, Scheibenform, 80/20 Au/Pd, 99,99% Au/Pd
Anz:

Stück €915,00
70-AU5004 Gold Target, Ø 50 x 0,1 mm, Scheibenform, 99,99% Au
Anz:

Stück €595,00
70-AU5008 Gold Target, Ø 50 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Au
Anz:

Stück €935,00
70-CU5010 Kupfer Target, Ø 50 x 0,25 mm, Scheibenform, 99,99% Cu
Anz:

Stück €150,00
70-NI5003 Nickel Target, Ø 50 x 0,075 mm, Scheibenform, 99,98% Ni
Anz:

Stück €175,00
70-PD5004 Palladium Target, Ø 50 x 0,1 mm, Scheibenform, 99,99% Pd
Anz:

Stück €425,00
70-PP5004 Platin/Palladium Target, Ø 50 x 0,1 mm, Scheibenform, 80/20 Pt/Pd 99,99% Pt/Pd
Anz:

Stück €600,00
70-PP5008 Platin/Palladium Target, Ø 50 x 0,2 mm, Scheibenform, 80/20 Pt/Pd 99,99% Pt/Pd
Anz:

Stück €985,00
70-PT5004 Platin Target, Ø 50 x 0,1 mm, Scheibenform, 99,99% Pt
Anz:

Stück €615,00
70-PT5008 Platin Target, Ø 50 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Pt
Anz:

Stück €1025,00
70-TI5010 Titan Target, Ø 50 x 0,25 mm, Scheibenform, 99,6+% Ti
Anz:

Stück €140,00

Ø24 mm hochreine scheibenförmige EM-Tec Sputter Targets für Kryo-REM Präparationssysteme Ø24 mm hochreine scheibenförmige EM-Tec Sputter Targets für Kryo-REM Präparationssysteme:
Bio-Rad E7400 / LT7400, Quorum PP2000 / PP2000T, PP3000T / PP3010T and VG MicroTech / Fisons / Thermo Baureihe PP2200 / PP2000T
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
70-AP2409 Gold/Palladium Target, Ø 24 x 0,2 mm, Scheibenform, 80/20 Au/Pd, 99,99% Au/Pd
Anz:

Stück €425,00
70-AU2408 Gold Target, Ø 24 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Au
Anz:

Stück €395,00
70-CR2412 Chrom Target, Ø 57 x 0,3 mm, Scheibenform, 99,95% Cr
Anz:

Stück €325,00
70-IR2412 Iridium Target, Ø 24 x 0,3 mm, Scheibenform, 99,99% Ir
Anz:

Stück €1150,00
70-PT2408 Platin Target, Ø 24 x 0,2 mm, Scheibenform, 99,99% Pt
Anz:

Stück €415,00

Ø19 mm hochreine scheibenförmige EM-Tec Sputter Targets für Gatan Ionenstrahl Sputter Coater Ø19 mm hochreine scheibenförmige EM-Tec Sputter Targets für Ionenstrahl Sputter Coater:
Gatan Model 681 / 682PECS und Gatan 685 PECS II
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
70-AG1960 Silber Target, Ø 19 x 1,5 mm, Scheibenform, 99,99% Ag
Anz:

Stück €365,00
70-AL1960 Aluminium Target, Ø 19 x 1,5 mm Scheibenform, 99,999% Al
Anz:

Stück €190,00
70-AP1960 Gold/Palladium Target, Ø 19 x 1,5 mm, Scheibenform, Au/Pd 60/40, 99,99% Au/Pd
Anz:

Stück €995,00
70-AP1965 Gold/Palladium Target, Ø 19 x 1,5 mm, Scheibenform, Au/Pd 80/20, 99,99% Au/Pd
Anz:

Stück €995,00
70-AU1960 Gold Target, Ø 19 x 1,5 mm, Scheibenform, 99,99% Au
Anz:

Stück €1025,00
70-CC1960 Kohle (Graphit) Target, Ø 19 x 1,5 mm, Scheibenform, 99,99% C
Anz:

Stück €198,00
70-CR1960 Chrom Target, Ø 19 x 1,5 mm, Scheibenform, 99,95% Cr
Anz:

Stück €255,00
70-CU1960 Kupfer Target, Ø 19 x 1,5 mm, Scheibenform, 99,99% Cu
Anz:

Stück €190,00
70-IR1960 Iridium Target, Ø 19 x 1,5 mm, Scheibenform, 99,99% Ir
Anz:

Stück €1425,00
70-NB1960 Niobium Target, Ø 19 x 1,5 mm, Scheibenform, 99,95% W
Anz:

Stück €325,00
70-NI1960 Nickel Target, Ø 19 x 1,5 mm, Scheibenform, 99,98% Ni
Anz:

Stück €255,00
70-PD1960 Palladium Target, Ø 19 x 1,5 mm, Scheibenform, 99,99% Pd
Anz:

Stück €645,00
70-PP1960 Platin/Palladium Target, Ø 19 x 1,5 mm, Scheibenform, Pt/Pd 80/20, 99,99% Pt/Pd
Anz:

Stück €1025,00
70-PT1960 Platin Target, Ø 19 x 1,5 mm, Scheibenform, 99,99% Pt
Anz:

Stück €1085,00
70-TA1960 Tantal Target, Ø 19 x 1,5 mm, Scheibenform, 99,95% Ta
Anz:

Stück €325,00
70-WO1960 Wolfram Target, Ø 19 x 1,5 mm, Scheibenform, 99,95% W
Anz:

Stück €325,00


   EM-Tec ringförmige Sputter Targets für EM Sputter Coaters
EM-Tec ringförmige Sputter Targets

Ringförmige Sputter Targets sind weniger gebräuchlich als scheibenförmige Sputter Targets. Sie kommen beispielweise bei älteren Polaron Sputter Coatern und bei Anatech/Technics Hummer Sputter Coatern zum Einsatz. Bei ringförmigen Targets wird das Target Material auf einem Stützring aus Aluminium ausgeliefert. Als Target Materialien stehen Gold, Gold/Palladium, Platin, Platin/Palladium, Silber, Kupfer und Nickel in zwei unterschiedlichen Größen zur Auswahl.

Nutzen Sie die EM-Tec Tabelle für ringförmige Sputter Targets, um die Größe des Targets für Ihren Coater herauszufinden. Sie können das Target natürlich auch ausmessen oder direct bestellen.




EM-Tec Tabelle für ringförmige Sputter Targets

Gerätenhersteller

Modelle

82mm A.D. X 60mm I.D.

3” A.D. X 2” I.D.

Anatech / Technics

Hummer V / VI / 6.2 / 8

 

X

Polaron / Biorad

E5100 / SC510 / SC515

X

 

Polaron / Quorum

SC7640 / SC 7680

X

 

Anmerkung: Polaron Coater wurden auch unter den Markennamen Bio-Rad, Fisons, VG Microtech, Thermo VG, Emscope und Quorum verkauft.

 

Bestellangabe zu EM-Tec ringförmige Sputter Targets

*Nettopreise zuzüglich gesetzlicher Umsatzsteuer. Wir verkaufen nicht an Privatpersonen.

Ø3 Zoll AD x Ø 2 Zoll ID hochreine ringförmige EM-Tec Sputter Targets für Sputter Coater Ø82 mm AD x Ø 60 mm ID hochreine ringförmige EM-Tec Sputter Targets für Sputter Coater:
Polaron / Biorad E5100 / SC510 / SC515 und Polaron / Quorum SC7640 / 7680
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
70-AG8212 Siber Target, Ø 82 x 0,3 mm (Ø 60 ID), ringförmig, auf Tragring, 99,99% Ag
Anz:

Stück €650,00
70-AP8204 Gold/Palladium Target, Ø 82 x 0,1 mm (Ø 60 ID), ringförmig, auf Tragring, Au/Pd 60/40, 99,99% Au/Pd
Anz:

Stück €820,00
70-AP8205 Gold/Palladium Target, Ø 82 x 0,1 mm (Ø 60 ID), ringförmig, auf Tragring, Au/Pd 80/20, 99,99% Au/Pd
Anz:

Stück €875,00
70-AU8204 Gold Target, Ø 82 x 0,1 mm (Ø 60 ID), ringförmig, auf Tragring, 99,99% Au
Anz:

Stück €920,00
70-CU8212 Kupfer Target, Ø 82 x 0,3 mm (Ø 60 ID), ringförmig, auf Tragring, 99,99% Cu
Anz:

Stück €600,00
70-PD8204 Palladium Target, Ø 82 x 0,1 mm (Ø 60 ID), ringförmig, auf Tragring, 99,99% Pd
Anz:

Stück €725,00
70-PT8204 Platin Target, Ø 82 x 0,1 mm (Ø 60 ID), ringförmig, auf Tragring, 99,99% Pt
Anz:

Stück €970,00

Platin Target,  Ø 3 Ø3 Zoll AD x Ø 2 Zoll ID hochreine ringförmige EM-Tec Sputter Targets für Sputter Coater:
Anatech / Technics / Hummer V / VI / 6.2 / 8
Artikel # Einheit Preis* Bestellung / Anfrage
70-AG7612 Silber Target, Ø 3" x 0,3 mm (Ø 2" ID), ringförmig, auf Tragring, 99,99% Ag
Anz:

Stück €650,00
70-AP7604 Gold/Palladium Target, Ø 3" x 0,1 mm (Ø 2" ID), ringförmig, auf Tragring, Au/Pd 60/40, 99,99% Au/Pd
Anz:

Stück €920,00
70-AU7604 Gold Target, Ø 3" x 0,1 mm (Ø 2" ID), ringförmig, auf Tragring, 99,99%. Au
Anz:

Stück €970,00
70-CU7612 Kupfer Target, Ø 3" x 0,3 mm (Ø 2" ID), ringförmig, auf Tragring, 99,99% Cu
Anz:

Stück €600,00
70-PD7604 Palladium Target, Ø 3" x 0,1 mm (Ø 2" ID), ringförmig, auf Tragring, 99,99% Pd
Anz:

Stück €800,00
70-PT7604 Platin Target, Ø 3" x 0,1 mm (Ø 2" ID), ringförmig, auf Tragring, 99,99% Pt
Anz:

Stück €990,00


Praktische Tipps zur Auswahl von Target-Materialien für REM Probenbeschichtung

Die Auswahl des optimalen Beschichtungsmaterials hängt vom Material der (nichtleitenden) Probe, der Anwendung und den Kosten ab. Die meisten Sputter Coater für die REM-Anwendungen erlauben einen recht einfachen Target-Wechsel. Setzt man andere Beschichtungsmaterialien als Gold ein, ist der Einsatz von Argon Gas meist unumgänglich. Man sollte sich bewusst sein, dass sich jedes Material beim Sputtern anders verhält. Die Beschichtungsqualität ist stark abhängig vom Material des Targets, sowie von der Interaktion dieses Materials mit dem Material der zu beschichtenden Probe. Beschichtet man eine nicht leitfähige REM Probe mit einem hoch leitfähigen Metall, wird die REM Probe leitfähig. Ein weiterer Vorteil ist, dass die meisten Beschichtungsmaterialien eine höhere Ausbeute an Sekundärelektronen (SE) als nichtleitendes Material haben. Beschichtungsmaterialien mit einer niedrigeren Ordnungszahl sind besser geeignet für Aufnahmen und Untersuchungen mit Hilfe von Rückstreuelektronen (BSE). Beschichtungsmaterialien mit einer hohen Ordnungszahl sind besser geeignet für Aufnahmen und Untersuchungen mit Hilfe von Sekundärelektronen (SE). Unten finden Sie einige praktische Tipps und Informationen zur Auswahl des richtigen Target Materials. Diese Informationen gelten nur, wenn ein moderner DC Magnetron Sputter Coater zusammen mit Argon-Prozessgas zum Einsatz kommt. Für EDX-Analysen ist es wichtig, dass ein Target Material zu Einsatz kommt, das nicht in der Probe enthalten ist. Anderenfalls sind Überlappungen von Peaks (Spitzen) im EDX-Spektrum oder Wechselwirkungen bei der EDX-Analyse die Folge.


Gold

Für Standardanwendungen im REM ist Gold das beste und meistgenutzte Beschichtungsmaterial bei nichtleitenden Proben. Durch die niedrige Austrittsenergie ist Gold (Au) sehr effizient. Beim Einsatz in Cool Sputter Coatern und bei sehr dünnen Schichten heizt sich die Probenoberfläche kaum auf. Bei modernen REM mit hoher Vergrößerung ist die Korngröße sichtbar. Gold kann auch bei Tabletop-REM mit Luft als Prozessgas .


Gold/Palladium

Eine Legierung aus 60/40 Gold/Palladium (Au/Pd) ist bei der Beschichtung weniger effektiv als eine Beschichtung aus reinem Gold. Daraus resultieren höhere Sputter Raten. Au/Pd wird oft zur Erreichung geringerer Korngrößen empfohlen. Au/Pd erzielt geringere Korngrößen, wenn es unter Hochvakuum verdampft wird. In den meisten Sputter Coatern für REM-Anwendungen ist der Unterschied zwischen Au und Au/Pd jedoch kaum erkennbar. Gold/Palladium ist weniger für hitzeempfindliche Proben und auch nicht zur EDX-Analyse zu empfehlen, da durch das Palladium ein zweiter Peak entsteht.


Silber

Für viele Applikationen bei niedriger bis mittlerer Vergrößerung ist Silber (Ag) eine sehr gut geeignete und preiswerte Alternative zu Gold (Au). Silber ist ein oft unterschätztes Material zur Probenbeschichtung. Ag hat die höchste Leitfähigkeit aller Metalle. Sollen bei biologischen Proben P, Cl und S einer EDX-Analyse unterzogen werden, ist Ag eine Alternative zu Au. Die Sputter Rate ist vergleichbar mit der bei Au, die SE-Ausbeute etwas geringer als bei Pt, Au oder Ir. Die Korngröße ist vergleichbar oder etwas größer als bei Au. Ausnahmen sind Proben die Halogene enthalten, was zu einer groben Körnung führt. Sind Halogene vorhanden, kann das Silber anlaufen, was Silberbeschichtungen weniger geeignet für längere Lagerungen macht. Ag ist jedoch ein hervorragendes Beschichtungsmaterial für viele, weniger anspruchsvolle Applikationen und für den Einsatz in Tabletop-REM. Weiterer Vorteil ist, dass die Silberschicht entfernt und die Probe unter Originalbedingungen studiert werden kann. Die Entfernung von Au, Au/Pd, Pt und Ir Beschichtungen ist hingegen weit schwieriger und verlangt aggressive Chemikalien. Die Silberschicht kann mit Farmerschem Abschwächer (Mischung aus rotem Blutlaugensalz und Natriumthiosulfat) entfernt werden.


Platin

Platin (Pt) hat eine feinere Körnung als Au oder Au/P und ist daher sehr gut geeignet bei höheren Vergrößerungen. Hervorragende SE-Ausbeute. Die höhere Austrittsenergie bedingt langsameres Beschichten als mit Au. Pt ist anfällig für die Bildung von Spannungsrissen, wenn es mit Sauerstoff in Berührung kommt (kann aus porösen Proben austreten). Durch die Herstellungskosten sind Platin Targets teurer als Gold Targets.


Platin/Palladium

Eine Legierung aus 80/20 Platin/Palladium (Pt/Pd) hat eine ähnliche Korngröße und SE-Ausbeute wie reines Platin (Pt). Pt/Pd neigt jedoch weniger zu Bildung von Spannungsrissen. Man kann es als Allroundmaterial bei FE-REM Anwendungen nutzen, solange dünn beschichtet wird. Die besten Ergebnisse werden in hochauflösenden (HR) Sputter Coatern erzielt.


Iridium

Auf so gut wie allen Materialien erhält man mit Iridium (Ir) eine sehr feine Körnung, wodurch Ir ein hervorragendes Allroundmaterial bei FE-REM Anwendungen ist. Es ist die erste Wahl bei High und Ultra-High Resolution FE-REM. Mit dem zusätzlichen Vorteil ein nicht oxidierendes Material mit hoher SE-Ausbeute zu sein, ist es besser als Chrom für hochauflösende Probenbeschichtung. Für den Einsatz von Iridium wird ein hochauflösender (HR) Sputter Coatern und eine geringe Sputter Rate benötigt. Herstellungsbedingt sind Iridium Targets dicker als herkömmliche Targets. Sie sind jedoch insgesamt gesehen preiswerter als Pt oder Pt/Pd Targets. Ir ist zudem bestens geeignet, wenn eine Probe die EDX- oder WDX-Analyse auf Kohlenstoff untersucht werden soll. Zur Erzielung sehr guter Leitfähigkeit reicht eine feine Schicht. Da Iridium ein sehr seltenes Metall ist, beeinflusst es kaum die EDX- oder WDX-Analyse..


Chrom

Chrom (Cr) hat eine sehr feine Körnung, besonders auf Halbleitern, und hat sich als sehr gutes Beschichtungsmaterial bei RE-REM Anwendungen erwiesen. Chrom Targets benötigen einen hochauflösenden (HR) SputterCoater mit Turbopumpe, Hochvakuum und Target-Blende, da die Anwesenheit von Sauerstoff (wie in Standard Sputter Coatern) Oxidation während des Beschichtungsvorgangs hervorruft. Da die Chromschicht auf der Probenoberfläche an der Luft oxidiert, sollten Proben sofort nach der Beschichtung untersucht werden. Proben können im Vakuum oder in Inertgas aufbewahrt werden. Cr hat niedrigere Sputter Raten und das Target tendiert dazu, sich zu erhitzen. Chrom hat eine geringere SE-Ausbeute als Pt, Pt/Pd oder Ir. Hervorragendes Beschichtungsmaterial für biologische Proben und BSE-Untersuchungen von Low-Z.


Wolfram

Wolfram (W) ist eine hervorragende Alternative, wenn es um Ultra-High Resolution (höchstauflösende) Beschichtungen geht. Wie Chrom, oxidiert auch Wolfram sehr rasch. Aufgrund seiner hohen Ordnungszahl hat es aber eine höhere SE-Ausbeute. W hat eine niedrige Sputter Rate. Mit Wolfram beschichtete Proben sollten sofort nach der Beschichtung untersucht werden.




Tantal

Tantal (Ta) ist ebenfalls ein Kandidat für Ultra-High Resolution (höchstauflösende) Beschichtungen (die meisten hochschmelzenden Materialien haben eine feine Körnung). Es oxidiert recht schnell, vergleichbar zu Chrom. Aufgrund seiner hohen Ordnungszahl hat es aber eine höhere SE-Ausbeute. Ta hat eine niedrige Sputter Rate. Proben sollten sofort nach der Beschichtung untersucht oder unter Vakuum / in Inertgas gelagert werden.



Palladium

Palladium (Pd) kann als preiswerte Alternative bei niedrigen bis mittleren Vergrößerungen eingesetzt werden. Man erhält ein niedrigeres SE-Signal als beim Einsatz von Au. Pd ist eine Alternative für die EDX-Analyse.


Nickel

Nickel (Ni) ist ein alternatives Beschichtungsmaterial bei der EDX-Analyse, sowie bei BSE-Aufnahmen. Für SE-Aufnahmen ist es weniger zu empfehlen. Die Beschichtung oxidiert langsam. Nickel hat aufgrund seiner geringen Austrittsenergie eine sehr niedrige Sputter Rate. Da Ni ein magnetisches Material ist, führt es zu einem Kurzschluss im DC Magnetron Sputterkopf, was ein weniger dichtes Plasma zur Folge hat. In einem Standard Coater besteht die Beschichtung aus einer Mischung aus Nickel und Nickeloxid. Die Nickelschicht kann durch Röntgenfluoreszenz Elemente erhöhen. Falls erforderlich, kann die Nickelschicht mit Salzsäure oder Salpetersäure entfernt werden.


Kupfer

Kupfer ist ein preiswertes, alternatives Beschichtungsmaterial bei der EDX-Analyse, sowie bei BSE-Aufnahmen. Geeignet für mittlere Vergrößerungen, niedrige SE-Ausbeute. Die Beschichtungen oxidieren langsam. In einem Standard Coater besteht die Beschichtung aus einer Mischung aus Kupfer und Kupferoxid. Eine Kupferbeschichtung kann zur Verbesserung der Analyse von Proben mit wechselnden Materialien durch Röntgenfluoreszenz eingesetzt werden. Falls erforderlich, kann die Kupferschicht mit Ferrichlorid oder Salpetersäure entfernt werden.


Titan

Titan (Ti) wird sehr selten als Beschichtungsmaterial eingesetzt. Es gibt jedoch Applikationen wie EDX-Analyse oder BSE-Abbildungen, bei denen Ti aufgrund seiner niedrigen Ordnungszahl gewählt wird, um Interferenzen zu vermeiden. Titan oxidiert recht schnell und sollte direkt nach der Beschichtung ins REM verbracht werden. .


Kohlenstoff

Kohlenstoff ist das Material der Wahl, wenn es um nichtleitende Proben in Zusammenhang mit EDX-Analyse und BSE-Abbildungen geht. Kohlenstoff hat eine niedrige Ordnungszahl, ist leitend und bei Raumtemperatur inert. In DC Magnetron Sputter Coatern kann es nicht eingesetzt werden, da eine hohe Energie benötigt wird und nach dem Sputtern dazu tendiert, nichtleitende DLC Materialien abzulagern. Kohlenstoff kann in Ionenstrahl-Sputtern wie dem Gatan Modell 681, 682 und 685 eingesetzt werden. Es kann in Kohlebedampfungsanlagen oder zur Herstellung von TEM Support-Films eingesetzt werden.




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  Leitfähige Kleberbänder & Tabs
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  AFM/SPM Pinzetten
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